• 대한전자공학회논문지SD
• /
• 제39권1호
• /
• pp.31-38
• /
• 2002

0.35㎛-비아(via) 식각공정을 개선하기 위하여 C₂F/sub 6/가스의 식각특성을 분석하였다. 실험한 재료는 TEOS/SOG/TEOS 막을 올린 8인치 웨이퍼이며, 실험의 기법은 직교행열(Orthogonal array matrix) 실험 방식을 활용하였다. 산화막 식각에 이용된 장비는 transformer coupled plasma(TCP) source 방식이며 고밀도 플라즈마(HDP)장비이다. 실험의 결과는, 실험변수의 범위 내에서 C₂F/sub 6/는 0.8㎛/min-1.l㎛/min 범위의 식각속도를 보이며 균일도(Uniformity)는 ±6.9%미만으로 측정되었다. CD 변화(skew)는 식각 전과 후를 비교하여 10% 미만이었고 그 결과 비등방성(anisotropic) 식각의 특성이 우수하였다. C₂F/sub 6/를.20sccm 공급할 때 문제점이 발견되지 않았지만 14sccm을 공급하면 SOG 막의 내벽이 침식당하는 문제점이 있었다. 결과적으로 C₂F/sub 6/는 HDP TCP에서 빠른 식각비와 넓은 공정창(process window)을 가진 식각특성을 나타내었다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
• /
• 한국정보통신학회 2017년도 춘계학술대회
• /
• pp.527-528
• /
• 2017

터널 전계 효과 트랜지스터(tunnel field effect transistor; TFET)의 게이트를 소스 영역으로 오버랩 시킨 구조에서 가우시안으로 P형 도핑한 경우의 전류특성을 조사했다. 제안된 구조는 채널을 P형 도핑하여 험프를 제거하고 가우시안 도핑하여 드레인 벌크영역에서 나타나는 역방향성(ambipolar) 전류를 최소화시켰다. 소스-채널-드레인을 P-P-N으로 구성된 TFET의 구동전류는 P-I-N TFET와 동일하나 문턱전압 이하 기울기(Subthreshold Swing; SS)에서 5배 높은 효율이 관찰되었으며 차단전류는 가우시안 도핑 결과가 일정한 도핑에 비해 약 10배 감소하였고, 역방향성 전류는 100배 감소하였다.

• 한국정보과학회논문지:소프트웨어및응용
• /
• 제31권12호
• /
• pp.1581-1590
• /
• 2004

본 논문은 한 가지 특징 요소로서 획 방향 코드들만을 사용하는 강건한 오프라인 필기체 숫자 인식 방법을 제안한다. 이 방법은 입력된 숫자 이미지에 대하여 일반적인 8방향 코드를 생성하고 이 코드들의 조합을 다층 신경망에 학습하고 각 숫자를 인식하게 한다. 8방향 코드들은 다양하게 표현된 숫자들의 자기구성 그래프(SOG*:Improved Self-Organizing Graph) 세선화 결과에 의해 만들어지고 이 코드의 사용은 2개 이상의 특징점들을 처리하는 기존의 복합적인 단계들을 단순화시킨다. 실험결과는 모든 숫자 데이타베이스의 어떤 이미지들에 대해서도 인식률이 일관성 있게 98.85% 이상임을 보여준다.

• 인포메이션 디스플레이
• /
• 제5권1호
• /
• pp.19-24
• /
• 2004

• 전자진흥
• /
• 제23권12호
• /
• pp.47-54
• /
• 2003

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
• /
• 한국정보디스플레이학회 2004년도 Asia Display / IMID 04
• /
• pp.1019-1022
• /
• 2004

High performance p-ch poly-Si TFTs with excellent stability were developed. By using a frequency doubled DPSS CW laser, the a-Si on glass could be crystallized into one dimensional single crystalline silicon named as a sequential lateral crystallization (SLC) region. We fabricated p-ch TFTs on SLC region and the typical characteristic values of the TFTs were $u_{fe}$ = 180 $cm^2$/Vs, $V_{th}$ = -3 V, S.S. = 0.5 V/dec, and $I_{off}$ = 1 pA/um@ $V_d$ = -10V. It is found that the TFTs are very stable after bias stresses such as negative and positive gate biases, hot carrier bias and high current bias. These results indicate that the poly-Si in SLC region is suitable for system on glass (SOG) application.

• E2M - 전기 전자와 첨단 소재
• /
• 제19권9호
• /
• pp.11-19
• /
• 2006

SLS crystallization and CMOS LTPS process have been developed for high performance and uniform characteristics. By strictly optimizing SLS optics in conventional 2 shot SLS process, threshold voltage variation of 720 pixel TFTs in 2.2-inch QVGA panel (240xRGB) was remarkably decreased from 1.89 V to 0.56 V of 3sigma value. Mobility of the channel doped NTFT and PTFT for circuits were $146\;and\;38cm^{2}/Vs$, respectively. Functional unit circuits for SOG were also fabricated and properly operated.

• Journal of Positioning, Navigation, and Timing
• /
• 제12권3호
• /
• pp.257-269
• /
• 2023

This paper presents a method for detecting faults in data obtained from the Automatic Identification System (AIS) of surface vessels. The data include latitude, longitude, Speed Over Ground (SOG), and Course Over Ground (COG). We derive two methods that utilize two models: a constant state model and a derivative augmented model. The constant state model incorporates noise variables to account for state changes, while the derivative augmented model employs explicit variables such as first or second derivatives, to model dynamic changes in state. Generally, the derivative augmented model detects faults more promptly than the constant state model, although it is vulnerable to potentially overlooking faults. The effectiveness of this method is validated using AIS data collected at a harbor. The results demonstrate that the proposed approach can automatically detect faults in AIS data, thus offering partial assistance for enhancing navigation safety.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
• /
• 제23권11호
• /
• pp.1658-1660
• /
• 2002