• 한국전기전자재료학회논문지
• /
• 제13권8호
• /
• pp.681-687
• /
• 2000

Magnetic Characteristics of an InSb hall device of multilayered structures were investigated. For the measurement of electrical properties of the hall device InSb thin films fabricated with series and parallel multilayers wee evaporated. Hall coefficient hall mobility carrier density and hall voltage were measured as a function of the intensity of magnetic field. We found that the XRD analysis of InSb thin film showed good properties at 20$0^{\circ}C$ 60 minutes. Resistance of ohmic contact was increased linearly due to increasing current. Hall voltages at 0.01 T showed 5$\times$10$^{-4}$ [V] and $1.5\times$10$^{-3}$ [V]. Some of device fabrication technique and analysis of magnetic characteristics were discussed.

• Transactions on Electrical and Electronic Materials
• /
• 제17권4호
• /
• pp.235-237
• /
• 2016

Oxide/metal/oxide (OMO) thin films were fabricated using amorphous indium-gallium-zinc-oxide (a-IGZO) and an Ag metal layer on a glass substrate at room temperature. The optical and electrical properties of the a-IGZO/Ag/a-IGZO samples changed systemically depending on the thickness of the Ag layer. The transmittance in the visible range tends to decrease as the Ag thickness increases while the resistivity, carrier concentration, and Hall mobility tend to improve. The a-IGZO/Ag (13 nm)/a-IGZO thin film with the optimum Ag thickness showed an average transmittance (T_av) of 71.7%, resistivity of 6.63 × 10⁻⁵ Ω·cm and Hall mobility of 15.22 cm²V⁻¹s⁻¹.

• Korean Chemical Engineering Research
• /
• 제45권4호
• /
• pp.378-383
• /
• 2007

Zirconium titanate($Zr_xTi_{1-x}O_2$)와 같은 다성분계 금속산화물의 박막을 형성함에 있어 비교적 저온에서 박막성분 간의 정확한 조성조절이 이루어지며 균일한 박막특성을 같게 하는 새로운 박막제조 공정방법을 제시하였다. 이 공정방법은 우선 다성분계 금속산화박막을 구성하는 단성분계 금속산화막들을 적층식구조로 형성하여 적절한 열처리로 고상확산 반응을 통한 단일상 다성분계 박막을 형성하는 것을 특징으로 한다. 본 연구에서는 단성분계 산화박막층을 형성하는 방법으로 나노두께의 박막을 형성할 수 있는 능력과 두께조절성이 우수한 PRTMOCVD(pulsed rapid thermal metalorganic chemical vapor deposition) 법이 개발 적용하였다. PRTMOCVD 법으로 $ZrO_2$와 $TiO_2$ 단성분 산화막의 두께를 제어하면서 교차로 적층시킨 후 $850^{\circ}C$의 질소분위기에서 30분간 열처리를 통한 박막간의 상호확산을 통해 $Zr_xTi_{1-x}O_2$ 다성분계 산화박막을 형성하였다. 박막내의 Zr과 Ti의 조성은 $ZrO_2$와 $TiO_2$ 단성분 산화막의 두께로 조절하였다. 형성된 $Zr_xTi_{1-x}O_2$ 박막에 대한 상세한 물성을 분석하였다.

• 한국광학회지
• /
• 제28권1호
• /
• pp.28-32
• /
• 2017

본 논문에서는 LSPR 센서에 적용하기 위한 제한된 높이 100 nm에서 $TiO_2$, $SiO_2$의 다중층을 이용한 LSPR 센서를 디자인을 제안했다. LSPR 센서의 구조는 유전체 층과 나노 구조가 있는 금속층으로 디자인 하였다. 금속층은 금 박막 40 nm와 높이 40 nm, 주기 600 nm, 선폭 300 nm인 나노와이어 구조체를 올려놓은 구조로 디자인하였다. 유전체 층의 높이를 100nm로 제한하고, $TiO_2$, $SiO_2$가 반복되는 구조로 하여 반복층의 개수를 1~4개로 변경하면서 비교 분석하였다. 파장 가변형 SPR을 디자인하기 위해 각도를 75도로 고정하고 파장을 변화시켜 FEM방식으로 계산하였다. 결과로 굴절율이 고정되어 있을 때 다중층의 개수가 증가할수록 공명 파장이 짧아지는 현상을 확인 하였고, 파장의 변화에 더 민감하게 변화하는 것을 측정하였다. 다만, 다중층의 개수가 3개층 이상이 되면 변화하지 않는 것을 확인하였다.

