Al-doped ZnO (AZO) thin films were synthesized on Si(100) wafers via plasma enhanced metal organic chemical vapor deposition (PE-MOCVD) method using diethyl zinc (DEZ) and N-methylpyrrolidine alane (MPA) as precursors. Effects of Al/Zn mixing ratio, plasma power on the surface morphology, crystal structure, and electrical property were investigated with SEM, XRD and 4-point probe measurement respectively. Growth rate of the film decreased slightly with increasing the Al/Zn mixing ratio, however electrical property was enhanced and resistivity of the film decreased greatly about 2 orders from $9.5{\times}10^{-1}$ to $8.0{\times}10^{-3}{\Omega}cm$ when the Al/Zn mixing ratio varied from 0 to 9 mol%. XRD analysis showed that the grain size increased with increasing the Al/Zn mixing ratio. Growth rate and electrical property were enhanced in a mild plasma condition. Resistivity of AZO film decreased down to $7.0{\times}10^{-4}{\Omega}cm$ at an indirect plasma of 100 W condition which was enough value to use for the transparent conducting oxide (TCO) material.
Sung-Ho Joo;Dong Ju Shin;Dongseok Lee;Shun Myung Shin
Resources Recycling
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v.32
no.1
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pp.42-49
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2023
The glass ceramic secondary resource containing Li-Al-Si is used in inductor, fireproof glass, and transparent cookware and accounts for 14% of the total consumption of Li, which is the second most widely used after Li-ion batteries. Therefore, new Li resources should be explored when the demand for Li is exploding, and extensive research on Li recovery is needed. Herein, we recovered Li from fireproof Li-Al-Si glass ceramic, which is a new secondary resource containing Li. The fireproof glass among all Li-Al-Si glass ceramics was used as raw material that contained 1.5% Li, 9.4% Al, and 28.9% Si. The process for recovering Li from the fireproof glass was divided into two parts: (1) calcium salt roasting and (2) water leaching. In calcium salt roasting, a sample of fireproof glass was crushed and ground below 325 mesh. The leaching efficiency was compared based on the presence or absence of heat treatment of the fireproof glass. Moreover, the leaching rates based on the input ratios of calcium salt, Li-Al-Si glass, and ceramics and the leaching process based on calcium salt roasting temperatures were compared. In water leaching, the leaching and recovery rates of Li based on different temperatures, times, solid-liquid ratios, and number of continuous leaching stages were compared. The results revealed that fireproof glass ceramics containing Li-Al-Si should be heat treated to change phase to beta-type spodumene. CaCO3 salt should be added at a ratio of 6:1 with glass ceramics containing Li-Al-Si, and then leached 4 times or more to achieve a recovery efficiency of Li over 98% from a solution containing 200 mg/L of Li.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2012.08a
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pp.307-307
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2012
In this study, we investigated that the resistance switching characteristics of Al-doped MgOx films with increasing Al doping concentration and increasing film thickness. The Al-doped MgOx based ReRAM devices with a TiN/Al-doped MgOx/Pt/Ti/SiO2 were fabricated on Si substrates. The 5 nm, 10 nm, and 15 nm thick Al-doped MgOx films were deposited by reactive dc magnetron co-sputtering at $300^{\circ}C$ and oxygen partial ratio of 60% (Ar: 16 sccm, O2: 24 sccm). Micro-structure of Al-doped MgOx films and atomic concentration were investigated by XRD and XPS, respectively. The Al-doped MgOx films showed set/reset resistance switching behavior at various Al doping concentrations. The process voltage of forming/set is decreased and whereas the initial current level is increased with decreasing thickness of Al-doped MgOx films. Besides, the initial current of Al-doped MgOx films is increased with increasing Al doping concentration in MgOx films. The change of resistance switching behavior depending on doping concentration was discussed in terms of concentration of non-lattice oxygen of Al-doped MgOx.
SAW properties of SiNx/ZnO bilayer thin film structure were analyzed. ZnO thin films were deposited by rf magnetron sputter using O2 gas as an oxidizer. Structure of ZnO thin films was affected by Ar/O2 ratio. At the gas ratio of Ar/O2=67/33, the standard deviation of X-ray rocking curve of (002) preferred ZnO thin film was 2.17 degree. This value is sufficient to use ZnO thin films as an acoustic element. SAW velocity of glass/SiNx(7000Å)/Al/ZnO(5μm) structure was max. 2.2% faster than that of ZnO/glass.
An acetaldehyde, a representative food waste odor, was decomposed using a hybrid system comprised of a non-thermal plasma and catalyst at an ambient temperature under high humidity. A five wt.% Mn was impregnated on two differently structured microporous zeolites, namely Beta and ZSM-5, with a different molar ratio of SiO2/Al2O3. Under high humidity conditions, the acetaldehyde degradation was higher in zeolites with the high ratio of SiO2/Al2O3. Among studied catalysts, a five wt.% Mn/Beta (SiO2/Al2O3 = 300) showed the highest acetaldehyde removal activity owing to its high hydrophobicity and reducibility. During long term stability test using the same catalyst for 110 hours, the acetaldehyde removal activity was relatively well-maintained.
Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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v.20
no.6
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pp.785-792
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2011
Equal channel angular(ECA) pressing is the established processing technique in which a polycrystalline metal is pressed through the die to achieve a very high plastic strain. Therefore, the capability to produce an ultra-fine grain size in the materials is provided. To investigate that mechanical properties at elevated temperature have the ultrafine grain ECA pressing, experiments were conducted on an Al-4.8% Mg-0.07% Mn-O.06% Si alloy. After having been solution treated at 773K for 2hrs, the billet for ECA pressing was inserted into the die. And it was pressed through two channel of equal to cross section intersecting at a 90 degree angle. The billet can be extrude repeatedly because of 1:1 extrusion ratio. Since the billet is passed through the cannel for 2 times, a large strain is accumulated in the alloy. The tensile tests on elevated temperature were carried out with initial strain rate of $10^{-3}s^{-1}$ at eight temperature distributed from 293K to 673K.
ZSM-5 membrane was prepared on tubular macroporous ${\alpha}$-alumina support using a different synthesis route. The effects of organic template agent and Si/Al ratio of the synthesis gel on morphology, structure, and separation performance of the ZSM-5 membrane used for dehydration of isopropanol were investigated. High water perm-selectivity ZSM-5 membrane with a thickness of about $3.0{\mu}m$ and a low Si/Al ratio of 10.1 was successfully prepared from organotemplate-free synthesis gel with a molar composition of $SiO_2$ : $0.050Al_2O_3$ : $0.21Na_2O$ : NaF : $51.6H_2O$ at $175^{\circ}C$ for 24 h. The ZSM-5 membrane exhibited high pervaporation performance with a flux of $3.92kg/(m^2{\cdot}h)$ and corresponding separation factor of higher than 10,000 for dehydration of 90 wt.% isopropanol/water mixture at $75^{\circ}C$.
Park, Jin-Young;Choi, Suk-Hwan;Yun, Phil-Hwan;Kim, Eok-Soo
Journal of Korea Foundry Society
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v.30
no.3
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pp.115-120
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2010
Recently, an advanced raw material supplying system in diecasting industry that molten metal produced by the raw material supplier can be directly delivered to the diecasting shops was proposed. It was known to have advantages of reducing melting process cost and improving working environment. However, for its successful mass production, the development of high insulation ladle is inevitable. In this study, the optimal mixing ratio of $SiO_2-Al_2O_3$ was investigated and the high insulation ladle with computer simulation result was built in a prototype and evaluated. The prototype which has refractory wall of $SiO_233%-Al_2O_3$ 35%-CaO 33% showed high insulation sufficient for carrying the Al molten metal for 138 minutes. Gas quantity result and SEM-EDS analysis on the melt poured in the ladle also showed extremely low level of 0.028 cc / 100 g and no penetration of Al molten metal into the refractory wall, satisfying the requirements for mass production.
Al-MCM-48 molecular sieves (Si/Al = 25, 50, 75 and 100) were synthesized hydrothermally using cetyltrimethyl ammonium bromide as the structure directing template. The orderly arrangement of mesopores was evident from the low angle X-ray diffraction patterns and TEM images. The catalytic performance was evaluated in the vapour phase isopropylation of phenol with isopropyl acetate. Phenol conversion decreased with increase in the Si/Al ratio of the catalysts. The major reaction product was 4-isopropyl phenol (selectivity: 78%). Delocalization of phenolic oxygen electron pair over the aromatic ring promoted para-selective alkylation. Such delocalization could be aided by the hydrophilic surface of the molecular sieves. Though ester was used as the alkylating agent, phenyl isopropyl ether was not formed
The dealuminated and alkali/alkaline-earth metal exchanged Y-zeolites were prepared as a catalyst. Elemental compositions and structures of the prepared catalysts were analyzed by the various spectroscopic techniques such as inductively coupled plasma-atomic emission spectroscopy(ICP-AES), X-ray fluorescence(XRF) and X-ray diffraction(XRD), and the desorption behaviors of adsorbed species on the catalyst surfaces were investigated via NO-TPD experiment. Comparing with the composition of the starting material of NaY zeolite, the magnitudes of Si/Al ratio in catalytic materials were increased after dealumination. The Si/Al ratio of catalytic materials after dealumination followed by Cs and Ba cation exchange were additionally decreased. Dealumination to catalysts induced a destruction of basic frame due to a detachment of aluminum, which results in reducing framework structure, while increasing non-framework structure. This phenomenon becomes more serious with increasing time of steam treatment and even more significant for the cation exchanged catalysts. In NO-TPD experiments, the desorption peaks of NO which indicates an activity point of catalysts shifted to the low temperature region after dealumination and cation exchange. The desorption peaks of the NO-TPD profiles taken after steam treatment also shifted to the low temperature region as the steam treatment time increased. In dealuminated and cation exchanged Y-zeolites, the catalytic activities were more influenced by exchanged cation and the formation of non-framework structure.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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