Suppression of Boron Penetration into Gate Oxide using Amorphous Si on $p^+$ Si Gated Structure
(비정질 실리론 게이트 구조를 이용한 게이트 산화막내의 붕소이온 침투 억제에 관한 연구)
-
- Korean Journal of Materials Research
- /
- v.1 no.3
- /
- pp.125-131
- /
- 1991