DC Magnetron Sputtering법으로 제작한 Ti$_{x}$ N박박의 부식특성에 미치는 코팅조건과 첨가원소의 영향
(Effects of Coating and Additivw Gases on the corrosion Properties of Ti$_{x}$ N Films Preapered with DC Magneton Sputtering Method)
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- 한국표면공학회지
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- 제31권5호
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- pp.251-260
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- 1998