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Large Area Plasma for LCD Processing by Individyally Controlled Array Sources

  • Kim, Bong-Joo;Kim, Chin-Woo;Park, Se-Geun;Lee, Jong-Geun;Lee, Seung-Ul;Lee, Il-Hang;O, Beom-Hoan
    • Journal of Information Display
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    • 제3권2호
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    • pp.26-30
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    • 2002
  • Large area plasma source has been built for LCD etcher by an array of $2{\times}2$ ICP sources. Since only one RF power supply and one impedance matching network is used in this configuration, any difference in impedances of unit RF antennas causes unbalanced power delivery to the unit ICP. In order to solve this unavoidable unbalance, unit antenna is designed to have a movable tap, with which the inductance of each unit can be adjusted individually. The plasma density becomes symmetric and etch rate becomes more uniform with the impedance adjustment. The concept of adding axial time-varying magnetic field to the single ICP source is applied to the array ICP source, and is found to be effective in terms of etch rate and uniformity.

관련성 분포정보를 이용한 통합 검색 시스템의 설계 및 구현 (Design and Implementation of Meta Search using Relevance Distribution Information)

  • 김현주
    • 한국컴퓨터산업학회논문지
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    • 제2권11호
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    • pp.1427-1438
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    • 2001
  • 본 논문에서는 관련성 분포 정보를 이용한 새로운 컬렉션 융합 모델을 제시한다. 이는 먼저 주어진 질의에 대하여 검색에 참여한 정보원을 평가하고 질의에 가장 적합한 정보원을 선택한다. 그리고 정보원의 평가 결과에 따라 해당 정보원으로부터 검색 문서를 차별적으로 수집하고, 검색된 문서들은 정보원의 평가 값인 관련성 분포 정보를 기반으로 최종 검색 문서의 순위 매김을 수행한다. 이렇게 순위 매김 된 검색 문서는 단일 우선 순위를 가지는 검색 문서의 집합으로 통합하여 사용자에게 단일 검색 결과를 제공한다. 그리고 질의어에 대하여 가장 좋은 정보원들을 분류할 수 있는 체계를 개발하여 사용자의 질의어에 대하여 최선의 정보원들을 선택할 수 있는 알고리즘의 제시하였다. 마지막으로 선택된 정보원으로부터 질의에 적합한 문서를 검색한 후에 이들을 순위 매김하고 통합하는 통합검색 시스템을 제시한다.

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3차원적 전류 흐름을 고려한 FinFET의 기생 Source/Drain 저항 모델링 (Modeling of Parasitic Source/Drain Resistance in FinFET Considering 3D Current Flow)

  • 안태윤;권기원;김소영
    • 전자공학회논문지
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    • 제50권10호
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    • pp.67-75
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    • 2013
  • 본 논문에서는 RSD(Raised Source/Drain)구조를 가지는 FinFET에서 3차원적 전류 흐름을 고려한 소스와 드레인의 해석적 저항모델을 제시한다. FinFET은 Fin을 통해 전류가 흐르기 때문에 소스/드레인의 기생저항이 크고 채널을 포함한 전체저항에서 중요한 부분을 차지한다. 제안하는 모델은 3차원적 전류흐름을 고려하여 contact부터 channel 직전 영역까지의 소스/드레인 저항을 나타내며 contact저항과 spreading저항의 합으로 이루어져 있다. Contact저항은 전류의 흐름을 고려한 가이드라인을 통해 작은 저항의 병렬합으로 모델링되고 spreading저항은 적분을 통해 구현했다. 제안된 모델은 3D numerical solver인 Raphael의 실험결과를 통해 검증했다. 본 연구에서 제안된 기생저항 모델을 BSIM-CMG와 같은 압축모델에 구현하여 DC 및 AC 성능 예측의 정확도를 높일 수 있을 것이다.

