• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제15권1호
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• pp.49-54
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• 2014

In this study, we carried out an investigation of the etch characteristics of silicon (Si) film, and the selectivity of Si to $SiO_2$ in $SF_6/O_2$ plasma. The etch rate of the Si film was decreased on adding $O_2$ gas, and the selectivity of Si to $SiO_2$ was increased, on adding $O_2$ gas to the $SF_6$ plasma. The optical condition of the Si film with this work was 1,350 nm/min, at a gas mixing ratio of $SF_6/O_2$ (=130:30 sccm). At the same time, the etch rate was measured as functions of the various etching parameters. The X-ray photoelectron spectroscopy analysis showed the efficient destruction of oxide bonds by ion bombardment, as well as the accumulation of high volatile reaction products on the etched surface. Field emission auger electron spectroscopy analysis was used to examine the efficiency of the ion-stimulated desorption of the reaction products.

• 대한전자공학회논문지
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• 제24권1호
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• pp.91-96
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• 1987

Plasma etching can obtain less damaged etch surface than reactive ion etching. This study was performed to get anisotropic etching characteristics of Si using two step etching technique with C2CIF5 and SF6 gas mixture. The results show that the etch rate and aspect ratio of silicon was increased with increment of SF6 contents. The bulging phenomenon on trench side wall in the plasma one-step etching technique was eliminated by the two step etching technique. The anisotropy was decreased from 12(at 120m Torr) to 2.2(at 400m Torr) with increasing the chamber pressure. At the low rf power (350 watts) anisotrpy of silicon was obtained 7 lower than that of high rf power (650 watts. A:~9). In Summary we obtained anisotropic etching profiles of silicon with e 6\ulcornerm depth by using the plasma two-step etching technique.

• 한국습지학회지
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• 제21권4호
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• pp.384-391
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• 2019

최근 강우시 수계로 유출되는 비점오염물질로 인한 수질오염의 문제를 해결하고자 저영향개발(Low Impact development, LID)을 적용하고 있다. LID 시설 중 침투도랑 (Infiltration trench, IT) 과 침투화분 (Infiltration Planter, IP) 은 높은 침투율 및 침강지를 통한 오염물질 제거와 식생을 통한 영양염류 저감효율이 높다. 따라서 본 과제에서는 장기간 모니터링을 통한 침투도랑(IT)과 침투화분(IP)의 영양염류 오염물질 제거효율에 대해 분석하였다. 침투도랑(IT)과 침투화분(IP) 두 시설 모두 TSS 약 84%, TP 약 76%이상으로 제거효율이 높은것으로 나타났는데 이는 인의 화합물과 퇴적물간의 이온교환으로 인한 것으로 나타났다. 질소의 경우 침투화분시설(IP)의 제거효율이 침투도랑(IT)에 비해 약 28% 높은것으로 분석되었다. 이는 침투도랑(IT) 내 여재와 침강지에서의 침전을 통한 입자성 질소를 제거하는데 효과적이었으며, 암모늄질소(NH₄-N)와 아질산염 질소(NO₂-N)의 감소 및 질소(NO₃-N)의 증가는 질산화 및 탈질산화로 인한것으로 나타났다. 침투도랑(IT 모니터링 이벤트 중 강우강도가 11mm/hr로 강한 강우사상에서의 TN 및 TP의 저감효율은 각 34% 및 55%로 저감효율이 낮았으나, 5mm이하의 강우강도에서의 저감효율은 약 100%로 높은것으로 분석됬다. 반면 침투화분시설(IP)은 최대 강우강도 27mm/hr에서도 TN 및 TP의 저감효율은 97%이상으로 높은것으로 나타났다. 두 시설 모두 영양염류의 제거효율은 좋은것으로 나타났으나, 시설용량 및 HRT가 높고 시설 내 식생이 적용된 침투화분시설(IP)이 영양염류 제거효율이 더 높은것으로 분석되었다.

• 센서학회지
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• 제9권4호
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• pp.297-306
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• 2000

최근 MEMS 소자의 성능향상을 위하여 수십 ${\mu}m$의 두께를 가지는 고형상비 단결정실리콘 구조물 제작에 관한 연구가 활발하게 진행되고 있다. 그러나 이러한 고형상비 단결정실리콘 구조물 제작 기술에서는 구조물의 구동 또는 전기신호의 검지를 위한 전극 사이의 전기적인 절연 방법이 주된 문제로서 대두되고 있다. 본 논문에서는 고형상비를 가지는 단결정실리콘 구조물 전극 간의 전기적 절연을 위하여 고형상비 산화막으로 구성된 빔 및 측벽을 이용한 새로운 절연 기술을 개발하였다. 개발된 절연 기술은 실리콘 구조물을 측면 또는 하부에서 산화막으로 지지하는 절연 구조를 가진다. 이러한 트렌치 산화막은 그 깊이가 수십 ${\mu}m$이므로 산화막의 잔류응력이 구조물에 미치는 영향을 반드시 고려하여야 한다. 본 논문에서는 PECVD 방법으로 증착한 TEOS 산화막으로 절연 구조들을 제작하였으며, 제작된 절연구조들의 잔류응력을 측정하고, 그 잔류응력이 구조물에 미치는 영향을 해석하였다. 또한 공진자를 이용하여 개발된 절연 기술이 고형상비 단결정실리콘 구조물에 효과적으로 쓰일 수 있음을 보였다.

