박막재료 및 반도체의 면저항 측정에는 주로 Four Point Probe(FPP) 원리를 이용한 측정기를 사용하고 있다. FPP에 의한 측정방식은 single 및 dual configuration method가 있으며, dual configuration은 single configuration에 비해 probe spacing 변화나 시료의 가장자리 효과 등에서 측정편차가 적은 장점이 있어서 dual configuration 기술을 사용하는 추세이다. 개발된 휴대용 면저항 측정기는 dual configuration원리를 적용하여 제작되었으며, 박막재료의 면저항을 누구나 쉽고 정확하게 측정할 수 있도록 설계되었다. 또한 시료의 크기가 핀 간격에 비해 5배 이상 크면 보정계수를 거의 무시할 수 있는 장점이 있어 작은 시료라도 정확한 면저항을 측정할 수 있다. 이측정기의 측정 불확도는 지시값의 1 % 이하이고, 측정범위는 (2$\sim$2000)$\Omega/sq$이다.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2003.07a
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pp.267-269
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2003
반도체 웨이퍼 및 각종 박막의 면/비저항(sheet/resistivity resistance)의 측정에 비교적 간단히 측정할 수 있고 측정정확도가 높은 4탐침(four-point probe)방법이 널리 사용되고 있다 또한 4탐침 측정방법은 높은 분해능의 contour map작성과 ion implantation의 doping accuracy 및 doping uniformity의 측정에도 사용된다. 최근 재료의 소형, 박막화 경향으로 볼 때 정확한 비저항 측정의 필요성이 요구되고 있으며 이에 따라 4탐침 측정기술인 single 및 dual configuration method로 실리콘 웨이퍼에 대한 비저항의 측정 정확도를 고찰한 결과 dual configuration 측정방법이 single configuration측정 방법에 비하여 정밀 정확도가 더 좋은 것으로 고찰되었다.
The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers P
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v.59
no.4
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pp.423-427
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2010
Portable sheet resistance-measuring instrument using the dual-configuration Four-Point Probe method is developed for the purpose of precisely measuring the sheet resistance of conducting thin films. While single-configuration Four-Point Probe method has disadvantages of applying sample size, shape and thickness corrections for a probe spacing, the developed instrument has advantages of no such corrections, little edge effects and measuring simply and accurately the sheet resistance between $0.2\Omega/sq$ and $2k\Omega/sq$.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2009.06a
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pp.233-234
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2009
박막 재료의 면저항 측정은 일반적으로 FPP(Four-Point Probe)원리를 적용한 측정기률 사용하고 있다. 개발된 면저항 측정기의 특징은 dual configuration 기술을 적용하여 탐침 간격에 대한 시료의 크기 및 두께에 대한 보정계수를 고려하지 않아도 되므로 누구나 업고 정확하게 사용 할 수 있다. 측정범위는 $1\;m{\Omega}{/\square}\;{\sim}\;1\;G{\Omega}{/\square}$이며, 반복성과 재현성 및 직선성은 0.1 %이하로서 우수한 특성을 나타냈다. 또한 기존의 면저항 측정기에 적용된 single configuration 기술에서 나타나는 가장자리 효과의 단점을 dual configuration 기술을 적용하여 해결하였고 정밀 정확도를 향상시켰다. 개발된 면저항 측정기의 특성평가는 국가측정표준으로부터 소급성이 유지된 표준저항, 분할저항기, 면저항 인증표준물질 등을 사용하였다.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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v.28
no.9
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pp.1110-1116
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2004
Experimental measurements of laser-induced ion mobility(LIIM) were performed for ethene/air premixed flames operated near the soot inception point. Soot was ionized using a pulsed laser operated at 532 nm. The ionization signal was collected with a tungsten electrode located in the post-flame region. ionization signals were collected using both a single electrode and dual electrode configuration. Prior LIIM studies have focused on the use of a single biased electrode to generate the electric field, with the burner head serving as the path to ground. In many practical combustion systems, a path to ground is not readily available. To apply the LIIM diagnostic to these geometries, a dual electrode geometry must be employed. The influence of electrode configuration, flame equivalence ratio, and flame height on ionization signal detection was determined. The efficacy of the LIIM diagnostic to detect soot inception in the post-flame region of a premixed flame using a dual electrode configuration was investigated. For the different dual electrode configurations tested, the dual parallel electrode geometry was observed to be most sensitive to detect the soot inception point in a premixed flame.
