초고집적회로의 커패시터용 PZT박막의 입열 조건에 따른 유전특성 -1- 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 (Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI's capacitor -1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer)
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- 전자공학회논문지A
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- 제32A권12호
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- pp.101-107
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- 1995