• 자원환경지질
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• 제56권4호
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• pp.365-384
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• 2023

서태평양에 위치한 총 173개의 지진 관측소에서 획득한 2,026개의 지진 자료에 분할 파형 역산을 적용하여 서태평양 지역 맨틀 전이대 깊이까지 S파 등방성 속도 및 방사 이방성에 대한 연구를 수행했다. 그 결과 필리핀해판의 경우 페러스-벨라 분지(Parece-Vela basin)에서 고속도 이상이 30 km 깊이까지 나타나는 것에 비해 서필리핀 분지(West Philippine basin)에서 고속도 이상이 50 km 깊이까지 유지되었다. 페러스-벨라 분지 하부 약 80 km 깊이부터 나타나는 저속도 이상이 깊이가 깊어짐에 따라 서필리핀 분지로 확장되는 경향을 보였는데 이는 페러스-벨라 분지와 서필리핀 분지 사이의 연령차이에 의한 것으로 보인다. 또한 캐롤라인 해저 산열(Caroline seamount chain) 및 캐롤라인 판의 하부에서 강한 저속도 이상이 약 200 km 깊이까지 보인다. 방사 이방성 모델의 경우 서태평양에서 전반적으로 양의 이방성에 우세하게 나타났으며 페러스-벨라 분지에서 약 50 km 깊이까지, 마리아나 해구를 따라 섭입하는 태평양판의 약 220 km 깊이부터 음의 이방성이 관측되었다. 캐롤라인 해저산열 하부 약 200 km 깊이까지 강한 양의 이방성이 나타났는데 이는 해저산열을 형성한 플룸과 이동하는 태평양판 사이에 발생한 끌림(drag)에 의한 것으로 보인다. 온통-자바 해대(Ontong-Java plateau) 지역 하부에서는 40 ~ 180 km 깊이에서 고속도 이상이 발견되었으며, 이는 탈수된 플룸 물질의 부착으로 인한 비정상적으로 두꺼운 암석권의 존재를 나타낸다.

• 자원환경지질
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• 제52권5호
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• pp.499-508
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• 2019

미얀마 북서부 물웨룻 크롬-니켈광화대(약 $800km^2$)의 산출지를 대상으로 예비조사를 통해, 자료원, 지질잠재성, 광상구 소재여부, 대상광물의 자원개발 필요성, 기탐사실적, 품위, 광상형, 인근 가행광산 여부, 인프라환경 및 탐사예상 효과를 면밀히 검토한후 보피붐 지역을 정밀탐사지역으로 선정하였다. 이후 2013년부터 2016년까지, 한국지질자원연구원과 미얀마지질조사광물탐사국은 1:1,000 축척 지질 및 토양지구화학탐사, 자력탐사($1.672km^2$ 면적), 트렌치조사(총연장 392 m 19개), 피트탐사(총 심도 42.6m 18개), 탐사시추(2015년, 6개공 600m 시추 및 2016년, 13개공 617.4m)를 수행했다. 이중 11개공에서 77개 시추코어시료를 채취하고 각각 비중과 Cr 및 Ni 함량을 양곤 DGSE 분석센터에서 분석했다. 기수행 지표지질조사, 지구화학탐사, 자력탐사, 트렌치조사, 시추자료를 고려하여 보피붐 지역을 8개 블록으로 구분했으며 자원량평가는 정측자원량 및 개측자원량으로 평가했다. 정측자원량은 약 9,790톤이며, 개측자원량은 약 12,080톤이고, 평균품위는 Cr 11.8% 및 Ni 0.34%이다. 보피붐 지역의 경우, 남쪽의 웨불라(Webula) 크롬광화대와 연계해서 개발한다면 중규모급 광산의 개발여지가 있으며, 미얀마는 지질학적으로 오피올라이트 벨트가 서측과 동측에 광대하게 분포하고 있어 보피붐 지역에서 기초탐사를 수행하면서 습득한 탐사기법은 향후 미얀마 오피올라이트벨트에서 잠두 크롬광체를 발견하는데 도움을 줄 것으로 사료된다.