• 한국진공학회지
• /
• 제17권2호
• /
• pp.102-108
• /
• 2008

대향 타겟식 스퍼터링법 (Facing Targets Sputtering)을 이용하여 유리기판위에 증착한 Ag/ZnO 다층 박막의 특성을 연구하였다. Ag 박막의 높은 전도도와 투과율을 나타내는 공정조건을 찾기 위하여, 증착시간, 기판온도 변화에 따른 Ag박막의 특성을 살펴보았으며, ZnO 박막의 두께 변화에 따른 Ag/ZnO 다층박막의 특성을 살펴보았다, 10초간 증착한 Ag 박막은 연속된 막구조를 가지지 못하여, 30초간 증착된 막에 비해 전기적, 광학적 특성이 저하되는 것을 확인할 수 있었다. ZnO 박막의 AFM 측정 결과 박막의 거칠기(Rrms) 값의 변화에 따라 Ag/ZnO박막의 특성에 영향을 미쳤으며, 거칠지 않은 표면을 지닌 박막에서 Ag 박막 증착 시 좋은 특성을 나타냈다. 제작된 박막은 four point probe, UV/VIS spectrometer, AFM을 사용하여 전기적, 광학적, 구조적 특성을 조사하였다. 제작결과 Ag/ZnO 다층박막의 면저항은 9.25 $[\Omega/sq.]$을 나타내었으며, 가시광영역에서 광투과율은 80%이상을 나타내었다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 1997년도 춘계학술대회 논문집
• /
• pp.342-345
• /
• 1997

We fabricated the sample of u1tra thin lipid membrane(L-${\alpha}$-DLPC ) by LB methode. The $\pi$-A isotherm of the DLPC was measured at the air-water interface varying with the compressing speed and amounts of solutions for spreading. For good property of lipid monolayer film, it was necessary for the lower speed of compressing, and 40${\mu}\ell$ of solutions for spreading. The molecular arrangement of deposited films were evaluated by measuring the absorption, transmitance and intensity with the UV spectrophotometer. The Y-type multilayers prepared at 50mN/m showed weaker than Z-type. So we found building-up of structurally high quality LB films is essential to study properties of the films and to get reproducible data.

• Journal of Magnetics
• /
• 제15권3호
• /
• pp.99-102
• /
• 2010

We present the fractal properties of the magnetic domain walls in $(5-{\AA}\;Co_{90}Fe_{10}/10-{\AA}\;Pt)_n$ multilayer films with perpendicular magnetic anisotropy for the number of repeats n (1 to 5). In these films, the magnetization reversed due to the domain wall propagation throughout the films with rare nucleations. As n increased, it was observed that the jaggedness of the domain walls increased noticeably, which is possibly due to the accumulation of irregularities at the layer interfaces. The jaggedness of the domain walls was analyzed in terms of the fractal dimension by use of the ruler method, and it was revealed that the fractal dimension significantly changed from $1.0{\pm}0.002$ to $1.3{\pm}0.05$ as n increased from 1 to 5.

• 대한전기학회:학술대회논문집
• /
• 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 D
• /
• pp.1468-1470
• /
• 1998

Using a solution of polyamic acid salt obtained in combination with polyimide acid, we successfully prepared thermally stable multilayers(41, 35, 31 layers) films disilane-containing polyimide by Langmuir-Blodgett(LB) technique. We studied the electrically phenomena occurring at the metal(Au)/polyimide(Pl) LB film/metal(Au). Also, we then examined the of Pl LB films by means of current-voltage (I-V) and resistance measurement.

• E2M - 전기 전자와 첨단 소재
• /
• 제10권6호
• /
• pp.548-554
• /
• 1997

We fabricated the sample of ultra thin lipid membrane(L-$\alpha$-DLPC) by LB method. The $\pi$-A isotherm of the DLPC was measured at the air-water interface varying with the compressing speed and amounts of solutions for spreading. For the good property of lipid monolayer film, it was necessary to prepare at the lower speed of compressing, with an appropriate volume of solutions for spreading. Absorption, transmitance and intensity with the UV spectrophotometer were measured. The Z-type multilayers showed good characteristics better than Y-type. So we found building-up of structurally high quality LB films is essential to study properties of the films and to get reproducible data.

• 한국자기학회지
• /
• 제3권1호
• /
• pp.56-60
• /
• 1993

FeCo/Pd 초격자 다층박막의 FeCo 와 Pd sublayer 두께를 각각 $2.5\;{\AA}$ 및 $10.5\;{\AA}$으로 유지시키면서 FeCo sublayer 의 Fe 조성이 0에서 100% 까지 변화함에따른 포화자화값, 수직 자기이방성에너지, 보자력 및 Kerr 회전각의 파장 의존성을 조사 하였다. 포화자화값은 Fe 조성이 48 at.%부근에서 최 고치를 보였고, 수직 자기이방성에너 및 조자력은 Fe조성의 증가에따라 단조감소 하였다. Kerr 회전각은 Fe 조성의 증가에따라 감소하였는데 그 크기 및 변화의 폭은 단파장으로 갈수록 증가하였다.