Ad Hoc 망에서 경로단절 사전감지를 통한 TCP 성능향상 (Improving TCP Performance through Pre-detection of Route Failure in Mobile Ad Hoc Networks)

  • 이병열;임재성
    • 한국통신학회논문지
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    • 제29권11B
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    • pp.900-910
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    • 2004
  • Ad hoc망에서는 이동 호스트들의 움직임으로 인해 경로 단절이 발생한다. 전송 경로의 단절은 목적지까지의 패킷을 전송할 수 없는 상태이므로 패킷의 손실과 지연을 가져온다. 따라서 TCP와 같은 전송 프로토콜은 이를 망의 혼잡으로 간주하여 혼잡 제어 알고리즘을 구동한다. 혼잡 제어 알고리즘은 망의 혼잡을 피하기 위한 수단으로 사용되는데, 경로 단절 시 혼잡 제어 알고리즘이 동작하면 TCP 성능이 떨어진다. 이를 해결하기 위해 본 논문은 TCP-P (TCP Pre-freezing) 기법을 제안한다. TCP-P는 라우팅 프로토콜에서 경로 단절에 대한 정보를 얻지 않고, MAC 계층에서 직접 경로 단절을 감지한다. 그리고 경로 단절 정보를 소스에게 보내어 TCP를 Pre-Freezing 하고 혼잡 제어 알고리즘을 멈추게 한다. 따라서 경로 단절로 인한 패킷 손실을 막고, 경로 재설정 후에도 경로 단절 이전 상태로 전송을 재개할 수 있게 한다. 실험 결과 TCP-P는 ad hoc 망의 경로 단절 환경에서 Proactive하게 반응하며, 패킷 손실 측면에서 다른 TCP 향상 기법들보다 좋은 성능을 보였다.

Tri-gate FinFET의 fin 및 소스/드레인 구조 변화에 따른 소자 성능 분석 (Performance Analysis of Tri-gate FinFET for Different Fin Shape and Source/Drain Structures)

  • 최성식;권기원;김소영
    • 전자공학회논문지
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    • 제51권7호
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    • pp.71-81
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    • 2014
  • 본 논문에서는 삼차원 소자 시뮬레이터(Sentaurus)를 이용하여 tri-gate FinFET의 fin과 소스/드레인 구조의 변화에 따른 소자의 성능을 분석하였다. Fin의 구조가 사각형 구조에서 삼각형 구조로 변함에 따라, fin 단면의 전위 분포의 차이로 문턱 전압이 늘어나고, off-current가 72.23% 감소하고 gate 커패시턴스는 16.01% 감소하였다. 소스/드레인 epitaxy(epi) 구조 변화에 따른 성능을 분석하기 위해, epi를 fin 위에 성장시킨 경우(grown-on-fin)와 fin을 etch 시키고 성장시킨 경우(etched-fin)의 소자 성능을 비교했다. Fin과 소스/드레인 구조의 변화가 회로에 미치는 영향을 살펴보기 위해 Sentaurus의 mixed-mode 시뮬레이션 기능을 사용하여 3단 ring oscillator를 구현하여 시뮬레이션 하였고, energy-delay product를 계산하여 비교하였다. 삼각형 fin에 etched 소스/드레인 epi 구조의 소자가 가장 작은 ring oscillator delay와 energy-delay product을 보였다.

Measurement of Nonlinear Time-variant Source Characteristics of Intake and Exhaust Systems in Fluid Machines

  • Jang Seung-Ho;Ih Jeong-Guon
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • 제24권3E호
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    • pp.87-89
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    • 2005
  • The acoustical sources of intake and exhaust systems in fluid machines are often characterized by the source impedance and strength using linear frequency-domain modeling. In the case of the sources which are nonlinear and time-variant, however, the source parameters were sometimes incorrectly obtained. In this paper, the source model and direct measurement technique are modified in order to evaluate the effect due to nonlinear and periodically time-varying source character as well as the linear property of the reflectivity of in-duct fluid machine source. With a priori known kinematical information of the source, the types of nonlinear time-variant terms can be presumed by a simple physical model, in which there is practically no restriction on the form of the model. The concept of source impedance can be extendable by introducing the linear frequency response function for each nonlinear or time-variant input. Extending the conventional method and adapting the reverse MISO technique, it is possible to develop a direct method that can deal with the nonlinear time-variant source parameters. The proposed direct method has a novel feature that there is no restriction on the probability or spectral natures of the excited sound pressure data. The present method is verified by the simulated measurements for simplified fluid machines. It is thought that the proposed method would be useful in predicting the insertion loss or the radiated sound level from intake or exhaust systems.

