• 제목/요약/키워드: Secondary electron energy

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이온주입 에너지에 따른 Auger Si KLL Peak Shift 및 Ti 계열 화합물의 Chemical State 관찰

  • 허성;박윤백;민경열;이순영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.83-83
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    • 1999
  • 본 연구에서는 Auger Elecrtron Spectroscopy (AES) 장비를 이용하여 Silicone Wafer 표면에 BF 이온을 주입시킨 후 Dopping 농도 및 Implantation 에너지에 따른 Si KLL Peak의 변화를 관찰하였다. 또한 PVD Ti 계열 화학물의 시료에 대하여 Peak의 Shape 변화를 관찰하였다. 1)Dopping 농도 및 Implantation 에너지에 따른 Si KLL Peak의 변화 관찰 일반적으로 Silicone 기판에 Arsenic(3가)을 Dopping 하였을 경우, Si KLL Peak의 Kinetic Energy 값은 순수 Si Peak보다 더 작은 값으로 Shift 하며, Boron (5가)을 Dopping하였을 경우에는 더 큰 값으로 Shift 한다. 이론적으로 N-type Si의 에너지 차이는 약 1.0eV로 보고되어 있으며, AES를 이용하여 실험적으로 측정된 값은 약 0.6eV정도로 알려져 있다. 이러한 차이는 Dopping 농도에 따라 Valance Band의 에너지 값이 변화하기 때문이라고 알려져 있다. 본 연구에서는 BF2를 Si에 이온 주입하여 입사 에너지 및 dose 량에 따른 Si KLL Peak의 변화를 관찰하였다. 그림1과 같이 Si KLL Peak는 Implantation Energy가 작을수록 Kinetic Energy가 높은 곳으로 Shift 한다. 이는 LOw Energy로 이온 주입하면, Projected Range (Rp)가 High Energy로 이온 주입할 때보다 작기 때문이며, 이 결과를 Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS) 및 TRIM simulation을 이용하여 확인하였다. 또한 표면에서의 전자 Density의 변화와 Implantation energy와의 관계를 시료의 표면에서 반사되어 나오는 전자의 에너지 손실(Reflected Electron Energy Loss Spectroscopy:REELS)을 통하여 고찰하였다. 2) PVD Ti 계열화합물의 시료에 대한 peak의 shape 가 변화하며, TiL3M23V (Ti2) 및 TiL3M23M23 (Til) Peak의 Intensity Ratio가 변화한다. 따라서 본 연구에서는 그림 2와 같이 Ti 결합 화합물에서의 Ti Auger Peak의 특성 에너지 값과 Peak Shape를 관찰하여, AES를 이용하여 Ti 계열의 화합물에 대한 Chemical state 분석의 가능성을 평가하였다.

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Neutron Radiography를 이용한 고탄소흑연강에서 붕소 분석 (Boron Analysis in High Carbon Graphitized Steel using Neutron Autoradiography)

  • 우기도;양창호;박희찬;이창희;심철무;장진성;김현경
    • 한국재료학회지
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    • 제11권12호
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    • pp.1074-1079
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    • 2001
  • To study the distribution of boron and the boron effect for nucleation of graphite in high carbon steel, neutron induced autoradiography method is used. High carbon steel is easy to make the graphitization by addition of boron. It is easy to analysis of boron distribution using neutron radiography with neutron fluence of $1.9$\times${\times}10^{13}/cm^2$in the boron added high carbon steel. By the neutron induced autoradiography technique, it was found that the distribution of boron depended on boron content, graphitiging temperature and time. And by the analysis of secondary ion mass spectroscopy (SIMS) and electron probe micro analysis (EPMA), boron or boride were acted at nucleation site of graphite in high carbon steel.

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Focal Plane Damage Analysis by the Space Radiation Environment in Aura Satellite Orbit

  • Ko, Dai-Ho;Yeon, Jeoung-Heum;Kim, Seong-Hui;Yong, Sang-Soon;Lee, Seung-Hoon;Sim, Enu-Sup;Lee, Cheol-Woo;De Vries, Johan
    • 한국우주과학회:학술대회논문집(한국우주과학회보)
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    • 한국우주과학회 2011년도 한국우주과학회보 제20권1호
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    • pp.28.1-28.1
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    • 2011
  • Radiation-induced displacement damage which has caused the increase of the dark current in the focal plane adopted in the Ozone Monitoring Instrument (OMI) was studied in regards of the primary protons and the secondaries generated by the protons in the orbit. By using the Monte Carlo N-Particle Transport Code System (MCNPX) version 2.4.0 along with the Stopping and Range of Ions in Matter version 2010 (SRIM2010), effects of the primary protons as well as secondary particles including neutron, electron, and photon were investigated. After their doses and fluxes that reached onto the charge-coupled device (CCD) were examined, displacement damage induced by major sources was presented.

