Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2007.07a
- /
- Pages.929-930
- /
- 2007
A Development of Hand Held Type Sheet Resistance Meter by Dual Configuration Method
Dual Configuration Method에 의한 휴대용 면저항 측정기 개발
- Kang, Jeon-Hong (KRISS) ;
-
Yu, Kwang-Min
(KRISS)
;
-
Kim, Han-Jun
(KRISS)
;
-
Han, Sang-Ok
(Chungnam National University)
;
- Park, Kang-Sic (Daeduk College) ;
-
Koo, Kyung-Wan
(Hoseo University)
;
- Lee, Se-Hyun (Korea Polytechnic Colleges)
- 강전홍 (한국표준과학연구원) ;
-
유광민
(한국표준과학연구원)
;
-
김한준
(한국표준과학연구원)
;
-
한상옥
(충남대학교)
;
- 박강식 (대덕대학교) ;
-
구경완
(호서대학교)
;
- 이세현 (한국폴리텍대학교)
- Published : 2007.07.18
Abstract
박막재료 및 반도체의 면저항 측정에는 주로 Four Point Probe(FPP) 원리를 이용한 측정기를 사용하고 있다. FPP에 의한 측정방식은 single 및 dual configuration method가 있으며, dual configuration은 single configuration에 비해 probe spacing 변화나 시료의 가장자리 효과 등에서 측정편차가 적은 장점이 있어서 dual configuration 기술을 사용하는 추세이다. 개발된 휴대용 면저항 측정기는 dual configuration원리를 적용하여 제작되었으며, 박막재료의 면저항을 누구나 쉽고 정확하게 측정할 수 있도록 설계되었다. 또한 시료의 크기가 핀 간격에 비해 5배 이상 크면 보정계수를 거의 무시할 수 있는 장점이 있어 작은 시료라도 정확한 면저항을 측정할 수 있다. 이측정기의 측정 불확도는 지시값의 1 % 이하이고, 측정범위는 (2
Keywords