• 제목/요약/키워드: Thermochemical Process

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집속 아르곤 이온 레이저 빔을 이용한 실리콘 기판의 식각 (Etching of Silicon Wafer Using Focused Argon lon Laser Beam)

  • 정재훈;이천;박정호
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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    • 제48권4호
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    • pp.261-268
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    • 1999
  • Laser-induced thermochemical etching has been recognized as a new powerful method for processing a variety of materials, including metals, semiconductors, ceramics, insulators and polymers. This study presents characteristics of direct etching for Si substrate using focused argon ion laser beam in aqueous KOH and $CCl_2F_2$ gas. In order to determine process conditions, we first theoretically investigated the temperature characteristics induced by a CW laser beam with a gaussian intensity distribution on a silicon surface. Major process parameters are laser beam power, beam scan speed and reaction material. We have achieved a very high etch rate up to $434.7\mum/sec$ and a high aspect ratio of about 6. Potential applications of this laser beam etching include prototyping of micro-structures of MEMS(micro electro mechanical systems), repair of devices, and isolation of opto-electric devices.

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Oxygen-Response Ability of Hydrogen-Reduced Nanocrystalline Cerium Oxide

  • Lee, Dong-Won
    • 한국분말재료학회지
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    • 제18권3호
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    • pp.250-255
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    • 2011
  • The potential application of ultrafine cerium oxide (ceria, $CeO_2$) as an oxygen gas sensor has been investigated. Ceria was synthesized by a thermochemical process: first, a precursor powder was prepared by spray drying cerium-nitrate solution. Heat treatment in air was then performed to evaporate the volatile components in the precursor, thereby forming nanostructured $CeO_2$ having a size of approximately 20 nm and specific surface area of 100 $m^2/g$. After sintering with loosely compacted samples, hydrogen-reduction heat treatment was performed at 773K to increase the degree of non-stoichiometry, x, in $CeO_{2-x}$. In this manner, the electrical conductivity and oxygen-response ability could be enhanced by increasing the number of oxygen vacancies. After the hydrogen reduction at 773K, $CeO_{1.5}$ was obtained with nearly the same initial crystalline size and surface. The response time $t_{90}$ measured at room temperature was extremely short at 4 s as compared to 14 s for normally sintered $CeO_2$. We believe that this hydrogen-reduced ceria can perform capably as a high-performance oxygen sensor with good response abilities even at room temperature.

폴리이미드의 탄화 처리에 의한 SiC 분리막의 가스투과 특성 (Gas Permeation Characteristics of the Prepared SiC Membrane through Polyimide Carbonization Treatmemt)

  • 최호상;황갑진;강안수
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제43권1호
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    • pp.66-70
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    • 2005
  • IS 프로세스의 HI 분해 반응에서의 적용을 위해 고분자재료(폴리이미드)를 이용하여 탄화 막을 제작하고, 이 탄화막에 SiO를 처리함으로써 SiC 막을 제작하였다. 폴리이미드의 탄화에 의한 중량 감소는 약 50% 정도이고, 탄화 온도가 증가할수록 중량감소도 증가하였다. 탄화막은 탄화온도가 상승하면 가스 투과속도가 감소하고 막의 치밀화가 진행되었다. SiC 막은 SiO의 처리 농도가 증가하면 가스 투과 속도는 증가하고, 기체 투과 메커니즘은 활성화에너지 흐름에서 Knudsen 흐름으로 변화한다는 것을 알 수 있었다.

하수슬러지 소각재 중의 인 회수방법의 사례 연구 (Reviews on the Phosphorus Recovery from Incinerated Sewage Sludge Ash)

  • 윤석표
    • 유기물자원화
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    • 제29권1호
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    • pp.5-17
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    • 2021
  • 본 연구는 하수슬러지 소각재에 비교적 높은 함량으로 존재하는 인을 회수하기 위한 국내외 사례를 조사한 문헌연구로서 습식방법 및 열화학적 방법에 의한 인의 회수 및 중금속 제거와 관련한 실험조건과 영향인자 등을 논의하였다. 하수슬러지 소각재의 인 회수 기술 상용화를 위해서는 인 회수과정에서 발생되는 폐수, 잔재물의 처분, 첨가 약품과 에너지 소모의 최소화 등 전체 시스템의 경제성 측면에서 소각시설과 연계한 집적처리공정이 바람직할 것으로 판단된다.

