In this paper, we discuss optimum process conditions of Hemispherical Grained Silicon formation for high density DRAM'S capacitor. In optimum process renditions, the phosphorous concentration, storage polysilicon deposition temperature and thickness of hemispherical grain silicon are in the range of 3.0-4.0E19atoms/㎤, 53$0^{\circ}C$ and 40(equation omitted), respectively. in the 64M bit DRAM capacitor using optimum process conditions, limit thickness of nitride is about 65(equation omitted). The results obtained in this study are applicable to process control and HSG-Si formation for high reliability and high density DRAM's capacitor.
Communications for Statistical Applications and Methods
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제17권4호
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pp.507-513
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2010
Let {$X_i,-{\infty}$ < 1 < $\infty$} be a doubly infinite sequence of identically distributed and negatively associated random variables with mean zero and finite variance and {$a_i,\;-{\infty}$ < i < ${\infty}$} be an absolutely summable sequence of real numbers. Define a moving average process as $Y_n={\sum}_{i=-\infty}^{\infty}a_{i+n}X_i$, n $\geq$ 1 and $S_n=Y_1+{\cdots}+Y_n$. In this paper we prove that E|$X_1$|$^rh$($|X_1|^p$) < $\infty$ implies ${\sum}_{n=1}^{\infty}n^{r/p-2-q/p}h(n)E{max_{1{\leq}k{\leq}n}|S_k|-{\epsilon}n^{1/p}}{_+^q}<{\infty}$ and ${\sum}_{n=1}^{\infty}n^{r/p-2}h(n)E{sup_{k{\leq}n}|k^{-1/p}S_k|-{\epsilon}}{_+^q}<{\infty}$ for all ${\epsilon}$ > 0 and all q > 0, where h(x) > 0 (x > 0) is a slowly varying function, 1 ${\leq}$ p < 2 and r > 1 + p/2.
Determining relative importance among many quality attributes under financial constraints is an important task. The weighted value of an attribute particularly in QFD, will influence on engineering characteristics and this will eventually influence the whole manufacturing process such as parts deployment, process planning, and production planning. Several scholars have suggested weighting formulas using CSC (Customer Satisfaction Coefficient) in the Kano model. However, previous research shows that the validity of the CSC approaches has not been proved systematically. The aim of the present study is to address drawbacks of CSC and to develop APC (Average Potential Coefficient), a new approach for weighting of quality attributes. For this, the current study investigated 33 quality attributes of e-learning and conducted a survey of 375 university students for the results of APC, the Kano model, and the direct importance of the quality attributes. The results show that the proposed APC is better than other approaches based on the correlation analysis with the results of direct importance. An analysis of e-leaning's quality perceptions using the Kano model and suggestions for improving e-learning's service quality are also included in this study.
The railroad freight transport has great merits that can transport mass and specific items(dangerous goods), but it takes a long time because of low accessibility to the logistics facility and the complex process of loading freight in middle station. This paper analyzed volumes and characters of each railroad freight item, and was carried out the effect of applying E&S system to Gyeongbu line containers to find the method of reducing transport time and effective container transportation. As a result of Cost-Effectiveness analysis, the block train(B/T) is reducing transport time more about 1~2 hours. The road congestion cost is saving about 2.2 billion won. And due to skipping work of organizing train, personnel and equipment expenses savings expected about 9 billion won. It is expected that the E&S system enhances the container transport service and has an effect positive influence on making a efficient method of transport. But It is necessary to estimate pre-feasibility of applying E&S system that the standard of estimating cost and benefit is required further examination.
Since the 1990s, the domestic fashion industry has been changing rapidly and has become more competitive. Due to these circumstances, the roles of Shop masters were intensified and a training course to acquire a certificate of qualification as a Shop master was in great demand. The 1st Shop master certification exam took place in the year 2001. The purpose of this study was to research the formality of Shop master certificate training courses via e-learning, which is a hot topic in 21st century education, and to provide a development example. First, an analysis was made of the definition and basic characteristics needed of a Shop-master. Next, we noted the problems of former Shop master training facilities and their training process. Thirdly, we did a research on the definition of e-learning and the elements to embody the system. Based on the information obtained through this research, we provided a development example on Shop-master certificate training courses via e-learning that overcame the problems of courses that are currently provided.