멀티코어 환경에서 효율적인 엔트로피 원의 설계 기법 (An Approach to Constructing an Efficient Entropy Source on Multicore Processor)

  • 김성겸;이승준;강형철;홍득조;성재철;홍석희
    • 정보보호학회논문지
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    • 제28권1호
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    • pp.61-71
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    • 2018
  • 다양한 장비의 인터넷 연결을 지향하고 있는 사물인터넷시대에서 암호기술의 사용을 위해 암호학적으로 안전한 난수생성은 중요 요구사항이다. 특히, 생성된 난수의 안전성과 연관된 엔트로피 원은 예측하기 어려운 잡음원을 위해 부가적인 하드웨어 로직을 사용하기도 한다. 비록 성능 측면에서 좋은 결과를 나타낼 수 있으나, 부가적인 리소스의 사용에 기인한 추가적인 전력 소비 및 면적문제 때문에 기존 자원을 최대한 활용하는 엔트로피 수집방법이 요구된다. 본 논문에서 제시하는 엔트로피 원은 멀티쓰레드 프로그램을 지원하는 환경에서 부가적인 장치 없이 공통적으로 사용 가능하므로 암호기술 구현에 있어 경량화의 어려움을 완화시킬 수 있다. 또한, 제안하는 엔트로피 원이 NIST SP 800-90B에서 제시한 난수발생기를 위한 엔트로피 입력원 테스트에서 높은 보안강도를 갖는 것으로 평가 되었다.

토지피복도 자료원에 따른 대청댐유역 수질특성 비교 (The Comparison of Water Quality of Daecheong-Dam basin According to the Data Sources of Land Cover Map)

  • 이근상;박진혁;최연웅
    • Spatial Information Research
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    • 제20권5호
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    • pp.25-35
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    • 2012
  • 본 연구에서는 공간정보 자료원에 따른 수질특성의 영향을 비교하였다. 먼저, 비점오염부하량 평가에 영향을 미치는 토지피복별 기대평균농도(EMC)를 효과적으로 계산하기 위해, 영상분류를 통해 대청댐유역의 토지피복도를 구축하였으며, 이를 환경부 대분류 자료와 비교한 결과 88.76%의 높은 정확도를 확보하였다. 또한 토양도와 영상분류에 의한 토지피복도를 공간 중첩하여 유출곡선지수와 직접유출을 계산하였으며, 분석 결과 석천과 대청댐 유역이 가장 높게 나타났다. 그리고 직접유출과 기대평균농도를 조합하여 계산한 BOD에 대한 비점오염부하량은 삼가천합류점과 소옥천하류 유역이 높게 나타났으며, TN과 TP에 대한 비점오염부하량에서는 삼가천합류점과 봉황천하류 유역이 높게 나타났다. 영상분류에 의한 비점오염부하량의 효용성 평가를 위해 환경부 토지피복도에 의한 비점오염부하량과 상호 비교한 결과, 대청댐상류 유역에서 BOD, TN, TP에 대한 오염부하량의 오차가 각각 10.64%, 11.70%, 20.00%로 가장 크게 나타났다. 따라서 유역내 수질특성을 효과적으로 모의하기 위해서는 논과 밭이 포함된 공간정보를 활용하는 것이 비점오염부하량 평가에 바람직하다고 본다.

ML-Based Angle-of-arrival Estimation of a Parametric Source

  • Lee, Yong-Up;Kim, Jong-Dae;Park, Joong-Hoo
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • 제20권3E호
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    • pp.25-30
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    • 2001
  • In angle of arrival estimation, the direction of a signal is usually assumed to be a point. If the direction of a signal is distributed due to some reasons in real surroundings, however, angle of arrival estimation techniques based on the point source assumption may result in poor performance. In this paper, we consider angle of arrival estimation when the signal sources are distributed. A parametric source model is proposed, and the estimation techniques based on the well-known maximum likelihood technique is considered under the model. In addition, Various statistical properties of the estimation errors were obtained.

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Topological Locating of Power Quality Event Source

  • Won Dong-Jun;Moon Seung-Il
    • Journal of Electrical Engineering and Technology
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    • 제1권2호
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    • pp.170-176
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    • 2006
  • This paper proposes a topological locating algorithm to determine the location of the power quality event source. This algorithm makes use of the information on the topology of the monitored network and on the direction of PQ events. As a result, the bus incidence matrix is modified using monitor location and the direction matrix is constructed. With this information, the algorithm determines the suspected locations of the PQ events. To reduce suspicious areas, it utilizes event cause and related equipment. In case of line fault event, it calculates the distance from the monitor to the location of event source. The overall algorithm is applied to the IEEE test feeder and accurately identifies the event source location.