Analysis of the Spectro-ellipsometric Data with Backside Reflection from Semi-transparent Substrate by Using a Rotating Polarizer Ellipsometer (반투명 기층에 의한 후면반사를 고려한 회전검광자 방식의 타원측정 및 분석)
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- Korean Journal of Optics and Photonics
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- v.22 no.4
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- pp.170-178
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- 2011