자료의 해석과 분석 능력의 범주에 속하는 과학 탐구 문제의 학습에는 관련 탐구능력 보다 과학 개념을, 탐구의 설계 및 수행 능력의 범주에 속하는 과학 탐구 문제의 학습에는 관련 탐구능력과 과학 개념을 강조하는 학습법의 적용이 유효할 것으로 기대된다. 과학 탐구 문제를 해결해 가는 사고 과정을 심층적으로 분석해 보면 현재와 같이 성공자에게는 1점, 실패자에게는 0점을 부여하는 이분법적(dichotomous)인 평가 방법으로는 문제를 해결해 가는 과정이 동일한데도 불구하고 성공자와 실패자를 완전하게 별별하고 있지 못해 과학 교육 활동의 전반적인 정치(replacement) 활동에 문제가 내재할 가능성이 있음을 유추할 수 있다. 따라서 본 연구를 통해 밝혀진 바와 같이 과학 탐구 문제 해결 사고 과정 분석에 의한 제 1유형에는 1점, 제 2유형에는 0.8점, 제 3유형에는 0.6점, 제 4유형에는 0.4점, 제 5유형에는 0.2점, 제 6형에는 0점을 부여하는 대안적 다단계 평가 방법에 대한 이론적 실천적 연구가 필요할 것으로 사료된다.
The World has been rapidly changing into either technological aspects or perception of those who has utilised to the corresponding informational impact. Whatever areas we have actually been involved in are strongly connected with this evolution of informational technology in one way or another. Logistics is not a exception as well as trade. Two main routes in distribution channel such as commercial and physical flow of goods, have been operating in terms of I-business. In order to activate E-trade with E-commerce, E-logistics should be utilised and emphasized in more efficient and effective manner of doing job as a facilitator. So, in this paper, it studied the role of E-logistics to make E-trade better work as well as to look into present situations in E-commerce. Then, it was identified that some facilities as 3PL or shipping company have to adopt information in their business process with a view of valued add service providers. This means those who have implemented E-Logistics activities, should be more competitive in the market, only when they provide the value-added total logistics services.
본 논문에서는 다이아몬드 표면에의 산소흡착을 억제함으로써 양호한 전기적특성을 가지는 다이아몬드 MISFET를 제작하기 위해 초고진공 프로세스(ultrahigh vacuum process)에 의해 A1/Ca $F_2$/diamond MISFET를 제작하였다. 박막반도체 다이아몬드의 표면도전층으로서는 불소종단에 의해 형성되는 표면 도전층을 이용하였다. 초고진공 프로세스에 의해 제작된 A1/Ca $F_2$/diamond MISFET로부터 상용화된 실리콘 MOSFET와 동등한 레벨인~$10^{11}$ /$cm^2$ eV의 저농도의 표면준위밀도가 관측되었고, 유효이동도 $\mu$$e_{ff}$ 는 이제까지 발표된 박막반도체 다이아몬드 FET중 최고치인 300 $cm^2$/Vs 이었다. 본 논문에서는 또한 초고진공 프로세스에 의해 제작된 Al/Ca $F_2$/diamond MISFET를 이용하여 인버터회로(inverter circuit)를 제작하였으며, 고온고주파 환경에서 양호한 전기적 특성을 관찰하였다. 본 논문의 특징은 초고진공 프로세스에 의해 제작된 불소화 다이아몬드 박막반도체 MISFET에 관한 최초의 보고이며, 또한 다이아몬드 박막반도체 MISFET의 인버터회로(inverter circuit)동작에 관한 최초의 보고이다.다.
Although heat treatment is a process of great technological importance in order to obtain desired mechanical properties such as hardness, the process was required a tedious and expensive experimentation to specify the process parameters. Consequently, the availability of reliable and efficient numerical simulation program would enable easy specification of process parameters to achieve desired microstructure and mechanical properties without defects like crack and distortion. In present work, the developed numerical simulation program could predict distributions of microstructure and thermal stress in steels under different cooling conditions. The computer program is based on the finite difference method for temperature analysis and microstructural changes and the finite element method for thermal stress analysis. Multi-phase decomposition model was used for description of diffusional austenite decompositions in low alloy steels during cooling after austenitization. The model predicts the progress of ferrite, pearlite, and bainite transformations simultaneously during quenching and estimates the amount of martensite also by using Koistinen and Marburger equation. To verify the developed program, the calculated results are compared with experimental ones of casting product. Based on these results, newly designed heat treatment process is proposed and it was proved to be effective for industry.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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