Laser CVD $SiO_2$ 막의 Step Coverage에 관한 연구
(Step Coverage of Laser CVD Deposited $SiO_2$ Films)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1991년도 하계학술대회 논문집
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- pp.155-157
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- 1991