We report the effect of Standard Clean-1 (SC-1) cleaning to remove residual Ti layers after silicidation to prevent Al diffusion into Si wafer for Ti Schottky barrier diodes (Ti-SBD). Regardless of SC-1 cleaning, the presence of oxygen atoms is confirmed by Auger electron spectroscopy (AES) depth profile analysis between Al and Ti-silicide layers. Al atoms at the interface of Ti-silicide and Si wafer are detected, when the SC-1 cleaning is not conducted after rapid thermal annealing. On the other hand, Al atoms are not found at the interface of Ti-SBD after executing SC-1 cleaning. Al diffusion into the interface between Ti-silicide and Si wafer may be caused by thermal stress at the Ti-silicide layer. The difference of the thermal expansion coefficients of Ti and Ti-silicide gives rise to thermal stress at the interface during the Al layer deposition and sintering processes. Although a longer sintering time is conducted for Ti-SBD, the Al atoms do not diffuse into the surface of the Si wafer. Therefore, the removal of the Ti layer by the SC-1 cleaning can prevent Al diffusion for Ti-SBD.
Thermal conductivities in $La_2Ce_2O_7-Gd_2Ce_2O_7-Y_2Ce_2O_7$ ternary system have been investigated. Pyrochlore phases formed at all ternary compositions and their sinterbilities were decreased with La addition. Thermal conductivities showed a minimum value at $La_2Ce_2O_7$ with moderate increases as $Y^{3+}$ and $Gd^{3+}$ ions replaced $La^{3+}$. Thermal expansion anomaly observed in $La_2Ce_2O_7$, which might be detrimental to TBC application, were suppressed by $Y^{3+}$ and $Gd^{3+}$ additions, with resultant thermal conductivities, $1.3{\sim}1.5 W/mK$ at $1000^{\circ}C$.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.22
no.1
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pp.73-79
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1998
The development of a new material which should be continuously usable under severe environment of very high temperature has been urgently requested. The conventional thermal barrier coating(TBC) is a two layer coating, but a composition and a microstructure of functionally graded material(FGM) are varied continuously from place to place in ways designed to provide it with the maximum function of mitigating the induced thermal stress. The purpose of this study is to evaluate the heat-resistant characteristics by thermal shock of laser and furnace heating. The fracture behaviors of non-FGM(NFGM) and FGM were investigated based on acoustic emission(AE) technique during thermal shock test. Therefore, it can be concluded that FGM gives higher thermal resistance compared to NFGM by AE signal and fracture surface analysis.
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.50
no.6
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pp.460-464
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2017
As increasing thermal efficiency of the gas turbine, the performance improvement of thermal barrier coatings is also becoming important. Ytrria stabilized zirconia(YSZ) is the most popular materials for ceramic top coating because of its low thermal conductivity. In order to enhance the performance of thermal barrier coatings for hot sections in the gas turbine, suspension plasma spraying was developed in order to feed nano-sized powders. YSZ coatings formed by suspension plasma spraying showed better performance than YSZ coatings due to its exclusive microstructure. In this research, two YSZ coatings were deposited by suspension vacuum plasma spraying at 400 mbar and 250 mbar. Microstructures of YSZ coatings were analyzed by scanning electron image(SEM) on each spraying conditions, respectively. Crystalline structure transformation was not detected by X-ray diffraction. Thermal conductivity of suspension vacuum plasma sprayed YSZ coatings were measured by laser flash analysis. Thermal conductivity of suspension vacuum plasma sprayed YSZ coatings containing horizontally oriented nano-sized pores and vertical cracks showed $0.6-1.0W/m{\cdot}K$, similar to thermal conductivity of YSZ coatings formed by atmospheric plasma spraying.
