• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 제어로봇시스템학회 2000년도 제15차 학술회의논문집
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• pp.293-293
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• 2000

The SECS(SEMI Equipment Communications Standard) is a standard protocol for communication between equipments and a host in semiconductor processes. This paper proposes the implementation of the HSMS(High-speed SECS Message Services) as an interface for transmission of the SECS messages and SECS-II containing message contents defined as an SEMI standard. The HSMS driver is implemented as a type of the daemon program and several DLL files. The SECS-II composes of the SML(SECS Message Language) file defining the SECS messages, the SML translator being able to interpret and transform the SML, and the data index table being able to refer to SECS messages. We also define the shared parameter to exchange the HSMS header and SECS message between the HSMS and the SECS-II. Eventually, to show the effectiveness of the proposed drivers, we test the SECS communications between equipments and a host using the implemented communication programs.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2000년도 하계학술대회 논문집 D
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• pp.2904-2906
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• 2000

본 논문에서는 반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간에 통신을 할 수 있는 SECS(SEMI Equipment Communications Standard) 프로토를의 개발을 제안한다. SECS 프로토콜은 메시지 전송을 위한 헤더 부분을 정의하는 SECS-I 프로토콜과 메시지 내용을 정의하는 SECS-II 프로토콜로 나뉘어지는데, RS232 시리얼 통신을 하는 SECS-I 프로토콜 대신에 이더넷(ethernet)을 통해 TCP/IP 통신을 할 수 있는 HSMS 프로토콜을 구현하고자 한다. HSMS(High-speed SECS Message Services)프로토콜은 SECS-I과 마찬가지로 SECS-II 메시지 내용을 전송 할 수 있도록 10바이트 크기의 헤더로 정의된다. HSMS 프로토콜 통신은 TCP/IP를 기반으로 하기 때문에 SECS 메시지 전송을 위한 통신 선로를 설정하기 위해 소켓 API를 응용하고 항상 통신 대기상태를 유지하기 위해 데몬(daemon) 형태로 구성한다. 실제 메시지 내용을 정의하고 있는 SECS-II 프로토콜은 데이터 인덱스 테이블과 표준에 정의된 형식에 맞게 파일형태나 DLL(Dynamic Link Library)형태로 구성하고 프로세스 프로그램(process program)을 수행하기 위해 SECS 프로토콜 표준에서 정의하는 SML(SECS Message Language)형식으로 변환 할 수 있는 스크립트 변환기(script translator)를 구현한다. 또한 HSMS 프로토콜이 전송할 SECS-II 메시지를 저장하기 위한 파라미터를 정의하고 실제 통신을 위한 테스트 베드를 위한 응용 프로그램을 제작한다

• 한국정보처리학회:학술대회논문집
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• 한국정보처리학회 2008년도 춘계학술발표대회
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• pp.675-678
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• 2008

최근 반도체 장비는 충분한 네트워크 성능과 유지 관리 기능을 자체적으로 내장하고 있으며, 자동화 네트워크 구성을 위한 통신규약 및 메시지로 SECS-I, SECS--II, HSMS와 PLC장비의 OPC등이 있다. 하지만 각 통신규약 및 메시지 형태가 상이하여 통합 관리 및 모니터링이 어려운 실정에 있다. 따라서 본 논문에서는 반도체 산업장비의 다양한 통신규약중 사용도가 높은 SECS-II와 OPC에서 메시지를 추출하고 통합된 메시지를 작성하기 위한 방법 및 소프트웨어 구조를 제시한다. 이러한 시스템을 통해서 생산 효율 및 가동률을 높이고, 고장 진단/장애요소 제거 등 산업 현장에서 발생할 수 있는 문제점을 개선 할 수 있는 기반 기술을 마련한다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2001년도 합동 추계학술대회 논문집 정보 및 제어부문
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• pp.50-52
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• 2001

반도체 장비간 통신의 표준인 SECS(SEMI Equipment Communication Standard)는 반도체 제조 업체에서 많이 사용되고 있다. SECS-I의 단점을 보완하기 위해 제안된 HSMS (High-speed SECS Message Services)는, TCP/IP를 지원하고 SECS-I에 비해 통신 속도가 높다. 사용자는 HSMS를 이용하여 LAN을 통한 장비 제어 및 모니터링이 가능하게 되었다. 그러나, 네트워크의 확장에 대한 관심 고조로 기존의 제한된 영역의 네트워크 구성에 대한 변화가 필요하게 되었다. 또한 사용자가 항상 LAN의 범위 내에서 장비 모니터링 및 제어하기에는 위치적 제약이 많다. 그렇지만 HSMS는 Web을 통한 데이터 전송 요구를 수용하지 못하고 있다. 따라서 SECS-II message가 Web을 통해 전송될 수 있는 새로운 포맷이 필요하다. 본 논문에서는, 구조화된 데이터를 정의하기 유리한 마크업 언어인 XML을 이용하여, SECS-II message를 Web으로 전송할 수 있는 포맷을 정의하고 이를 구현한다.

• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 2003년도 하계종합학술대회 논문집 V
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• pp.2553-2556
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• 2003

In the semiconductor equipment industry, the SECS/GEM protocol has been recognized as the communication standard, but in our 300mm wafer aligner being developed, this capability has not been equipped yet. In this study, we present the realization of SECS-I, SECS-II and HSMS communication protocol between factory host computer and wafer aligner. Its validity is shown in actual test environment.

