• 제목/요약/키워드: TEM-1

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A Study on Lateral Distribution of Implanted Ions in Silicon

  • Jung, Won-Chae;Kim, Hyung-Min
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제7권4호
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    • pp.173-179
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    • 2006
  • Due to the limitations of the channel length, the lateral spread for two-dimensional impurity distributions is critical for the analysis of devices including the integrated complementary metal oxide semiconductor (CMOS) circuits and high frequency semiconductor devices. The developed codes were then compared with the two-dimensional implanted profiles measured by transmission electron microscope (TEM) as well as simulated by a commercial TSUPREM4 for verification purposes. The measured two-dimensional TEM data obtained by chemical etching-method was consistent with the results of the developed analytical model, and it seemed to be more accurate than the results attained by a commercial TSUPREM4. The developed codes can be applied on a wider energy range $(1KeV{\sim}30MeV)$ than a commercial TSUPREM4 of which the maximum energy range cannot exceed 1MeV for the limited doping elements. Moreover, it is not only limited to diffusion process but also can be applied to implantation due to the sloped and nano scale structure of the mask.

Morphological Control of Periodic Mesoporous Organosilica with Agitation

  • 박성수;이치헌;전종현;조상준;박동호
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제22권9호
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    • pp.948-952
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    • 2001
  • Periodic mesoporous organosilicas with rope-based morphology from a reaction gel composition of 1 BTME : 0.57 ODTMABr : 2.36 NaOH : 353 H2O were synthesized. While long rope-shaped product dominated in case of static synthesis condition , gyroid type products instead of rope shaped product appeared and rope shaped product disappeared with agitation. PMO with such a long rope shaped morphology is firstly reported. Additionally, various rope-based morphologies depending on the degree of bending, twisting, folding and winding of rope such as spirals, discoids, toroids, and worm-like aggregates were observed. White powdered products were characterized by X-ray diffraction, N2 sorption measurement, SEM and TEM. From XRD pattern and TEM image, ODTMA-PMO with hexagonal symmetry was identified. The pore diameter and BET surface area of ODTMA-PMO are $32.9{\AA}$ and 799 m2g-1 , respectively. Hexagonally arrayed channels run with long axis of rope and rope-based shapes with various degree of curvature, which was elucidated by using TEM images.

고효율 LED 제작을 위한 비,반극성 GaN의 성장 및 결함 분석

  • 공보현;김동찬;김영이;안철현;배영숙;우창호;서동규;남옥현;유근호;장종진
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.172-172
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    • 2009
  • In this study, we presented comparative discrimination methods to identify various line and planar defects observed in nonpolar a-GaN epilayers on r-sapphire substrates. Unlike the case of conventional c-GaN, which is dominated by perfect threading dislocations, systematic identification of undistinguishable defects using transmission electron microscopy (TEM) is necessary to suppress the propagation of defects in nonpolar GaN epilayers. Cross-sectional TEM images near the [0001] zone axis revealed that perfect mixed and pure screw type dislocations are visible, while pure edge, partial dislocations, and basal stacking faults (BSFs) are not discernible. In tilted cross-sectional TEM images along the [$1\bar{2}10$] zone axis, the dominant defects were BSFs and partial dislocations for the $g=10\bar{1}0$ and 0002 two-beam images, respectively. From plan view TEM images taken along the [$11\bar{2}0$] axis, it was found that the dominantpartial and perfect dislocations were Frank-Shockley with b=${\pm}1/6$<$20\bar{2}3$> and mixed type without an 1 component including b=${\pm}1/3$<$1\bar{2}10$> and ${\pm}1/3$<$\bar{2}110$>, respectively. Prismatic stacking faults were observed as inclined line contrast near the [0001] zone axis and were visible as band contrast in the two-beam images along the [$1\bar{2}10$] and [$11\bar{2}0$] zone axes.