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박막태양전지용 ZnO:Al 투명전도막 표면 Self-Texturing 연구 (Study of Self Texturing on ZnO:Al TCO surface for Thin-Film Solar Cell)

  • 오경석;윤순길;이정철
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2011년도 춘계학술대회 초록집
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    • pp.127.2-127.2
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    • 2011
  • 본 연구에서는 RF Magnetron Sputtering System을 이용하여 ZnO계 투명전도막 증착시 Vaporization된 MeOH를 유입함으로써 박막증착과 동시에 표면의 Roughness를 제어하여 이에따른 전기적 특성 및 광학적 특성의 개선에 대하여 연구하였다. 실험방법으로 기존의 RF Magnetron Sputtering System에 Vaporization이 가능한 Ultrasonic을 이용하여 MeOH를 Vaporized시켜 MFC Controll을 통해 챔버에 유입하여 ZnO계 투명전도막의 박막증착과 동시에 표면 Texturing을 하였다. ZnO계 투명전도막의 박막증착시 Vaporized MeOH의 유입에 따른 광학적 특성변화를 UV-visible-nIR spectrometry로 조사하였으며, 전기적 특성 변화를 4-Point-Probe로 조사하였으며, 표면적 특성 변화를 Atomic Force Microscope(AFM), Scanning Electron Microscopy(SEM)를 조사하였으며, 박막의 결정성장특성 변화를 X-ray Diffraction(XRD)으로 조사하였으며, Vaporized MeOH 유입에 따른 박막의 성분분석을 Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)로 조사함으로써 최적의 조건 및 공정을 확립하였다.

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Effect of Aging Time on the Resistance to Localized Corrosion of the Hyper Duplex Stainless Steel

  • Jeon, Soon-Hyeok;Kim, Soon-Tae;Lee, In-Sung;Kim, Ji-Soo;Kim, Kwang-Tae;Park, Yong-Soo
    • Corrosion Science and Technology
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    • 제9권5호
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    • pp.209-215
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    • 2010
  • To elucidate the effect of aging time on resistance to localized corrosion of hyper duplex stainless steel, a double-loop electrochemical potentiokinetic reactivation test a potentiodynamic anodic polarization test, a scanning electron microscope-energy dispersive spectroscope analysis, and a thermodynamic calculation were conducted. With an increase in aging time, sigma phases are precipitated much more than chi phases due to the meta-stable chi phase acting as a transition phase. As aging time at $850^{\circ}C$ increases, the corrosion resistance decreases owing to an increase in Cr, Mo and W depleted areas adjacent to the intermetallic phases such as sigma phases and chi phases.

대향 음극형 플라즈마 프로세스의 글로우 방전특성에 관한 연구 (A Study on the Glow Discharge Characteristics of Facing Target Plasma Process)

  • Park, Chung-Hoo;Cho, Jung-Soo;Kim, Kwang-Hwa;Sung, Youl-Mool
    • 대한전기학회논문지
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    • 제43권3호
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    • pp.478-484
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    • 1994
  • Facing target dc sputtering system developed by Hoshi et al. has simple configuration and high deposition rate under moderate substrate temperature in the range of pressure 5x10S0-4T - 1x10S0-2T torr. In this system, magnetic field should be applied perpendicular to the target surface in order to confine high energy secondary electrons between two targets. Because of this magnetic field, the glow discharge characteristics are very different from dc planar diode system showing some unstable discharge region. In this paper, the glow discharge characteristics of this system have been studied under the condition of Ti targets with Ar-NS12T(10%) as working gas. It is found that this system has stable discharge region under the discharge current density of 15-30(mA/cmS02T). The plasma density and electron temperature are in the range of 10S010Y - 10S011T(CMS0-3T) and 2.5-5(eV), respectively.

