Deposition of DLC film by using an FCVA system with a magnetic mirror and characterization of its material properties (거울형 자계 구조를 갖는 진공 여과 아크 증착법을 이용한 다이아몬드상 탄소 박막의 증착 및 물성 분석)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2000.07c
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- pp.1717-1719
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- 2000