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분쇄된 Kenyaite를 이용한 Kenyaite/epoxy 나노복합체 제조 (Preparation of Kenyaite/epoxy Nanocomposite from Pulverization of Kenyaite)

  • 주을래;정순용;오성근;권오윤
    • 공업화학
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    • 제18권1호
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    • pp.48-53
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    • 2007
  • 진동 밀을 이용한 kenyaite의 분쇄특성과 에폭시에 대한 분산특성을 SEM, XRD, TEM, 입도분석을 통하여 조사하였다. 분쇄는 0.5~5 h 동안 진행되었으며, SEM 분석 결과 1 h 분쇄할 경우 다발을 이루던 판상입자가 거의 깨어져 흩어짐을 알 수 있었으며, 그 이상 분쇄하게 되면 판상형태가 거의 사라졌다. 또한, XRD 분석결과, 1 h 이하로 분쇄한 입자의 경우 H-kenyaite 고유의 피크가 유지되었고, 3 h 이상 분쇄된 입자의 경우 H-kenyaite 고유의 피크가 사라지면서 결정구조가 파괴되어 거의 무정형으로 변환되었다. 에폭시 수지와 나노복합체를 만들 경우, 분쇄를 하지 않은 시료는 단지 3~5 nm의 층간거리 확장을 나타내지만, 1 h 분쇄한 경우엔 5~10 nm로 층간거리가 크게 확장됨을 TEM 분석을 통하여 확인할 수 있었다. 상기의 결과는 넓은 판들이 다발을 이루는 kenayite 입자의 적절한 분쇄가 박리형 kenyaite-polymer 나노복합체 제조에 큰 영향을 줄 수 있음을 확인할 수 있다.

Pd/C 촉매 제조 방법에 따른 Pd 금속의 특성 및 촉매 활성 (Effect of Preparation Method for Pd/C Catalysts on Pd Characterization and their Catalytic Activity)

  • 김지선;홍성수;김종화;이만식
    • 공업화학
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    • 제26권5호
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    • pp.575-580
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    • 2015
  • 본 연구는 여러 가지 방법에 의해 제조된 Pd/C 촉매의 특성을 질소흡탈착등온선, XRD, FE-TEM 및 CO-chemisorption을 이용하여 확인하였고, 제조된 촉매의 활성을 cyclohexene의 수소화 반응을 통하여 확인하여 제조방법에 따른 촉매의 특성 변화가 촉매 활성에 미치는 영향에 대하여 연구하였다. 각각의 제조방법을 통하여 제조된 Pd/C 촉매의 FE-TEM 분석결과, 이온교환법으로 제조된 촉매의 분산 정도가 매우 우수하며, 폴리올법으로 제조된 촉매의 분산 정도가 매우 낮음을 확인하였다. CO-chemisorption 분석에 의한 분산도 결과 이온교환법, 함침법 및 폴리올법으로 제조된 촉매의 Pd 분산도가 각각 17.55, 13.82% 및 1.35%로 나타나 FE-TEM 결과와 일치함을 확인하였다. 이후 cyclohexene의 수소화반응을 통하여 제조된 촉매의 활성을 확인하였고, 이온교환법으로 제조된 촉매의 cyclohexene의 전환율이 71%로 가장 높음을 확인하였다. 이는 탄소 담지체에 담지된 Pd의 분산도가 반응 활성에 영향을 미쳐 나타난 결과임을 알 수 있었다.

Characterization of Extended Spectrum $\beta$-Lactamase Genotype TEM, SHV, and CTX-M Producing Klebsiella pneumoniae Isolated from Clinical Specimens in Korea

