• 제목/요약/키워드: Seidel aberration

검색결과 16건 처리시간 0.024초

잔류수차가 있는 유한 가우스 동의 회절진폭 분포 (Diffraction Amplitude Distribution of Finite Gaussian Pupil with Residual Aberrations)

  • 송영란;이민희;이상수
    • 한국광학회지
    • /
    • 제9권3호
    • /
    • pp.142-145
    • /
    • 1998
  • 가우스 함수로 진폭변조한 우인한 가우스 동에 작은 Seidel 제 1차 수차가 있을때의 회절진폭 분포를 해석적으로 구하였다. 즉, 무수차 가우스 동의 회절진폭 분포와 수차에 의한 회절효과의 함으로 구하였다. 각 수차의 표현은 파면수차함수의 환산좌표를 공간각주파구로 대치하여, 수차에 의한 회절상을 되풀이 공식(recurrence formula)으로 구하였다.

  • PDF

Micro-Lithography를 위한 4 구면경계의 설계 및 수차해석 (Optical CAD and Analyses of Four Spherical Mirror System for Micro-Lithography)

  • 조영민
    • 한국광학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국광학회 1991년도 제6회 파동 및 레이저 학술발표회 Prodeedings of 6th Conference on Waves and Lasers
    • /
    • pp.88-89
    • /
    • 1991
  • For the micro-lithography using a KrF excimer laser beam(λ=0.248${\mu}{\textrm}{m}$) a mirror system consisting of four spherical surfaces with reduction magnification 5$\times$ is designed. Initially the aplanat condition of the mirror system is considered. And for the further improved performance of the system the distortion free condition and flat field condition within Seidel 3rd order aberrations are added to the above condition. During the process of designing the computer-aided optimization technique is extensively employed. The spherical aberration, coma, field curvature and distortion of the optimized four-spherical mirror system are removed to the diffraction limit, and residual astigmatism and off-axial vignetting are not corrected enough.

  • PDF

동의 결상을 기준으로 한 등가렌즈 변환에 대한 연구 (Converting a Lens to Its Equivalent as Referenced to Pupil Imaging)

  • 방현진;이종웅
    • 한국광학회지
    • /
    • 제25권1호
    • /
    • pp.14-20
    • /
    • 2014
  • 등가렌즈는 굴절능과 특정한 기준광선에 대한 근축광학적 특성은 같고, 축상두께가 다른 렌즈이다. 이 연구에서는 동의 결상을 기준으로 광학계의 두꺼운 렌즈를 등가렌즈로 변환하고 일반적으로 사용되던 물체의 결상을 기준으로 등가렌즈로 변환한 경우와 Seidel 수차의 변화를 비교하였다.

Design and Experimental Demonstration of Coaxially Folded All-reflective Imaging System

  • Xiong, Yupeng;Dai, Yifan;Chen, Shanyong;Tie, Guipeng
    • Current Optics and Photonics
    • /
    • 제3권3호
    • /
    • pp.227-235
    • /
    • 2019
  • With slimmer, lighter and all-reflective imaging systems in high demand for consumer and military applications, coaxially folded optical image systems are widely considered because they can extend focal length and reduce track length. Most of these systems consist of multiple surfaces, and these surfaces are machined on one element or grouping processing on two elements. In this paper, we report and first experimentally demonstrate an all-aluminum all-reflective optical system which consists of two optical elements, with two high order aspherical surfaces in each element. The coaxially folded system is designed with Seidel aberration theory and advanced optimization with Zemax. The system is made of all-aluminum material processing by single point diamond turning (SPDT). On this basis, we completed the system integration and performed an imaging experiment. The final system has the advantages of short track length and long focal length and broad application prospects in the micro-unmanned aerial vehicle field.

초소형 영상 전송 모듈용 DOE(Diffractive optical element)렌즈의 설계 및 평가 (Hybrid (refrctive/diffractive) lens design for the ultra-compact camera module)

  • 이환선;임천석;조재흥;장수;김현규
    • 한국광학회지
    • /
    • 제12권3호
    • /
    • pp.240-249
    • /
    • 2001
  • IMT2000용 단말기, 휴대용 개인정보단말기(PDA), 노트북 PC 등에 내장이 가능한 고속(f/2.2)의 1/7인치 CMOS칩용 초소형 카메라 렌즈를 설계하였다 설계의 특징으로는 회절소자의 마이너스 고분산특성을 십분 활용하여 단매의 렌즈로도 고속 및 광화각에 걸쳐 고차수가 및 색수차를 충분히 보정한 것이고 동시에 경박단소화(렌즈포함 상거리=3.3mm)도 실현한 것이다. 한편 설계방법으로는 단매로도 최상의 성능을 확보하기 위해 가능한 초기형상을 (Seidel 3차 수차론 활용) 최적설계의 입력치로 두고 다양한 면배치에 대해 최적설계후 상호간의 광학성능 및 기타 특성치를 비교·분석하였다 그리고 성능향상의 한방법으로써 기존 단매 렌즈의 굴절능을 전체 (2매)렌즈의 굴절능으로 하면서 petzval sum이 제로가 되도록 렌즈를 추가 하였고 이로 말미암아 최적설계 후 기존 광학성능을 크게 향상시킬수 있었다.

  • PDF

줌 구조를 이용하여 물체거리가 변해도 상면과 배율이 고정되는 현미경 광학계의 설계 (The design of microscopic system using zoom structure with a fixed magnification and the independency on the variation of object distance)

  • 류재명;조재흥;임천석;정진호;전영세;이강배
    • 한국광학회지
    • /
    • 제14권6호
    • /
    • pp.613-622
    • /
    • 2003
  • 반도체 와이어 본딩(wire-bonding) 조립공정에 사용되는 검사용 다중배치 현미경 광학계를 설계하였다. 2배와 6배에 공통으로 사용되는 대물부를 통과한 광선은 광분할 프리즘으로 둘로 나뉘고 각각의 결상부에 의하여 물체의 주변부는 2배, 물체의 중심부는 6배로 결상하게 한다. 이 때 리드프레임의 와이어 구조 때문에 $\pm$3 mm의 높이차가 있어서 대물부에서 물체까지의 거리가 서로 다르다. 이러한 단차에 ,의해 물체거리가 바뀌더라도 동일한 결상 배율로 선명하게 관찰하기 위해 결상부를 기계 보정식 줌 렌즈와 같이 비선형 궤적으로 이동시켜야 한다. 이 궤적을 구하기 위해 가우스 괄호를 사용해 비선형 연립방정식을 세우고 풀었다. 또한 각 렌즈 군의 굴절능과 군간 간격을 구하는 군별 기초 설계는 등가렌즈에 대한 3차 수차 이론을 사용하였으며, 최종적으로 최적화 기법을 통하여 이러한 현미경 광학계를 얻었다.