• Ocean and Polar Research
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• 제25권2호
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• pp.201-211
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• 2003

Bottom simulating reflectors (BSR), representing the base of the gas hydrate stability field, are widespread on the South Shetland continental margin (SSM), Antarctic Peninsula. With the phase diagram fur the gas hydrate stability field, heat flow can be derived from the BSR depth beneath the seafloor determined on multichannel seismic profiles. The heat flow values in the study area range from $50mW/m^2$ to $85mW/m^2$, averaging to $65mW/m^2$. Small deviation from the average heat flow values suggests that heat flow regime of the study area is relatively stable. The landward decrease of heat flow from the South Shetland Trench to the continental shelf would be attributed to the landward thickening of the accretionary prism and the upward advection of heat associated with fluid expulsion. The continental slope 1500m to 3000m deep, where BSRs are most distinguished in the SSM, shows relatively large variation of heat flow possibly due to complex tectonic activities in the study area. The local high heat flow anomalies observed along the slope may be caused by heat transport mechanisms along a NW-SE trending large-scale fault.

• 상하수도학회지
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• 제31권6호
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• pp.599-609
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• 2017

Desalination plants have been recently constructed in many parts of the world due to water scarcity caused by population growth, industrialization and climate change. Most seawater desalination plants are designed with a submarine pipeline for intake and discharge. Submarine pipelines are installed directly on the bottom of the water body if the bottom is sandy and flat. Intake is located on a low-energy shoreline with minimal exposure to beach erosion, heavy storms, typhoons, tsunamis, or strong underwater currents. Typically, HDPE (High Density Polyethylene) pipes are used in such a configuration. Submarine pipelines cause many problems when they are not properly designed; HDPE pipelines can be floated or exposed to strong currents and wind or tidal action. This study examines the optimal design method for the trench depth of pipeline, analysis of on-bottom stability and dilution of the concentrate based on the desalination plant conducted at the Pacific coast of Peru, Chilca. As a result of this study, the submarine pipeline should be trenched at least below 1.8 m. The same direction of pipeline with the main wind is a key factor to achieve economic stability. The concentrate should be discharged as much as high position to yield high dilution rate.

• 한국미생물학회:학술대회논문집
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• 한국미생물학회 2007년도 International Meeting of the Microbiological Society of Korea
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• pp.80-82
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• 2007

We have isolated numerous cold deep-sea adapted microorganisms (piezophilic, formerly referred to as "barophilic" bacteria) using deep-sea research submersibles. Many of the isolates are novel psychrophilic bacteria, and we have identified several new piezophilic species, i.e., Photobacterium profundum, Shewanella violacea, Moritella japonica, Moritella yayanosii, Psychromonas kaikoi, and Colwellia piezophila. These piezophiles are involving to five genera in gamma-Proteobacteria subgroup and produce significant amounts of unsaturated fatty acids in their cell membrane fractions to maintain the membrane fluidity in cold and high-pressure environments. Piezophilic microorganisms have been identified in many deep-sea bottoms of many of the world oceans. Therefore, these microbes are well distributed on our planet. One of the isolated deep-sea piezophiles, Shewanella violacea strain DSS12 is a psychrophilic, moderately piezophilic bacterium from a sediment sample collected at the Ryukyu Trench (depth: 5,110 m), which grows optimally at 30 MPa and $8^{\circ}C$ but also grows at atmospheric pressure (0.1 MPa) and $8^{\circ}C$. We have examined this strain to elucidate the molecular basis for gene regulation at different pressure conditions because this strain is useful as a model bacterium for comparing the various features of bacterial physiology under pressure conditions. In addition, we completed the sequencing of the entire genome of this piezophilic bacterium and we expect that many biotechnologically useful genes will be identified from the genome information.

• 자원환경지질
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• 제33권4호
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• pp.249-260
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• 2000

한국 남부에서 섭입 해구의 방향과 나란히 쌍으로 발달한 화산대가 발견된다. 경상분지와 영동-광주 함몰대의 화산암류는 거의 나란한 양상을 보이며, 이들은 각각 동일한 섭입 체계에 따르는 첫 번째 화산대, 두 번째 화산대이다. 경상분지와 영동-광주 함몰대 화산암류의 불호정성 원소 함량은 호를 가로지르는 변화를 뚜렷하게 보인다. 즉, 첫 번째 화산대 (경상분지 및 남해안 도서지역)용암들의 불호정성 원소 함량은 두 번째 화산대 (영동-광주 함몰대)에 비해 더욱 결핍되며 두 번째 화산대에서 더욱 증가하는 경향을 보인다. 이와 같이 호를 가로지르는 변화를 보이는 것은, 탈수과정 동안 유체상과 공존하는 고체상의 차이에 기인한 것으로 보인다. 두 번째 화산대의 불호정성 원소의 함량, Zr/Y 비, Rb/K 비는 첫 번째 화산대에 비해 더 깊은 깊이에서 더 적은 정도의 부분 용융, 그리고 용융 과정에서의 잔류 석류석에 기인할 것이다.