• 한국정보처리학회:학술대회논문집
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• 한국정보처리학회 2006년도 춘계학술발표대회
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• pp.1175-1178
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• 2006

반도체 공정 자동화를 위해 SEMI에서 제창한 표준 규약인 SECS Protocol은 메시지 전송을 위한 규약인 SECS-I과 HSMS, 실제 통신되는 메시지에 대한 규약인 SECS-II로 구성된다. 하지만 SECS-I에서는 통신속도가 느리고, 근거리 통신만 가능하고, 호스트 컴퓨터와 설비간의 연결이 1:1로 이루어져야 하는 등 여러 가지 문제점도 있고 요즘에는 TCP/IP 기반의 HSMS Protocol 장비가 나오기 때문에 SECS-I을 HSMS로 변환시켜 주는 장치가 필요하다. 본 논문에서는 SECS-I 지원용으로 제작된 설비라도 HSMS를 지원할 수 있도록 하여 HSMS가 갖는 여러 가지 장점을 갖도록 하는 SECS-I/HSMS 변환방법에 관해 살펴본다.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제19권12호
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• pp.2820-2827
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• 2015

저가의 MCU를 사용한 HSMS 구동 시스템은 반도체 설비 온라인 시스템 구축에는 없어서는 안 될 필수적인 기술이다. HSMS는 더 빠른 속도의 통신이 필요하고 장비 하드웨어 구성이 용이한 어플리케이션을 위해 SECS-I 대신에 많이 사용된다. 기존의 SECS와 HSMS 디바이스는 SECS의 전반적인 프로토콜 구현되어 있어서 매우 고가이다. 이 연구에서는 기업에서 필요로 하는 SECS 프로토콜만을 지원하는 HSMS 통신 시스템을 설계하고 구현하고자 한다. 저가이지만 고성능 MCU를 메인 보드로 하여 HSMS 통신을 처리하는 모듈을 설계하고, BCR을 독립적으로 처리 할 수 있는 회로를 초소형 MCU를 이용하여 설계한다. 그리고 BCR로부터 인식된 태그 데이터를 HSMS 통신 프로토콜에 부합하는 데이터로 변환하기 위해 SECS-II 메시지를 설계한다. 이 설계들을 반영한 HSMS 통신 시스템을 개발한다. 개발한 저가의 HSMS 통신 모듈은 반도체 공정에 대한 실시간 감시 및 제어 시스템에 적용될 수 있다.

• 한국정보처리학회:학술대회논문집
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• 한국정보처리학회 2017년도 춘계학술발표대회
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• pp.567-570
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• 2017

산업공정에서 공정 정보처리의 극대화를 위하여 PLC, 로봇 등의 여러 프로그램식 단위제어기기가 네트워크로 연결되어 운영되고 있다. 대부분이 RS232C와 고유 장비의 전송절차에 의해 수행되어 왔지만, ISO 등에서는 반도체공정에 적용을 위한 SECS에 대한 프로토콜을 표준화하였다. 본 연구는 반도체 스퍼터 공정에 PLC, 로봇, 반송장치의 연결에 SECS-II를 적용하고, HSMS를 활용하여 TCP/IP와 Host를 연결하여 계층구조의 네트워크를 운영하였다. 전송 메세지 type을 stream과 function으로 나누어 송수신 확인과 데이터 전송절차를 설정하여 공정이 정상적으로 운영됨을 확인하였다.

• 한국통신학회논문지
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• 제10권3호
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• pp.147-152
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• 1985

Reed-Solomon 코드의 디코더를 error-trapping 방법으로 설계했다. (7.3) Reed Solomon 코드의 인코더 및 디코더 구성시 GF(8)의 소자는 3bit의 2진수로 표현했다. 하드-웨어 시험은 Apple-II(micro-computer)로 제어했으며, 인코딩하는데 걸린 시간은 $350\mu sec이었고, 디코딩하는데 걸린 시간은 910u sec이었다. 실험 결과 2개 이하의 랜덤 에러는 정정되었고, 그 보다 많은 에러는 정정되지 않았다. 또한 4bit의 binary burst에러도 역시 정정되었다. 그리고(7, 3) Reed-Solomon코드의 performance를 측정한 결과, 채널 에러가 10~10일때 에러 확률이 약 10~10정도로 감소되었다.

• 한국콘텐츠학회:학술대회논문집
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• 한국콘텐츠학회 2009년도 춘계 종합학술대회 논문집
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• pp.822-827
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• 2009

최근 로봇 시스템 보급과 실용화를 앞당기기 위한 URC 로봇에 대한 연구가 활발해 지면서 로봇 플렛폼 기술개발 및 표준화에 대한 관심이 높아지고 있다. 하지만 현재의 URC 로봇의 표준화 연구는 과거 장비 및 반도체 장비에서의 표준화 연구와 같은 오류를 반복하고 있다. OPC에서는 PLC 장비를 위하여 OPC규약을 만들었고 SEMI에서는 반도체 장비를 위해 SECS-II 규약을 만들게 되었다. 이는 장비가 많고 다양해지면서 이 기종의 장비들의 메시지를 통합환경에서 제어 및 모니터링 하는데 문제가 발생하였기 때문이다. 하지만 URC 로봇의 플렛폼 개발에 있어 메시지 규약에 관한 사항은 배제되어 있다. 특히 URC 로봇은 유비쿼터스 환경의 핵심인 IT 기술과의 컨버전스가 이루어 져야 하기 때문에 규격화된 메시지 프로토콜의 필요성은 더욱 절실하다. 따라서 본 논문에서는 URC 로봇 플랫폼 개발에 있어 규격화된 메시지의 필요성을 제시하고 RUPI, OPC, SECS-II 메시지를 분석하여 IT 기술과의 컨버전스에 기반이 되는 메시지 프로토콜을 설계한다.