리륨이차전지용 $LiNi_{1/3}Mn_{1/3}Co_{1/3}O_2$ 양극활물질의 표면개질에 따른 전지특성 (Cell Performances of Surface-Treated $LiNi_{1/3}Mn_{1/3}Co_{1/3}O_2$ Material for Li Secondary Battery)

  • 김현수;공명철;김기택;문성인
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.294-295
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    • 2007
  • $LiNi_{1/3}Mn_{1/3}Co_{1/3}O_2$ material was surface modified with Zr-phosphate. Scanning electron microscope, energy dispersive spectroscopy and electrochemical studies indicate that surface modification improve the rate capability. Electrochemical studies were performed by assembling 2032 coin cells with lithium metal as an anode.

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Pulse 전위를 적용한 전기화학적 증착 공정으로 제조된 가시광 활성 이종접합 $CuInS_2-TiO_2$ Nanotube 화합물 광전극 (Visible Light-Driven $CuInS_2-TiO_2$ Nanotube Composite Photoelectrodes with Heterojunction Structureusing Pulsed-Electrochemical Deposition Process)

  • 윤정호;;박영구
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제30권1호
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    • pp.49-56
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    • 2013
  • Excellent electron transport properties with enhanced light scattering ability for light harvesting have made well-ordered one dimensional $TiO_2$ nanotube(TNT) arrays an alternative candidate over $TiO_2$ nanoparticles in the area of solar energy conversion applications. The principal drawback of TNT arrays being activated only by UV light has been addressed by coupling the TNT with secondary materials which are visible light-triggered. As well as extending the absorption region of sunlight, the introduction of these foreign components is also found to influence the charge separation and electron lifetime of TNT. In this study, a novel method to fabricate the TNT-based composite photoelectrodes employing visible responsive $CuInS_2$ (CIS) nanoparticles is presented. The developed method is a square wave pulse-assisted electrochemical deposition approach to wrap the inner and outer walls of a TNT array with CIS nanoparticles. Instead of coating as a dense compact layer of CIS by a conventional non-pulsed-electrochemical deposition method, the nanoparticles pack relatively loosely to form a rough surface which increases the surface area of the composite and results in a higher degree of light scattering within the tubular channels and hence a greater chance of absorption. The excellence coverage of CIS on the tubular $TiO_2$ allows the construction of an effective heterojunction that exhibits enhanced photoelectrochemical performance.

PVC를 원료로 탄소코팅한 Mo6S8의 합성 및 전기화학적 특성 (Synthesis and Electrochemical Properties of Carbon Coated Mo6S8 using PVC)

  • 현시철;조병원;나병기
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제61권3호
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    • pp.348-355
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    • 2023
  • 마그네슘 이차전지는 기존에 사용되고 있는 리튬이온전지를 대체할 수 있는 가능성으로 인해 많은 주목을 받고 있다. 마그네슘 이차전지용 양극활물질인 Mo6S8을 MSS (Molten Salt Synthesis)법으로 합성하였고, Mo6S8의 전기화학적 특성을 향상시키기 위하여 탄소소재인 PVC (Poly Vinyl Chloride)를 첨가하여 탄화시켰다. 물질의 결정 구조와 크기, 표면 상태는 XRD (X-ray Diffraction), SEM (Scanning Electron Microscope)으로 분석하였다. 전기화학적 특성은 배터리충방전기를 이용하여 충·방전 프로파일과 출력 특성 등을 측정하였다. PVC를 2.81 wt% 첨가한 물질의 경우, 0.125 C-rate에서 85.8 mAh/g, 0.5 C-rate에서 69.2 mAh/g, 1 C-rate에서 60.5 mAh/g의 용량을 나타내어 우수한 출력특성을 보여주었다.

고온, 고압 알칼리 수용액에서의 Alloy 600 산화막 특성에 미치는 납 농도 영향 (Effect of Lead Concentration on Surface Oxide Formed on Alloy 600 in High Temperature and High Pressure Alkaline Solutions)

  • 김동진;김현욱;문병학;김홍표;황성식
    • Corrosion Science and Technology
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    • 제11권3호
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    • pp.96-102
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    • 2012
  • 0.1 M NaOH 용액에 PbO첨가양이 증가함에 따라 Alloy 600에 형성되는 산화막의 부동태 피막 특성이 열화되었다. 또한 뚜렷한 2중층 구조의 산화막이 점차 사라지고, 산화막내 존재하는 납의 양이 증가하였다. 산화막 내부 납의 양이 증가함에 따라 산화막 내부 니켈의 결핍이 점차 커졌다. 납에 의해 산화막의 부동태 특성이 약화됨에 따라, 응력부식균열 저항성 또한 급감하였을 것으로 판단된다.