The effect of target power density on physical and structural properties of amorphous carbon films prepared by CFUBM sputtering (비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 비정질 탄소박막의 물리적, 구조적 특성에서 타겟 파워 밀도의 영향)
-
- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
- /
- 2008.06a
- /
- pp.366-366
- /
- 2008