• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 제어로봇시스템학회 2000년도 제15차 학술회의논문집
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• pp.293-293
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• 2000

The SECS(SEMI Equipment Communications Standard) is a standard protocol for communication between equipments and a host in semiconductor processes. This paper proposes the implementation of the HSMS(High-speed SECS Message Services) as an interface for transmission of the SECS messages and SECS-II containing message contents defined as an SEMI standard. The HSMS driver is implemented as a type of the daemon program and several DLL files. The SECS-II composes of the SML(SECS Message Language) file defining the SECS messages, the SML translator being able to interpret and transform the SML, and the data index table being able to refer to SECS messages. We also define the shared parameter to exchange the HSMS header and SECS message between the HSMS and the SECS-II. Eventually, to show the effectiveness of the proposed drivers, we test the SECS communications between equipments and a host using the implemented communication programs.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2000년도 하계학술대회 논문집 D
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• pp.2904-2906
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• 2000

본 논문에서는 반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간에 통신을 할 수 있는 SECS(SEMI Equipment Communications Standard) 프로토를의 개발을 제안한다. SECS 프로토콜은 메시지 전송을 위한 헤더 부분을 정의하는 SECS-I 프로토콜과 메시지 내용을 정의하는 SECS-II 프로토콜로 나뉘어지는데, RS232 시리얼 통신을 하는 SECS-I 프로토콜 대신에 이더넷(ethernet)을 통해 TCP/IP 통신을 할 수 있는 HSMS 프로토콜을 구현하고자 한다. HSMS(High-speed SECS Message Services)프로토콜은 SECS-I과 마찬가지로 SECS-II 메시지 내용을 전송 할 수 있도록 10바이트 크기의 헤더로 정의된다. HSMS 프로토콜 통신은 TCP/IP를 기반으로 하기 때문에 SECS 메시지 전송을 위한 통신 선로를 설정하기 위해 소켓 API를 응용하고 항상 통신 대기상태를 유지하기 위해 데몬(daemon) 형태로 구성한다. 실제 메시지 내용을 정의하고 있는 SECS-II 프로토콜은 데이터 인덱스 테이블과 표준에 정의된 형식에 맞게 파일형태나 DLL(Dynamic Link Library)형태로 구성하고 프로세스 프로그램(process program)을 수행하기 위해 SECS 프로토콜 표준에서 정의하는 SML(SECS Message Language)형식으로 변환 할 수 있는 스크립트 변환기(script translator)를 구현한다. 또한 HSMS 프로토콜이 전송할 SECS-II 메시지를 저장하기 위한 파라미터를 정의하고 실제 통신을 위한 테스트 베드를 위한 응용 프로그램을 제작한다

• 한국콘텐츠학회논문지
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• 제22권7호
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• pp.583-598
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• 2022

본 연구의 목적은 소셜미디어 정서전염척도(Social Media Emotional Contagion Scale, SECS)를 개발하고 타당화를 하는 것이다. 전국의 20대 성인을 대상으로 결측을 제외한 총 326명을 대상으로 진행되었으며, SECS의 높은 신뢰도를 확보하였다. EFA와 CFA를 통해 SECS가 2요인 구조임을 확인하였고 한국판 정서전염 척도(K-ECS), 성인 공감척도(BES-A), Rosenberg 자아존중감척도(SES)와의 준거관련타당도를 확인하였다. SECS는 K-ECS와 BES-A의 정서적 전염과 관련된 하위요인과는 수렴하였지만, K-ECS와 BES-A 전체 척도와는 변별되었다. 이는 오프라인상에서 나타나는 정서전염과 소셜미디어상에서 나타나는 정서전염을 구별할 필요성을 시사한다. SES와는 변별되었으나 SES의 하위요인과는 일부 수렴하고 일부 변별되었다. 더 나아가, IRT를 시행하여 SECS가 높은 변별도와 적절한 심각도 문항으로 구성된 타당한 척도임을 확인하였다. 마지막으로, SECS 척도의 기준점을 제시하였고 본 연구의 의의와 제한점 및 추후 연구에 대해 논의하였다.

• 한국정보처리학회:학술대회논문집
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• 한국정보처리학회 2006년도 춘계학술발표대회
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• pp.1175-1178
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• 2006

반도체 공정 자동화를 위해 SEMI에서 제창한 표준 규약인 SECS Protocol은 메시지 전송을 위한 규약인 SECS-I과 HSMS, 실제 통신되는 메시지에 대한 규약인 SECS-II로 구성된다. 하지만 SECS-I에서는 통신속도가 느리고, 근거리 통신만 가능하고, 호스트 컴퓨터와 설비간의 연결이 1:1로 이루어져야 하는 등 여러 가지 문제점도 있고 요즘에는 TCP/IP 기반의 HSMS Protocol 장비가 나오기 때문에 SECS-I을 HSMS로 변환시켜 주는 장치가 필요하다. 본 논문에서는 SECS-I 지원용으로 제작된 설비라도 HSMS를 지원할 수 있도록 하여 HSMS가 갖는 여러 가지 장점을 갖도록 하는 SECS-I/HSMS 변환방법에 관해 살펴본다.

• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 2003년도 하계종합학술대회 논문집 V
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• pp.2553-2556
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• 2003

In the semiconductor equipment industry, the SECS/GEM protocol has been recognized as the communication standard, but in our 300mm wafer aligner being developed, this capability has not been equipped yet. In this study, we present the realization of SECS-I, SECS-II and HSMS communication protocol between factory host computer and wafer aligner. Its validity is shown in actual test environment.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2001년도 합동 추계학술대회 논문집 정보 및 제어부문
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• pp.50-52
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• 2001

반도체 장비간 통신의 표준인 SECS(SEMI Equipment Communication Standard)는 반도체 제조 업체에서 많이 사용되고 있다. SECS-I의 단점을 보완하기 위해 제안된 HSMS (High-speed SECS Message Services)는, TCP/IP를 지원하고 SECS-I에 비해 통신 속도가 높다. 사용자는 HSMS를 이용하여 LAN을 통한 장비 제어 및 모니터링이 가능하게 되었다. 그러나, 네트워크의 확장에 대한 관심 고조로 기존의 제한된 영역의 네트워크 구성에 대한 변화가 필요하게 되었다. 또한 사용자가 항상 LAN의 범위 내에서 장비 모니터링 및 제어하기에는 위치적 제약이 많다. 그렇지만 HSMS는 Web을 통한 데이터 전송 요구를 수용하지 못하고 있다. 따라서 SECS-II message가 Web을 통해 전송될 수 있는 새로운 포맷이 필요하다. 본 논문에서는, 구조화된 데이터를 정의하기 유리한 마크업 언어인 XML을 이용하여, SECS-II message를 Web으로 전송할 수 있는 포맷을 정의하고 이를 구현한다.

• 산업공학
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• 제9권3호
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• pp.225-235
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• 1996

The SECS Ⅰ and Ⅱ Protocol has been widely used for the TFT LCD and semiconductor industry. This paper shows how the SECS protocol is implemented for data communications between the Host (CAM) and the TFT LCD equipments. In addition, this study introduces a way to apply the SECS protocol to the manufacturing systems control. It provides better throughput in terms of production and faster control of the automated TFT LCD manufacturing system by way of shortcut and distribution of control and data communications. The SECS protocol is successfully used for the control of the real TFT LCD manufacturing system.

• 대한소아치과학회지
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• 제10권1호
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• pp.85-93
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• 1983

In one group that tested for the effects of grinding and etching on the deciduous teeth, S.E.M. examination on the ground or unground labial surface of deciduous maxillary central incisors were made after etching procedure with 40% phosphoric acid for 60 secs., 120 secs., 180 sees. each. In another group that tested for the degree of resin penetration to the ground and etched deciduous teeth, composite resin application was done to the ground deciduous maxillary central incisors that had been acid-etched for 30 secs., 60 secs., 90 sees., 120 sees., 180 secs. each. The tooth-resin specimens were cut at the middle 1/3 of the crown by 2mm thickness, and the adjacent tooth materials were demineralized by 10% hydrochloric acid, the author observed the tags of the resin replica with S.E.M.. Following results were obtained. 1. After 40% phosphoric acid etching, the unground deciduous enamel surface showed various types of etching pattern. 2. For the formation of regular micropores on deciduous enamel surface by acid etching with 40% phosphoric acid, the time over 120 secs. should be requested. 3. After 40% phosphoric acid etching, the ground deciduous enamel surface showed the same etching pattern that has been a preferential removal of prism peripheries despite different etching time. 4. On the ground group that etched over 60 secs. to 180 secs., the length of tags was $5{\mu}m$ to $8{\mu}m$, with a mean of $7{\mu}m$.

• 한국정보처리학회:학술대회논문집
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• 한국정보처리학회 2008년도 춘계학술발표대회
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• pp.675-678
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• 2008

최근 반도체 장비는 충분한 네트워크 성능과 유지 관리 기능을 자체적으로 내장하고 있으며, 자동화 네트워크 구성을 위한 통신규약 및 메시지로 SECS-I, SECS--II, HSMS와 PLC장비의 OPC등이 있다. 하지만 각 통신규약 및 메시지 형태가 상이하여 통합 관리 및 모니터링이 어려운 실정에 있다. 따라서 본 논문에서는 반도체 산업장비의 다양한 통신규약중 사용도가 높은 SECS-II와 OPC에서 메시지를 추출하고 통합된 메시지를 작성하기 위한 방법 및 소프트웨어 구조를 제시한다. 이러한 시스템을 통해서 생산 효율 및 가동률을 높이고, 고장 진단/장애요소 제거 등 산업 현장에서 발생할 수 있는 문제점을 개선 할 수 있는 기반 기술을 마련한다.

• 대한교통학회:학술대회논문집
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• 대한교통학회 1998년도 Proceedings 제34회 추계 학술발표회
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• pp.236-244
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• 1998

When the capacity and traffic operation at signalized intersections are analyzed in Korea, the unprotected left-turn saturation flow rate, which is an important parameter for the analysis, is estimated form the USHCM model. thus, exact analysis of the left-turn is not possible because of the difference of traffic environments between two contries. In order to improve this problem, it is undertaken in this study to develop techniques for the estimation of unprotected left-turn saturation flows based on Korean drivers' data. As study intersections, signalized or unsignalized intersections on the 6, 4 and 2 lane streets are selected. the data for the saturation flow measurement and gap-acceptance behavior analysis are inputed in a notebook computer on the sites. The critical acceptance gaps of the 6, 4, and 2 lane streets are analyzed to be 6.0 secs, 4.6 secs, and 4.3 secs respectively. the average minimum headway of the left-turn vehicle was observed to be 2.6 secs. As the model to estimate unportected left-turn saturation flows, the drew model is recommended for 6 and 4 lane streets, and a graph is suggested for the 2-lane street. As the values of the parameters of the Drew model, the 2.6 secs of this study is recommended for the average minimum headway of the left-turn. But, the critical acceptance gap varies according to the approach speed of opposing traffic and driver population, it requires field survey to measure the gap of an intersection; however, the values of the gaps studied in this study may be used for the general intersections in urban area in Korean.