  • Kim Yun-Tae;Kim Tae-Un;Baik Hyung-Suk
    • Journal of Microbiology and Biotechnology
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    • 제16권6호
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    • pp.889-895
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    • 2006
  • To investigate the antibiotic-resistant patterns and the gene types of extended-spectrum $\beta$-lactamase (ESBL)-producing Klebsiella pneumoniae, we collected 226 Klebsiella pneumoniae strains from three general hospitals with more than 500 beds in Busan, Korea from September 2004 to October 2005, The minimum inhibitory concentration (MIC) of antibiotics was measured using the Gram-negative susceptibility (GNS) cards of Vitek (Vitek system, Hazelwood Inc., MO, U.S.A.). Of the 226 K, pneumoniae isolates, 65 ESBL-producing K. pneumoniae strains were detected by the Vitek system and confirmed by the double-disk synergy test. TEM (Temoniera) type, SHV (sulfhydryl variable) type, and CTX-M (cefotaxime) type genes were detected by polymerase chain reaction. All 65 K. pneumoniae strains were resistant to ampicillin, cefazolin, cefepime, ceftriaxone, and aztreonam, and 83.0% of the organisms were resistant to ampicillin/sulbactam, 66.1% to tobramycin, 67.6% to piperacillin/tazobactam, 61.5% to ciprofloxacin, and 47.6% to trimethoprim/sulfamethoxazole, and 43.0% to gentamicin. TEM-type ESBLs (TEM-1 type, -52 type) were found in 64.6% (42 of 65) of the isolates, SHV-type ESBLs (SHV-2a type, -12 type, -28 type) in 70.7% (46 of 65) of isolates, and CTX-M-type ESBLS (CTX-M-15 type) in 45% (29 of 65) of isolates. Of the 65 ESBL-producing K. pneumoniae strains, two strains were found to harbor blaSHV-28, which were detected in Korea for the first time. Therefore, more investigation and research on SHV-28 are needed in order to prevent the ESBL type-producing K. pneumoniae from spreading resistance to oxyimino cephalosporin antibiotics.

냉각법 및 영상 처리기법을 이용한 서브마이크론 정전분무 액적의 크기분포 측정 (Measurement of Size Distributions of Submicron Electrosprays Using a Freezing Method and an Image Processing Technique)

  • 구본기;김상수;김유동;이상용
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제25권10호
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    • pp.1400-1407
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    • 2001
  • The size distributions of electrospray droplets from the Taylor cone in cone-jet mode are directly measured by using a freezing method and a transmission electron microscope (TEM) image processing technique. These results are compared with the data obtained by an aerodynamic size spectrometer (TSI Aerosizer DSP). The use of glycerol seeded with NaI and a freezing method make it possible to sample droplets with their original sizes preserved. Since pictures of droplets are taken with TEM with very low vapor pressure of the solution, evaporation is suppressed by freezing. For liquid flow rates below 1 nl/sec, the measured droplet diameters by the TEM image processing technique and the aerosizer are in the range of 0.25 to 0.32 m add 0.3B to 0.40m, respectively. Comparing the TEM data with the aerosizer measurements, it has been revealed that the TEM image processing technique can afford more accurate values of droplet size distributions in the submicron range of 0.1 to 0.4m.

전자회절도형을 이용한 장석의 구조 분석에 대한 고찰 (An Investigation on Structural Analysis of Feldspars by Electron Diffraction Patterns)

  • 김윤중;이영부;박병규;이정후
    • 한국광물학회지
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    • 제17권2호
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    • pp.177-187
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    • 2004
  • Au 내부 표준시편을 이용하여 일반 전자회절도형에서도 알바이트와 올리고클레이스의 격자 상수 값을 1% 이내의 오차범위로 얻었다. 자연산 올리고클레이스 시료의 전자회절도형 지도를 작성하였고, 11개 지점의 정대축 전자회절도형을 얻었다 이러한 작업은 삼사정계민 장석으로부터 신뢰성 있는 전자현미경 연구 결과를 얻기 위해서는 필수적인 과정이다. 장식의 {001} 벽개면과 TEM의 양측경사 시료지지대를 이용하면 장석의 구조/화학 분석에 필요한 다음과 같은 정보를 획득할 수 있다: 알칼리 장석은 [001] 방향에서 * 값을, [100] 방향에서 $\alpha$* 값을 측정하여 $\alpha$* - * plot을 함으로써 미세 영역에서 Si-Al ordering 상태 및 화학 조성을 예측할 수 있다. Na-rich한 사장석은 [001] 방향에서 * 값을 측정하여 Si-Al ordering 상태를 예측할 수 있다. Na-poor한 사장석은 [100] 방향에서 e-reflection의 유무, 회절강도 및 위치 변화를 측정하여 구조 및 화학을 예측할 수 있다.

