• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
• /
• 2003.03a
• /
• pp.130-130
• /
• 2003

일반적으로 Indium tin oxide (ITO)는 유기EL 소자 제작 공정에서 필수 불가결한 물질로 알려져 있다. ITO는 정공 수송의 기능을 하게 되는데 정공 주입의 효율을 향상시키기 위해서는 ITO 표면의 저 저항화와 ITO/유기박막 접합계면의 일함수 값의 적절한 균형이 중요하다. 그리고 현재 플라즈마를 이용한 ITO 기판의 세정은 산소 래디칼을 이용하여 표면을 산화하는 방식인 산소 플라즈마를 이용한 세정 방법이 널리 이용되고 있다. 본 연구에서는 ITO 표면의 탄소 오염물을 제거하여 저항특성을 향상시키기 위하여 원거리 산소와 수소 플라즈마 세정을 적용하였고, 그에 따른 탄소를 포함하는 오염물의 제거 효율과 산소와 수소 플라즈마로 처리된 ITO 표면의 특징을 기술하였다. 실험에 사용된 플라즈마 소스는 radio-frequency(RF) 플라즈마이고, 원거리 플라즈마 세정 시스템과 표면 분석 장비인 X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)가 in-situ로 연결되어 있는 진공장비로 분석을 하였다 플라즈마 세정 전에 전처리 세정을 시행하지 알았으며, 세정 후 in-situ XPS에 의해서 화학 조성 및 결합 구조의 변화를 분석하였다. 또한 일함수와 면저항 값을 측정하고 그에 따른 표면의 저항 특성 및 표면 전위에 관하여 세정 효율과 연관지어 해석하였다. 원거리 산소/수소 플라즈마 세정 후 ITO 표면의 탄소오염물이 검출한계 이하로 효과적으로 제거된 것을 in-situ XPS 분석 결과로 확인하였고, 플라즈마 처리 순서 및 플라즈마 파워를 변화하여 그에 따른 표면의 결합 상태 및 화학 조성의 변화를 비교 분석하였다.

• Proceedings of the KSRS Conference
• /
• 1998.09a
• /
• pp.355-360
• /
• 1998

A small package of plasma instruments, Space Physics Sensor, will monitor the space environment and its effects on microelectronics in the low altitude region as it operates on board the KOMPSAT-1 from 1999 over the maximum of the solar cycle 23. The Space Physics Sensor (SPS) consists of two parts: the Ionospheric Measurement Sensor (IMS) and the High Energy Particle Detector (HEPD). IMS will make in situ Measurements of the thermal electron density and temperature, and is expected to provide a global map of the thermal electron characteristics and the variability according to the solar and geomagnetic activity in the high altitude ionosphere of the KOMPSAT-t orbit. HEPD will measure the fluxes of high energy protons and electrons, monitor the single event upsets caused by these energetic charged particles, and give the information of the total radiation dose received by the spacecraft. The continuous operation of these sensors, along with the ground measurements such as incoherent scatter radars, digital ionosondes and other spacecraft measurements, will enhance our understanding of this important region of practical use for the low earth orbit satellites.

• Korean Journal of Materials Research
• /
• v.6 no.7
• /
• pp.661-670
• /
• 1996

리모트 수소 플라즈마를 이용하여 실리콘 웨이퍼 표면 위에 있는 금속불순물의 제거 및 제거기구에 관하여 조사하였다. 실리콘의 표면과 내부분석을 위하여 TXRF(total reflection x-ray fluorescence)와 SPV(surface photovoltage), AFM(atomic force microscope)을 사용하였다. TXRF 분석결과 리모트 수소 플라즈마가 금속오염물질 제거에 상당한 효과가 있는 것으로 나타났다. TXRF분석결과 리모트 수소 플라즈마가 금속오염물질 제거에 상당한 효과가 있는 것으로 나타났다. 리모트 수소플라트마 처리 후 금속오염은 금속원소의 종류에 따라 1010atoms/$\textrm{cm}^2$-1011atoms/$\textrm{cm}^2$수준이었다. SPV분석결과를 보면 수소 플라즈마 처리에 의해 minority carrier 수명이 전반적으로 증가하였다. AFM 분석을 통하여 수소 플라즈마 처리가 표면 손상을 일으키지 않으며 표면의 거칠기에 나쁜 영향을 미치지 않음을 알 수 있었다. 또한 본 실험에서 나타난 결과들을 종합해 볼 때 금속오염물의 제거기구는 자연산화막 혹은 수소로 passivate된 실리콘 웨이퍼 표면을 수소 플라즈마에서 발생된 수소원자가 실리콘표면을 약하게 에칭할 때 떨어져 나가는 'lift-off'가 유력한 것으로 판단된다.

