GSI급 MOS Transistor 개발을 위한 HEI (High-Energy Ion Implantation) 공정 분석 시뮬레이터 개발 (Development of Analysis Simulation Tool of High-Energy Ion Implantation Process for GSI MOS Transistor)
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- 대한전자공학회:학술대회논문집
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- 대한전자공학회 1999년도 하계종합학술대회 논문집
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- pp.946-949
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- 1999