• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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• pp.192-192
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• 1999

SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)는 다른 표면 분석장비와 비교하여^g , pp m,^g , pp b 단위의 미량분석이 가능한 장비로서, 특히 depth Profiling을 위한 dynamic SIMS는 Mass Spectrometer의 종류에 따라 Quadrupole SIMS (Q-SIMS)와, Magnetic Sector SIMS (M-SIMS)로 분류된다. 한편, Q-SIMS와 달리 M-SIMS의 경우, Transmission을 높여 주기 위해 Sample Holder에 수 keV의 bias를 걸어 주는데, 이로 인하여 분석 원소에 대한 Sensitivity가 향상되어 지는 반면, RSF의 변화와 같은 분석상의 Artifact가 발생하게 된다. 일반적으로 Q-SIMS의 경우에는 RSF의 RSD(Relative Standard Deviation)가 1%이내에서 보고되고 있지만 M-SIMS에 있어서는 이러한 Deviation이 M-SIMS보다 크게 나타난다. 이 차이는 주로 Sample Holder와 Immersion Lens 사이에 형성되는 Magnetic Field의 왜곡과 Spectrometer의 문제로부터 발생한다. 본 논문에서는 Sample Holder의 종류 및 holder so window 위치에 따라 RSF의 차이를 측정하고 그 data를 RS/1 통계 Package를 이용하여 계량적으로 검증하였으며, 그 차이의 원인과 대책을 제시하고자 한다. 실험에 사용된 Sample은 Si(100) p-type Wafer에 Boron을 이온 주입하여 제작하였다. 이온 주입 장비는 Varian E-500HP이며, 5.0E13 ions/cm2의 dose양을 80keV의 Energy로 각각 7도와 22도의 Tilt와 Twist Angle로 이온 주입을 하였다. SIMS분석에 사용된 Sample Holder는 각각 3 Hole, 9 Hole Type HOlder이며, 분석은 Cameca IMS-6f를 사용하여 B에 대한 Matrix Peak으로 28Si++를 얻었다. 실험 결과 3 Hole Type Sample Holder의 경우 RSF의 RSD는 5.84%, 9Hle Type Sample Holder의 경우는 14.3%로 나타났으나 분석 Window의 위치에 따르는 Grouping을 실시한 결과, 3 Hole Type Sample Holder의 경우 1.2%, 9Hole Type Sample Holder의 경우 9.8%로 RSF의 변화가 감소하였다. 이러한 Deviation은 Sample Holder를 Mount시킬 때 세 개의 Screw를 이용하여 Immersion Lens와의 평형을 잡아주기 때문에 발생하며, 이 Munting을 정확히 해줌으로써 RSF의 변화를 줄일 수 있으나, 실제로 완벽한 Mounting이 불가능하기 때문에 RSF를 일정하게 하기 위해서는 Sample Holder so Window의 취치를 일정하게 설정한 후 분석을 실시해야 한다고 판단된다.

• 한국진공학회지
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• 제12권3호
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• pp.168-173
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• 2003

유리 기판 위에 증착된 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화에 대한 새로운 방법을 제시하였다. 비정질 실리콘 박막의 하부에 패턴 된 다양한 크기의 $TiSi_2$ 박막을 전기저항 가열 방식으로 가열함으로서 비정질 실리콘이 고상 결정화 되도록 하였다. 박막히터를 이용한 열처리는 매우 빠른 열처리 공정으로써, 일반적인 로에 의한 열처리에 비해 매우 낮은 thermal budget을 가지므로, 유리기판 위에서도 고온 열처리가 가능하다는 장점을 가진다. 본 연구에서는 500 $\AA$의 비정질 실리콘 박막을 약 $850^{\circ}C$ 이상의 높은 온도에서 수 초 내에 결정화 할 수 있음을 보였으며, 열처리 조건의 변화에 따른 영향과 지역선택성의 장점을 보였다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.91-91
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• 2018

