기판 열처리가 롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 터치 패널용 유연 ITO 투명 전극의 특성에 미치는 효과 연구 (Effect of Substrate Preheating on the Characteristics of Flexible and Transparent ITO Electrodes Grown by Roll-to-Roll Sputtering for Touch Panel Applications)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제23권4호
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- pp.327-332
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- 2010