전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$ 기판쌍의 직접접합
(Direct bonding of $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$ wafers using a furnace)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.151-151
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- 2001