스마트폰 및 카메라 케이스 등에 널리 적용되고 있는 알루미늄은 내식성, 내마모성과 같은 물리적, 화학적 성질이 우수하지 못하여 이를 향상시키기 위해 양극산화법이 산업적으로 널리 이용되고 있다. 알루미늄에 양극산화법을 적용하면 강도, 내마모성 및 내식성이 향상될 뿐만 아니라 알루미늄 표면에 규칙적으로 배열된 30nm~100nm 크기의 pore에 염료를 흡착시켜 다양한 색상의 외관을 가지는 양극산화피막을 형성시킬 수 있다. Pore간의 간격은 수십 nm~수백 nm 정도이며, pore의 크기와 간격 및 깊이는 양극산화조건(양극산화 전압, 전해액의 종류와 농도 및 온도)에 의해 크게 변화한다. 본 연구에서는 CTSA를 통한 AA5052합금의 양극산화 착색처리와 내식성의 개선 여부를 조사하였다. 알루미늄은 Al5052에는 Mg 외에, 소량의 Si을 포함하고 있다. 이 Si는 알루미늄 표면에 석출물 형태로 존재한다. 이 Si 석출물은 양극산화 시 기지상의 알루미늄 표면의 pore 형성을 방해하는 원인이다. 이러한 Si 석출물의 존재가 균일한 pore 형성을 방해하게 되고, 불균일한 포어를 가지는 표면은 착색처리 시 색상의 편차를 크게하는 원인이 되어 불량률을 높인다. 이러한 요인을 개선하기 위해 CTSA의 처리조건을 최적화 하였다. Al5052 합금을 이용하여 에칭, 디스머트, CTSA처리를 실시하였다. $55^{\circ}C$ 100g/L NaOH 용액에서 에칭을, $25^{\circ}C$ 10 vol.% $HNO_3$ 용액에서 디스머트를 실시한 다음, CTSA의 조건을 다르게 하고 SEM을 통해 Si 석출물의 감소율을 비교하였다. CTSA조건으로는 시간(60s, 180s, 300s), 농도(10%, 20%, 30%, 40%) 및 온도($25^{\circ}C$, $40^{\circ}C$, $50^{\circ}C$, $60^{\circ}C$)를 변화시켰으며, CTSA 처리 전과 후의 시편의 위치를 동일하게 하여 비교하였다. 결과 적정 시간, 농도, 온도 조건하에 pore를 불균일하게 하는 Si 석출물들이 제거되는 것을 확인할 수 있었다. CTSA 처리는 온도가 높을수록, 시간이 길수록, 농도가 적당히 진할수록 석출물이 잘 제거되는 것을 확인하였다. 또한 CTSA처리가 알루미늄의 내식성에 미치는 영향을 확인하기 위해서 침적시험에 의한 무게감소율 및 전기화학측정을 실시하였다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2009년도 추계학술발표대회
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• pp.37.2-37.2
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• 2009

태양전지 산업의 급속한 발전에 따라 고순도 실리콘을 경제적으로 제조하려는 노력이 경주되고 있다. 이중금속 실리콘(MG)의 정제에 의한 태양전지 실리콘(SoG) 제조에관한 연구가 더욱 더 주목받고 있다. 본 연구에서는 고순도 금속 실리콘 정제 연구의 일환으로 금속 실리콘에 대한 플라즈마 용해시 불순물 정제 가능성에 대한 기초연구를 수행하였다. 먼저 4N 급 Ar 금속 실리콘을 출발물질로 하여 반복 용해횟수(용해시간)를 달리하여 200g 급 Si button을 제조하였다. 이후 화학적 분석법으로 B, P 및 미량 금속 불순물 평가를 실시하였으며, 이로부터 Ar 플라즈마의 정제 효과를 분석하고자 하였다.

