In this study, effects of ICP (inductively coupled plasma) treatment on PAR thin film have been investigated. A maximum etch rate of the PAR thin films and the selectivity of PAR to PR were obtained as 110 nm/minand 1.1 in the $CF_4/O_2$ (5:15 sccm) gas mixture. We present the surface properties of PAR thin film with various treatment conditions. The surface morphology and cross section of the PAR thin film was observed by AFM (atomic force microscopy) and FE-SEM (filed emission scanning electron microscopy).
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제15권3호
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pp.164-169
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2014
We investigated the etching characteristics of $HfAlO_3$ thin films in $O_2/Cl_2/Ar$ and $O_2/BCl_3/Ar$ gas, using a high-density plasma (HDP) system. The etch rates of the $HfAlO_3$ thin film obtained were 30.1 nm/min and 36 nm/min in the $O_2/Cl_2/Ar$ (3:4:16 sccm) and $O_2/BCl_3/Ar$ (3:4:16 sccm) gas mixtures, respectively. At the same time, the etch rate was measured as a function of the etching parameter, namely as the process pressure. The chemical states on the surface of the etched $HfAlO_3$ thin films were investigated by X-ray photoelectron spectroscopy. Auger electron spectroscopy was used for elemental analysis on the surface of the etched $HfAlO_3$ thin films. These surface analyses confirm that the surface of the etched $HfAlO_3$ thin film is formed with nonvolatile by-product. Also, Cl-O can protect the sidewall due to additional $O_2$.
표면효과익선이란 동체의 날개가 해수면 가까이 비행할 때 수면과 날개 사이에서 양력이 증가되는 표면효과를 이용하는 에너지 절약형 선박이다. 표면효과익선은 낮은 고도로 공기 중에서 비행하여야 되므로 박판으로 이루어져야 한다. 그러므로, 표면효과익선 구조에서 외판의 두께는 얇고 가벼우며 Stringer와 Frame등의 보강재는 외판에 비하여 단면적이 훨씬 크다. 이와 같은 구조에 있어서는 외판이 면내방향의 하중을 받으면 박판인 외판은 순전단장에 가깝게 된다. 이와같이 외판과 큰 단면적을 갖는 String를 서로 조합하여 이루어진 구조는 표면효과익선 구조물의 구조응답해석이 가능하다. 본 연구에서는 기본설계 단계에서 간단하게 기체 구조강도해석을 할 수 있는 기존의 해석적인 방법으로 동체와 표면익의 구조강도를 계산할 수 있는 해석적인 방법을 제시하였다.
The static analysis of structures with arbitrary cross-section geometry and material lamination via a refined one-dimensional (1D) approach is presented in this paper. Higher-order 1D models with a variable order of expansion for the displacement field are developed on the basis of Carrera Unified Formulation (CUF). Classical Euler-Bernoulli and Timoshenko beam theories are obtained as particular cases of the first-order model. Numerical results of displacement, strain and stress are provided by using the finite element method (FEM) along the longitudinal direction for different configurations in excellent agreement with three-dimensional (3D) finite element solutions. In particular, a layered thin-walled cylinder is considered as first assessment with a laminated conventional cross-section. An atherosclerotic plaque is introduced as a typical structure with arbitrary cross-section geometry and studied for both the homogeneous and nonhomogeneous material cases through the 1D variable kinematic models. The analyses highlight limitations of classical beam theories and the importance of higher-order terms in accurately detecting in-plane cross-section deformation without introducing additional numerical problems. Comparisons with 3D finite element solutions prove that 1D CUF provides remarkable three-dimensional accuracy in the analysis of even short and nonhomogeneous structures with arbitrary geometry through a significant reduction in computational cost.
The applications of composite materials have increased over the past few decades in a variety of structures that require high ratio of stiffness and strength to weight ratios. Recently the thick open section composite beams are used extensively as load carrying members and stiffeners of structural elements. However, most of studies on thick composite beams are limited only to closed section beams. In this study, an open cross-section thick-walled composite beam model which includes coupled stiffness, transverse shear, and warping effects is suggested and the deflections associated with the thick-walled composite beams and thin-walled composite beams are obtained and compared with the finite element analysis results.
For study on the unsteady wall interference effect, flows around a forced oscillating airfoil in closed test-section wind tunnels have been numerically investigated by solving compressible Navier-Stokes equations. The numerical scheme is based on a node-based finite-volume method with the Roe's flux-difference splitting and an implicit time-integration method coupled with dual time-step sub-iteration. The Spalart-Allmaras one-equation model is employed for the turbulence effect. The computed results of the oscillating airfoil having a thin wake showed that the lift curve slope is increased and the magnitude of hysteresis loop is reduced by the interference effects. Since the vortex around the airfoil is generated and convected downstream faster than the free-air condition, the phase of lift, drag and pitching moment coefficients was shifted. The pressure on the test section wall shows harmonic terms having the oscillating frequency contained in the wail effect.
Joint stiffness can affect the vibration characteristics of car body structures. Therefore, it should be included in vehicle system model. In this paper, a numerical approximation of joint stiffness is presented considering joint flexibility of thin walled beam-jointed structures. Using the proposed method, it is possible to optimize joint structures considering the change of section shapes in vehicle structures. The numerical approximation of joint stiffness is derived using the response surface method in terms of beam section properties. The study shows that joint stiffnesses can be effectively determined in designing vehicle structures.
This paper describes the collapse characteristics of the rectangular tube under eccentric compressive load. Local buckling stress and maximum crippling load are investigated. A thin-walled tube under load is controlled by local buckling or yielding of material according to the ratio of thickness to width (t/b) of the cross section, and subsequent collapse of the section. The relationship can be divided into three regions : elastic , post-buckling and crippling . the load-displacement relationship is theoretically presented in each region by introducing the stress distribution of the cross section in the loading process. And the maximum load carrying capacity is derived in the closed form as a function of normal stress on the flange and web.
This paper describes a type of piezoelectric transformer with improved design principles. It consists of a thin rectangular piezoelectric ceramic plate having two input electrodes and one output electrode. The length of each input and output electrode is nearly one third of that of piezoelectric transformer itself. In the driving section, the ceramic plate is poled in the thickness direction reversely with each other, and has electrodes on both main faces. The electric input near its fundamental resonance frequency is applied to the driving section in parallel and the output voltage from the generating section is connected to the resistor load. Its equivalent circuit is derived from the Mason\`s model. The frequency characteristics near the resonance frequency under no load have been investigated. Moreover, using this piezoelectric transformer we measured the LCD backlight characteristics.
The theory of non-prismatic folded plate structures was reported by D.H. Kim in 1965 and 1966. Fiber reinforced composite materials are strong in tension. The structural element for such tension force is very thin and weak against bending because of small bending stiffnesses. Naturally, the box type section is considered as the optimum structural configuration because of its high bending stiffnesses. Such structures can be effectively analyzed by the folded plate theory with relative ease. The “hollow” bending membr with uniform cross-section can be treated as prismatic folded plates which is a special case of the non-prismatic folded plates. In this paper, the result of analysis of a folded plates with one box type uniform cross-section is presented. Each plate is made of composite laminates with fiber orientation of [ABBCAAB]r, with A=-B=45${\circ}C$, and C=90${\circ}$. The influence of the span to depth ratio is also studied. When this ratio is 5, the difference between the results of folded plate theory and beam theory is 1.66%.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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