• Journal of the Korean Chemical Society
• /
• v.52 no.1
• /
• pp.57-65
• /
• 2008

are nanometer or micrometer scale vesicles that can be used as drug delivery carriers. However, plain liposomes are plagued by rapid opsonization, making their circulation time in bloodstream be shortened. In this study, model protein, bovine serum albumin (BSA)-coated liposomes were prepared by coating cationic liposomes with BSA molecules at higher pH than isoelectric point of BSA. The BSA molecules coated on the liposomal surface were denatured by thermal treatment at above 60oC. While both plain and cationic liposomes had about mean particle diameter of 1041 nm, BSA-coated cationic liposomes (BCL) had mean particle diameter of 1091 nm. Encapsulation of model drug, doxorubicin (DOX), in liposomes were carried out by using remote loading method and the loading efficiency of DOX to liposomes was about 90%. The mean particle diameter of BCL did not increase in blood plasma and adsorption of plasma protein was much less than plain or cationic liposomes. These results suggest that BCL can be used as a long-circulating liposomes in bloodstream.

• The Korean Journal of Physiology
• /
• v.1 no.2
• /
• pp.157-168
• /
• 1967

The entry of antipyrine and urea from the peritoneal cavity of rabbit into organ tissue and blood plasma was studied. Two hundred mg of antipyrine plus 300 mg of urea in 10 ml Ringer's solution was injected into the peritoneal cavity of anesthetized rabbit. The injection was made from above of a rabbit kept tying right side down and it enabled part of the abdominal organs (liver, intestine, kidney) was immersed in the injected solution and kept high concentration gradient throughout the experimental period. The remaining part of the organs was revered only by a thin film of the test solution. Subsequently, in this part of the organs the concentration gradient of the diffusible substances during entry was presumed to decrease as time elapsed. Four pieces of the liver tissue were taken namely, the right superficial, right deep, left superficial and left deep portions. Two were taken from the small intestine, one from the portion which was immersed in. the fluid and the other from that above the fluid mass. Both kidneys were separately analyzed. As a remote organ the gastrocnemius muscle was taken from the right leg of the animal. The intervals which were the time periods elapsed after injections were 5,7,10,15 or 30 minutes. At each point 5 animals were sacrificed and the concentrations of the test substances in the tissue water were measured. The results obtained were as follows. 1. In the liver the right portion which was immersed in the fluid showed higher concentration if the test substances than the left portion and the superficial region exceeded the deep region. The concentrations diminished as the time elapsed after infusion, particulary in the case of antipyrine, suggesting circulatory removal of the substances. In urea such decreasing tendency of the concentration was not obvious, and suggested slower removal rate of it as compared with that of antipyrine. 2. In the small intestine there was no regional difference in the concentration of the test substances. Because of the intestinal motility different portions of the intestine were seemed to have bathed in the fluid of the same concentration. In general the concentrations in the intestinal wall exceeded those of the liver, suggesting a slower removal rate than in the latter. 3. In the kidney the accumulation of the endogenous urea was predominant, and the accumulating mechanism in the renal tissue went on during the period of the experiment. Therefore it revealed increasing tendencies as the time elapsed. The penetration of the test substances in this organ from the peritoneal cavity seemed to be slower than in other abdominal organs, namely liver or small intestine. Part of the test substances in the kidney were obviously brought by the blood stream. 4. Rapid exponential decay of the concentration of antipyrine and of the osmolality of the peritoneal fluid was attributed to the extensive removal through the whole dimension of the peritoneal surface, and the remote organ such as the gastrocnemius muscle attained a fairly close value to that of the abdominal organs in less than 30 minutes. The factors which related to the absorption rate were discussed. They were the concentration gradient, permeability and the regional perfusion rate.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2010.02a
• /
• pp.128-128
• /
• 2010