• 대한수학회보
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• 제47권6호
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• pp.1131-1138
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• 2010

In the present paper, we evaluate an analytic formula as a solution of Susceptible Infective (SI) model problem for communicable disease in which the daily contact rate (C(N)) is supposed to be varied linearly with population size N(t) that is large so that it is considered as a continuous variable of time t. Again, we introduce some Lie group of operators to make an extension of above analytic formula of the determin-istic epidemics model problem. Finally, we discuss some of its particular cases.

• 전자공학회논문지D
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• 제34D권7호
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• pp.30-36
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• 1997

Bump bonded piezoesistive silicon accelerometer was fabricated by the porous silicon micromachining and th eprocess technique of integrated circuit. The output voltage of the accelerometer fabricated on (111)-oreiented Si substrates with n/n$^{+}$n triple layers showed good linear characteristic of less than 1%. The measured sensitivity and the resonant frequency was about 743 .mu.V/g and 2.04 kHz, respectively. And the transverse sensitivity of 5.2% was measured from the accelerometer. Also, to investigate an influence on the output characteristics of the sensor due to bump bonding, the values of the piezoresistors were measured through thermal-cycling test in the temperature variation form -50 to 120.deg. C. Then, there was 0.014% resistance changes about 3.61 k.ohm., so sthe output charcteristics of the sensor was less affected by bump bonding.g.

• 한국광물학회지
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• 제19권4호
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• pp.347-353
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• 2006

자연계에 존재하는 다양한 지구물질의 조성은 여러 성분들로 구성된 다성분계이므로 자연계의 현상을 이해하기 위해서는 이러한 다성분계 지구물질의 구조를 규명하는 것이 필수적이다. 이러한 중요성에도 불구하고 다성분계 비정질의 자세한 원자-나노 구조는 비정질 자체가 갖고 있는 여러 가지고유의 무질서도 등으로 인하여 최근까지도 정확히 알려지지 않았다. 본 연구에서는 일차원 O-17 MAS와 이차원 3QMAS NMR을 이용하여, 다성분계 비정질인 Ca-Na 알루미노규산염 $[(CaO)_x(Na_2O)_{1-x}]\;(A1_2O_3)_{0.5}(SiO_2)_6.\;CNAS)$의 자세한 원자단위의 조성에 따른 변화를 보고한다. 비정질 CNAS의 비연결 산소 (non-bridging oxygen, NBO) 중 Ca-NBO는 Na/Ca 비율이 증가함에 따라서 (Ca, Na)-NBO를 형성한다. 이는 비정질 CNAS 내에서 비연결산소와 Ca와 Na 간에 강한 상호작용이 있음을 지시한다. 연결산소인 경우(bridging oxygen, BO, Si-O-Si나 Si-O-Al)의 경우에도 Na/Ca 비율에 따라, 감소의 폭이 비연결 산소보다는 상대적으로 작지만 화학차폐(NMR chemical shift)가 선형적으로 감소한다. 비정질 규산염의 연결산소의 결합각과 결합길이의 분포에 의해 결정되는 위상무질서도(topological disorder)는 Ca 함량이 증가할수록 비선형적으로 증가한다. 이러한 결과들은 비정질 CNAS의 구조가 기존에 알려진 데로 비연결산소만이 Na와 Ca 같은 구조교란양이온(network modifying cation)에 의해 많은 영향을 받는 것이 아니라 연결산소도 이들 양이온에 의하여 영향을 받음을 지시한다 이에 따라 다양한 양이온세기가 비정질의 무질서도에 미치는 영향을 정리하였다.

