The Effect of Annealing Methods on Dopant Activation and Damage Recovery of Phosphorous ion Shower Doped Poly-Si (다결정 실리콘 박막 위에 P이온 샤워 도핑 후 열처리 방법에 따르는 도펀트 활성화 및 결함 회복에 관한 효과)
-
- Journal of the Korean Electrochemical Society
- /
- v.8 no.1
- /
- pp.24-31
- /
- 2005