열화학적 방법에 의한 하수 슬러지 소각재에서의 인 회수 기술 동향 (Trends of Thermochemical Technology for the Recovery of Phosphorus from Sewage Sludge Ash)

  • 전슬기;신현아;김동진
    • 청정기술
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    • 제24권2호
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    • pp.87-98
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    • 2018
  • 인은 모든 생명체 유지에 필수적이며 대체 불가능한 원소로서 비료로 많이 이용되고 있다. 그러나 인 자원은 100년 이내에 고갈될 것으로 예상되고 있다. 슬러지 소각재는 인 함량이 높아 인 회수를 위한 대체 자원으로 알려져 있다. 그러나 소각재는 중금속과 인의 낮은 생물이용 가능성으로 인해 비료로 직접 사용할 수 없다. 염소 공여체를 이용한 열화학적 처리는 소각재의 중금속 함량을 낮추고 인의 생물이용 가능성을 높인다고 알려져 있다. 본 총설은 소각재의 중금속 감소와 생물이용 가능성 향상을 위한 열화학적 처리에 의 한 최신 인 회수 기술과 향후 인 회수를 위한 연구 전략을 세우기 위한 것이다. 그 결과 $CaCl_2$$MgCl_2$가 가장 효과적인 염소 공여체이며 반응온도(< $1000^{\circ}C$) 가 중금속 감소에 가장 중요한 운전 요소였다. 중금속 제거율은 원소에 따라 다르다. 열화학적인 슬러지 처리기술은 소각재에서 인 회수를 위한 상업적 응용이 곧 가능해지리라 사료되며 인 고갈에 의한 인류의 지속가능성 위기 극복에 큰 기여를 할 것이다. 향후 비용절감과 에너지 소비를 줄이는 환경 친화적 공정 개발이 필요하다.

Studying Thermochemical Conversion of Sm2O3 to SmCl3 using AlCl3 in LiCl-KCl Eutectic Melt

  • Samanta, Nibedita;Chandra, Manish;Maji, S.;Venkatesh, P.;Annapoorani, S.;Jain, Ashish
    • Journal of Electrochemical Science and Technology
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    • 제13권2호
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    • pp.279-291
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    • 2022
  • In this report the thermochemical conversion of Sm2O3 to SmCl3 using AlCl3 in LiCl-KCl melt at 773 K is discussed. The final product was a mixture of SmCl3, Al2O3, unreacted Sm2O3 and AlCl3 in the chloride melt. The electrochemical attributes of the mixture was analyzed with cyclic voltammetry (CV) and square wave voltammetry (SWV). The crystallographic phases of the mixture were studied with X-ray diffraction (XRD) technique. The major chemical conversion was optimized by varying the effective parameters, such as concentrations of AlCl3, duration of reaction and the amount of LiCl-KCl salt. The extent of conversion and qualitative assessment of efficiency of the present protocol were evaluated with fluorescence spectroscopy, UV-Vis spectrophotometry and inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy (ICP-AES) studies of the mixture. Thus, a critical assessment of the thermochemical conversion efficiency was accomplished by analysing the amount of SmCl3 in LiCl-KCl melt. In the process, a conversion efficiency of 95% was achieved by doubling the stoichiometric requirement of AlCl3 in 50 g of LiCl-KCl salt. The conversion reaction was found to be very fast as the reaction reached equilibrium in 15 min.

SI 수소생산 공정 Section 3 열교환기 설계 (Design of Heat Exchanger for Section 3 of SI Hydrogen Production Process)

  • 김기섭;박병흥
    • 융복합기술연구소 논문집
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    • 제7권1호
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    • pp.19-22
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    • 2017
  • SI process is one of the most advanced thermochemical water splitting cycles enabling mass production of hydrogen without emitting carbon dioxide when coupled to nuclear heat energy. The highest temperature (close to $1000^{\circ}C$) required in SI process is well matched with the outlet temperature of a coolant circulating a high-temperature gas-cooled reactor at around $950^{\circ}C$. In Section 3, some heat exchangers are included to recover heats from process flows at high temperature. In this work, we designed a heat exchanger based on the $1Nm^3/hr$ $H_2$ production capacity using commercial tools for chemical process design.