정상돈과 설사돈에서 분리한 대장균의 항균제 내성 및 BlaTEM 분포 조사 (Antimicrobial resistance and frequency of BlaTEM in Escherichia coli isolated from non-diarrheic and diarrheic piglets)

  • 변재원;김하영;정병열;배유찬;이완규
    • 대한수의학회지
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    • 제52권2호
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    • pp.133-139
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    • 2012
  • Antimicrobial resistance is one of the most concerns in pig industry. Escherichia (E.) coli have been used for the indicator to monitor the antimicrobial resistance. In this study, 321 E. coli from diarrheic and non-diarrheic piglets were tested for antimicrobial resistance and frequency of $Bla_{TEM}$. In non-diarrheic piglets, they were resistant to oxytetracycline (93%), streptomycin (92%) and sulfadiazine (90%) but susceptible to ceftiofur (99%), colistin (97%), and enrofloxacin (82%). The isolates from diarrheic piglets were resistant to enrofloxacin (72.9%), ceftiofur (17.6%), and colistin (11.3%), whereas the resistance was 1%, 18% and 3% in case of non-diarrheic piglets, respectively. The resistance for amoxicillin/clavulanic acid (54.1%) and ceftiofur (22%) was high in isolates from post-weaning piglets. The resistance for colistin was 15.2% in nursery piglets. Seventy-three percent of isolates from diarrheic piglets showed high multidrug resistance profile (more than 13 antimicrobials) compared to those from non-diarrheic pigs in which 71% of isolates showed moderate multidrug resistance profile (7 to 12 antimicrobials). The frequency of $Bla_{TEM}$ in E. coli from non-diarrheic and diarrheic piglets was 57% and 69%, respectively. The results might provide the basic knowledge to establish the strategies for treatment and reduce antibiotic resistance of E. coli in piglets.

스퍼터 증착조건에 따른 구리박막의 미세구조 분석 (Microstructure Characterization of Cu Thin Films : Effects of Sputter Deposition Conditions)

  • 조철호;정진구;김영호
    • Applied Microscopy
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    • 제29권3호
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    • pp.265-274
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    • 1999
  • DC마그네트론 스퍼터링방법으로 공정조건을 변화시키며 종착된 구리박막의 미세구조를 분석하였다. 폴리이미드위에 두께 50nm의 Cr박막을 증착한 뒤 두께 500 nm 또는 1000nm의 Cu 박막을 아르곤 압력을 5, 50, 100 mtorr로 변화시키며 증착하였으며 박막의 미세구조는 범용 SEM과 고분해능 SEM, TEM을 사용하여 관찰하였다. 스퍼터링 압력이 증가할수록 열린 계면이 더 많이 관찰되었다. 5 mtorr에서 형성된 박막의 표면은 균일하고 치밀한 구조인 반면에 높은 압력에서 증착된 시편에는 많은 미세 균열이 관찰되었다. 50, 100 mtorr에서 증착된 시편은 박막 두께의 영향도 관찰되어 500nm의 경우에 비해 두께가 $1{\mu}m$인 두꺼운 박막에서 더 법고 큰 균열이 발견되며 균열의 수도 증가하였다. 고분해능 SEM과 TEM으로 관찰한 결과 5 mtorr에서 증착된 시편의 특정 미세 형상은 하나의 결정립이며 주상정이 잘발달된 50, 100 mtorr에서 증착된 시편에서는 1개의 주상정 내부에 여러개의 결정립이 존재하였다. 증착압력이 증가할수록 구리박막의 결정립 크기가 감소하였는데 이는 구리원자의 표면 확산이 방해 받았기 때문이다.

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