Kim, Sun-Joo;Lee, Sung-Min;Oh, Yoon-Suk;Kim, Hyung-Tae;Jang, Byung-Koog;Kim, Seongwon
Journal of the Korean Ceramic Society
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v.53
no.6
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pp.652-658
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2016
Gadolinium zirconate, $Gd_2Zr_2O_7$, is one of the most versatile oxides among the new thermal-barrier-coating (TBC) materials for replacing conventional yttira-stabilized zirconia (YSZ). $Gd_2Zr_2O_7$ exhibits excellent properties, such as low thermal conductivity, high thermal expansion coefficient comparable with that of YSZ, and chemical stability at high temperature. In this study, bulk and coating specimens with $Gd_{2-x}Zr_{2+x}O_{7+0.5x}$ (x = 0.0, 0.5, 1.0) compositions were fabricated in order to examine the characteristics of this gadolinium zirconate system with different Gd content for TBC applications. Especially, coatings with $Gd_{2-x}Zr_{2+x}O_{7+0.5x}$ (x = 0.0, 0.5, 1.0) compositions were produced by suspension plasma spray (SPS) with suspension of raw powder mixtures prepared by planetary milling followed by ball milling. Phase formation, microstructure, and thermal diffusivity were characterized for both sintered and coated specimens. Single phase materials with pyrochlore or fluorite were fabricated by normal sintering as well as SPS coating. In particular, coated specimens showed vertically-separated columnar microstructures with thickness of $400{\sim}600{\mu}m$.
The first stage blade of a gas turbine was operated under a severe environment which included both $1300^{\circ}C$ hot gas and thermal stress. To obtain high efficiency, a thermal barrier coating (TBC) and an internal cooling system were used to increase the firing temperature. The TBC consists of multi-layer coatings of a ceramic outer layer (top coating) and a metallic inner layer (bond coat) between the ceramic and the substrate. The top and bond coating layer respectively act as a thermal barrier against hot gas and a buffer against the thermal stress caused by the difference in the thermal expansion coefficient between the ceramic and the substrate. Particularly, the bondcoating layer improves the resistance against oxidation and corrosion. An inter-diffusion layer is generated between the bond coat and the substrate due to the exposure at a high temperature and the diffusion phenomenon. A thickness measurement result showed that the bond coat of the suction side was thicker than that of the pressure side. The thickest inter-diffusion zone was noted at SS1 (Suction Side point 1). A chemical composition analysis of the bond coat showed aluminum depletion around the inter-diffusion layer. In this study, we evaluated the properties of the bond coat and the degradation of the coating layer used on a $1300^{\circ}C$-class gas turbine blade. Moreover, the operation temperature of the blade was estimated using the Arrhenius equation and this was compared with the result of a thermal analysis.
This paper proposes and analyzes recycling of optical phonons emitted by nonradiative decay, which is a major thermal management concern for high-power light emitting diodes (LED), by introducing an integrated, heterogeneous barrier cooling layer. The cooling is proportional to the number of phonons absorbed per electron overcoming the potential barrier, while the multi-phonon absorption rate is inversely proportional to this number. We address the theoretical treatment of photon-electron-phonon interaction/transport kinetics for optimal number of phonons (i.e., barrier height). We consider a GaN/InGaN LED with a metal/AlGaAs/GaAs/metal potential barrier and discuss the energy conversion rates. We find that significant amount of heat can be recycled by the barrier transition cooling layer.
In the present work, the measurement method of residual stresses in thermal barrier coatings(TBCs) which are received the thermal shock is performed numerically. For this, the internal residual stresses are predicted by commercial FEM software ABAQUS because the hole drilling strain gage method measures residual stresses only near the surface of a material. As the results of this study, the residual stresses are linearly increased when the surface temperatures are over $1,200^{\circ}C$. It is also found that the values of residual stress are increased as the coating thickness is thin.
Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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v.22
no.6
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pp.895-900
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2013
Several plasma spray and metallurgical surface coatings such as $Al_2O_3$, $Cr_2O_3$, WC-Ni, and chromizing coating have been examined for their application in environments with high temperature, wear, and corrosion. The chromizing coating is different from others coatings in the manufacturing process the surface. These coatings' characteristics were tested experimentally, and the results were compared. WC-Ni shows good performance against thermal barrier, wear, and corrosion and is one of the best candidates for the environment considered herein. These coatings were studied for their application in the steel manufacturing industry. The most commonly required functions in this industry are thermal and wear resistance.
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