The surface kinetic properties between $BCl_3/Cl_2$ /Ar plasma and $Al_2O_3$ thin film
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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- pp.169-169
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- 2008