A handheld sheet resistance meter that can easily and quickly measure the sheet resistance of indium tin oxide films was developed. The dual-configuration four-point probe method was adopted for this instrument, which measured sheet resistance in the range from $0.26{\Omega}/sq$. to $2.6k{\Omega}/sq$. with 0.3 % ~ 0.5 % uncertainty. The screen of the instrument displayed the sheet resistance when the probe was in contact with the sample surface and the value continued to be displayed during the probe contact. Even after separating the probe from the surface, the value was still displayed on the screen and could be read easily. A feature of the instrument was the use of the dual-configuration technique to reduce edge effects markedly compared with the single-configuration technique and its ease of operation without applying correction factors for sample size and thickness.
A new dual loop controller using color LCD bar graphs with LED back lights has been developed. An optional memory card is used to load or save the controller configuration, which may be a preprogrammed standard package or a user-programmed configuration, in addition to the built-in functions ready for user selection. The bar-graph display is selectable for single-loop or dual-loop use. A high grade of self-tuning functions using a modeling technique is built-in as standard. The controller can accommodate optional plug-in modules for thermocouples, communication, etc. All the options are fully field upgradable.
We propose a dual in-plane parallel electrode structure of a vertical configuration of a helix-deformed ferroelectric liquid crystal (HDFLC) mode for better brightness than a single in-plain electrode case. This structure provides high brightness in addition to the analog gray scale capability, fast response, and wide-viewing characteristics. In contrast to a conventional HDFLC in a planar geometry, smectic layers arrange themselves parallel to the substrates and thus extremely uniform alignment of molecules in a large area is naturally achieved in our new configuration.
Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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2005.05b
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pp.19-28
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2005
Passive microwave remote sensing technique have shown great potential for mon monitoring regional/global surface soil moisture. Given a single measurement at dual polarization/single frequency/single view angle, a strategic approach to artificially generating multiple microwave brightness temperatures is presented. And then the statistically generated microwave brightness temperature data are applied to the inverse algorithm, which mainly relies on a physically based microwave emission model and an advanced single-criterion multi-parameter optimization technique, to simultaneously retrieve soil moisture and vegetation characteristics. . The procedure is tested with dual polarized Tropical Rainfall Measurement Mission Microwave Imager (TRMM/TMI) over two different cover sites in Oklahoma and Beltsville field experimental data. The retrieval results are analyzed and show excellent performance.
There have been various approaches for efficiency improvement of a Darrieus tidal stream turbine after it was introduced as an alternative of horizontal axis turbines. Among the approaches, the researches on the interaction effect of dual configuration were conducted. In this study, a dual Darrieus turbine with a coupling mechanism was proposed for investigating the interaction effect. Also, the effect of bi-directional tidal stream was analyzed with prototype fabrication, apparatus set-up and experiment conduction in indoor and offshore facilities. As the results of the experiments, the dual turbine in case of counter-rotation and inflow between the turbines improved efficiencies by 9.5% and 11.31%, respectively, as compared to the single turbine. Also, the dual turbine in case of the inflow improved efficiencies by 9.4% and 16.62%, respectively, as compared to that in case of outflow between the turbines which represented the case of 180 degrees change of flow direction after slack water. Therefore, the proposed dual turbine showed the advantage in terms of the efficiency as compared to the single turbine and the effect level of the slack water on the performance of the dual turbine was investigated.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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