Etch selectivities of mask materials for anisotropic dry etching of gas sensing ZnO and SnO2 films (가스 센서용 ZnO, SnO2 박막의 이방성 식각을 위한 mask 재료의 식각 선택도 조사)
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- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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- v.21 no.4
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- pp.164-168
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- 2011