• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 2000.10a
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• pp.293-293
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• 2000

The SECS(SEMI Equipment Communications Standard) is a standard protocol for communication between equipments and a host in semiconductor processes. This paper proposes the implementation of the HSMS(High-speed SECS Message Services) as an interface for transmission of the SECS messages and SECS-II containing message contents defined as an SEMI standard. The HSMS driver is implemented as a type of the daemon program and several DLL files. The SECS-II composes of the SML(SECS Message Language) file defining the SECS messages, the SML translator being able to interpret and transform the SML, and the data index table being able to refer to SECS messages. We also define the shared parameter to exchange the HSMS header and SECS message between the HSMS and the SECS-II. Eventually, to show the effectiveness of the proposed drivers, we test the SECS communications between equipments and a host using the implemented communication programs.

• Proceedings of the IEEK Conference
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• 2003.07c
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• pp.2553-2556
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• 2003

In the semiconductor equipment industry, the SECS/GEM protocol has been recognized as the communication standard, but in our 300mm wafer aligner being developed, this capability has not been equipped yet. In this study, we present the realization of SECS-I, SECS-II and HSMS communication protocol between factory host computer and wafer aligner. Its validity is shown in actual test environment.

• IE interfaces
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• v.9 no.3
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• pp.225-235
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• 1996

The SECS Ⅰ and Ⅱ Protocol has been widely used for the TFT LCD and semiconductor industry. This paper shows how the SECS protocol is implemented for data communications between the Host (CAM) and the TFT LCD equipments. In addition, this study introduces a way to apply the SECS protocol to the manufacturing systems control. It provides better throughput in terms of production and faster control of the automated TFT LCD manufacturing system by way of shortcut and distribution of control and data communications. The SECS protocol is successfully used for the control of the real TFT LCD manufacturing system.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2006.05a
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• pp.1175-1178
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• 2006

반도체 공정 자동화를 위해 SEMI에서 제창한 표준 규약인 SECS Protocol은 메시지 전송을 위한 규약인 SECS-I과 HSMS, 실제 통신되는 메시지에 대한 규약인 SECS-II로 구성된다. 하지만 SECS-I에서는 통신속도가 느리고, 근거리 통신만 가능하고, 호스트 컴퓨터와 설비간의 연결이 1:1로 이루어져야 하는 등 여러 가지 문제점도 있고 요즘에는 TCP/IP 기반의 HSMS Protocol 장비가 나오기 때문에 SECS-I을 HSMS로 변환시켜 주는 장치가 필요하다. 본 논문에서는 SECS-I 지원용으로 제작된 설비라도 HSMS를 지원할 수 있도록 하여 HSMS가 갖는 여러 가지 장점을 갖도록 하는 SECS-I/HSMS 변환방법에 관해 살펴본다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2000.07d
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• pp.2904-2906
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• 2000

본 논문에서는 반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간에 통신을 할 수 있는 SECS(SEMI Equipment Communications Standard) 프로토를의 개발을 제안한다. SECS 프로토콜은 메시지 전송을 위한 헤더 부분을 정의하는 SECS-I 프로토콜과 메시지 내용을 정의하는 SECS-II 프로토콜로 나뉘어지는데, RS232 시리얼 통신을 하는 SECS-I 프로토콜 대신에 이더넷(ethernet)을 통해 TCP/IP 통신을 할 수 있는 HSMS 프로토콜을 구현하고자 한다. HSMS(High-speed SECS Message Services)프로토콜은 SECS-I과 마찬가지로 SECS-II 메시지 내용을 전송 할 수 있도록 10바이트 크기의 헤더로 정의된다. HSMS 프로토콜 통신은 TCP/IP를 기반으로 하기 때문에 SECS 메시지 전송을 위한 통신 선로를 설정하기 위해 소켓 API를 응용하고 항상 통신 대기상태를 유지하기 위해 데몬(daemon) 형태로 구성한다. 실제 메시지 내용을 정의하고 있는 SECS-II 프로토콜은 데이터 인덱스 테이블과 표준에 정의된 형식에 맞게 파일형태나 DLL(Dynamic Link Library)형태로 구성하고 프로세스 프로그램(process program)을 수행하기 위해 SECS 프로토콜 표준에서 정의하는 SML(SECS Message Language)형식으로 변환 할 수 있는 스크립트 변환기(script translator)를 구현한다. 또한 HSMS 프로토콜이 전송할 SECS-II 메시지를 저장하기 위한 파라미터를 정의하고 실제 통신을 위한 테스트 베드를 위한 응용 프로그램을 제작한다

• Proceedings of the Korean Institute of Communication Sciences Conference
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• 2006.07a
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• pp.617-617
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• 2006

• Journal of the Korea Society of Computer and Information
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• v.8 no.2
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• pp.106-111
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• 2003

In this Paper, an improved protocol is proposed by supplementing a control station for transmission cycle management and slot-extension function. This protocol is proposed to complement the shortcomings of the conventional L-Expressnet protocol which is used for round robin process in bus topology. We analyzed the improved protocol in channel utilization viewpoint and compared the result with that of the conventional Protocol. From this result, we showed that the channel utilization of the improved protocol is superior to that of the conventional protocol when a maximum normalized propagation delay is increased.

• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 1989.10a
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• pp.421-426
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• 1989

Many of semiconductor manufacturing companies persuit automation of wafer fabrication to improve the yields and quality of their products. Development of real-time control system for wafer fabrication and wafer/cassette automatic transfer-system is the most important part to achieve the purpose. In this paper, SECS protocol proposed by SEMI is briefly reviewed and an implementation method of real-time monitoring and control system is suggested as one of the possible ways for wafer fabrication automation. The system consists of process equipments supporting SECS.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2017.04a
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• pp.567-570
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• 2017

산업공정에서 공정 정보처리의 극대화를 위하여 PLC, 로봇 등의 여러 프로그램식 단위제어기기가 네트워크로 연결되어 운영되고 있다. 대부분이 RS232C와 고유 장비의 전송절차에 의해 수행되어 왔지만, ISO 등에서는 반도체공정에 적용을 위한 SECS에 대한 프로토콜을 표준화하였다. 본 연구는 반도체 스퍼터 공정에 PLC, 로봇, 반송장치의 연결에 SECS-II를 적용하고, HSMS를 활용하여 TCP/IP와 Host를 연결하여 계층구조의 네트워크를 운영하였다. 전송 메세지 type을 stream과 function으로 나누어 송수신 확인과 데이터 전송절차를 설정하여 공정이 정상적으로 운영됨을 확인하였다.

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.12 no.2
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• pp.39-43
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• 2013

The semiconductor equipments generate necessary data through communication networks for the effective manufacturing processes and automation of semiconductor equipments. For transferring data between semiconductor equipments and sending data to monitor equipments, several standards for communication protocols have been proposed. Communication networks in semiconductor manufacturing systems will transmit a lot of data traffic, which can be vulnerable in data delay and network failure. Therefore, it is required that data traffic need to be distributed. To accomplish this objective, we recommend the use of a redundant and valuable communication path which is constructed by a wireless sensor network. In this paper, the directed diffusion method for wireless sensor networking is suggested for networking semiconductor equipments. It is shown that how the directed diffusion is employed to connect semiconductor equipments. Also, we show how to implement the SECS of semiconductor equipments communication protocols based on the directed diffusion.