한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.745-746
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- 2011
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- 2005-8446(pISSN)
레이저를 이용한 하이브리드 TSV 가공공정에 관한 연구
Study of TSV Drilling using Laser-based Hybrid Process
- 발행 : 2011.06.01