• 대한화학회지
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• 제53권5호
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• pp.512-520
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• 2009

본 연구에서는 반응성이 큰 황이 산소와 결합하여 산화황이 되고 이것들이 클러스터를 이루었 을 때의 구조와 결합에너지에 대하여 조사하였다. $S_{n}O_{n},\;S_{n}O_{2n},\;S_{n}O_{3n}\;(n\;=\;1{\sim}4)$까지의 여러 가능한 분자 구조를 B3LYP/6-311G** 이론수준까지 최적화 하였으며, 단량체($SO,\;SO_2,\;SO_3$)가 증가할 때의 결합에너지를 MP2/6-311G** 수준까지 계산하였다. $SnOn\;(n\;=\;1{\sim}4)$의 경우 S-O 단량체 증가에 따라 상대적으로 안정화되는 경향이 강하게 나타났으며, 약 20-25 kcal/mol 정도 증가하는 것으로 예측 되었다. 반면 $S_nO_{2n},\;S_nO_{3n} \;(n\;=\;1{\sim}4)$의 경우에는 $SO_2$ 나 $SO_3$ 의 증가에 따른 열역학적 안정성이 상대적으로 덜 안정화 되는 것으로 나타났으며, SO2 단량체가 증가함에 따른 결합에너지 변화는 2.2 kcal/mol, 그리고 $SO_3$ 단량체가 증가함에 따라 흡열반응으로 나타나 열역학적으로 더욱 불안정해질 것으로 예상된다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.384.1-384.1
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• 2016

We reported that amorphous silicon (a-Si) thin film provide sample plate exhibiting a multimodality to measure biomolecules by secondary ion mass spectrometry (SIMS) and laser desorption/ionization mass spectrometry (LDI-MS). Kim et al.1 reported that a-Si thin film were suitable to detect small molecules such as drugs and peptides by SIMS and LDI-MS. Recently, bacterial identification has been required in many fields such as food analysis, veterinary science, ecology, agriculture, and so on.2 Mass spectrometry is emerging for identifying and profiling microbiology samples from its advantageous characters of label-free and shot-time analysis. Five species of bacteria - S. aureus, G. glutamicum, B. kurstaki, B. sphaericus, and B. licheniformis - were sampled for MS analysis without lipid extraction in sample preparation steps. The samples were loaded onto the a-Si thin film with a thickness of 100 nm which did not only considered laser-beam penetration but also surface homogeneity. Mass spectra were recorded in both positive and negative ionization modes for more analytical information. High reproducibility and sensitivity of mass spectra were demonstrated in a mass range up to mass-to-charge ratio(m/z) 1200 by applying the a-Si thin film in mentioned above MS. Principle component analysis (PCA) - a popular statistical analysis widely used in data processing was employed to differentiate between five bacterial species. The PCA results verified that each bacterial species were readily distinguished and differentiated effectively from our MS approach. It shows a new opportunity to rapid bacterial profiling and identification in clinical microbiology. More details will be discussed in the presentation.

• 한국지반공학회논문집
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• 제22권10호
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• pp.33-45
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• 2006

C.S.G(Cemented Sand and Gravel) 재료는 댐 수몰지로부터 쉽게 얻을 수 있는 굴착토와 하상자갈에 소량의 시멘트와 물을 혼합한 재료를 총칭하는 것으로 최근 댐, 도로, 호안등의 건설재료로 그 활용성이 점차 증가하고 있다. 통상적으로 C.S.G 재료의 강도특성은 입도분포, 단위시멘트량, 재령, 그리고 함수비 등과 같은 여러 가지 요소에 의하여 영향을 받는 것으로 보고되고 있다. 본 연구에서는 화북댐 유역의 하상자갈을 3가지 종류의 입도분포로 재구성하여 재령, 단위시멘트량 그리고 함수비의 혼합 비율에 따른 일축압축강도의 변화를 연구하였다. 실험결과 C.S.G 재료의 일축압축강도는 상기 영향 인자들에 의하여 다양하게 영향을 받았으며, 특히 입도분포와 단위수량은 C.S.G 재료의 강도를 결정하는데 매우 중요한 인자임을 알 수 있었다. 또한 이러한 실험적 결과를 토대로 각 영향인자를 고려한 강도 예측식을 제안함으로써 설계 및 시공에 필요한 기초적인 자료를 제공하고자 한다.