Silicon Selective Epitaxial Growth를 이용한 Elevated Source/Drain의 높이가 MOSFET의 전류-전압 특성에 미치는 영향 연구 (A Study of I-V characteristics for elevated source/drain structure MOSFET use of silicon selective epitaxial growth)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1357-1359
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- 2001