중적외선 영역은 장애물에 의해서 파장의 흡수가 거의 일어나지 않기 때문에 적외선 소자에서 널리 이용되고 있다. 현재 대부분의 중적외선 소자에는 HgCdTe (MCT)가 사용되고 있지만, 3성분계 화합물이 가지는 여러 문제를 가지고 있다. 반면에, 2성분계 화합물인 인듐안티모나이드 (InSb)는 중적외선 영역 ($3-5\;{\mu}m$) 파장 대에서 HgCdTe와 대등한 소자 특성을 나타냄과 동시에 낮은 기판 가격, 소자 제작의 용이성, 그리고 야전과 우주 공간에서 소자 동작의 안정성 때문에 HgCdTe를 대체할 물질로 주목을 받고 있다. InSb는 미국과 이스라엘과 같은 일부 선진국을 중심으로 연구가 되었지만, 국방 분야의 중요한 소자로 인식되었기 때문에 소자 제작에 관한 기술적인 내용은 국내에 많이 알려지지 않은 상태이다. 따라서 본 연구에서는 InSb 소자 제작의 기초연구로 절연막과 pn 접합 형성에 대한 연구를 수행하였다. 절연막의 특성을 알아보기 위해, InSb 기판위에 $SiO_2$와 $Si_3N_4$를 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)로 증착을 하였다. 절연막의 계면 트랩 밀도는 77K에서 C-V (Capacitance-Voltage) 분석을 통하여 계산하였으며, Terman method 방법을 이용하였다.[1] $SiO_2$는 $120-200^{\circ}C$의 온도 영역에서 계면 트랩 밀도가 $4-5\;{\times}\;10^{11}cm^{-2}$범위를 가진 반면, $240^{\circ}C$의 경우 계면 트랩 밀도가 $21\;{\times}\;10^{11}cm^{-2}$로 크게 증가하였다. $Si_3N_4$는 $SiO_2$ 절연막에 비해서 3배 정도의 높은 계면 트랩 밀도 값을 나타내었으며. Remote PECVD 장비를 이용하여 $Si_3N_4$ 절연막에 관한 연구를 추가적으로 진행하여 $7-9\;{\times}\;10^{11}cm^{-2}$ 정도의 계면 트랩 밀도 값을 구할 수가 있었다. 따라서 InSb에 대한 절연막은 $200^{\circ}C$ 이하에서 증착된 $SiO_2$와 Remote PECVD로 증착 된 $Si_3N_4$가 적합하다고 할 수 있다. 절연막 연구와 더불어 InSb 소자의 pn 접합 연구를 진행하였다. n-InSb (100) 기판 ($n\;=\;0.2-0.85\;{\times}\;10^{15}cm^{-3}$ @77K)에 $Be^+$이온 주입하여 p층을 형성하여 제작 되었으며, 열처리 조건에 따른 소자의 특성을 관찰 하였다. $450^{\circ}C$에서 30초 동안 RTA (Rapid Thermal Annealing)공정을 진행한 샘플은 -0.1 V에서 $50\;{\mu}A$의 높은 암전류가 관찰되었으며, 열처리 조건을 60, 120, 180초로 변화하면서 소자의 특성 변화를 관찰하였다.

• Analytical Science and Technology
• /
• v.21 no.5
• /
• pp.364-374
• /
• 2008

Antarctic Environmental Monitoring Handbook' was published by COMNAP/SCAR in 2000. The standardized method described in this handbook is recommended for monitoring of antarctic environment. High pressure bomb technique in this guide was used to decompose soil samples. In compliance with this guide book, high pressure bomb technique was applied to decompose the antarctic soil sampled at the King Sejong Station. An Isotope Dilution-Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry (ID-ICP-MS) was applied to determine mass concentrations of Pb, Cu and Zn in the soil. The accuracy in this method was verified by the analysis of certified reference materials (CRM) of NIST 2702 (marine sediment). The analytical results agreed with certified value within the range from 99.5~100.8%. Matrix separation was necessitated for the determination of Cu and Zn by Chelex 100 ion exchange resin. As a result, the average mass concentrations of Pb, Cu and Zn which are suspected to be caused by anthropogenic pollution were 332.9 mg/kg, 95.6 mg/kg and 115.3 mg/kg, respectively. Those for the metals sampled in the soils of the remote regions from the station were 28.1 mg/kg, 101.8 mg/kg and 115.6 mg/kg, respectively.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2015.08a
• /
• pp.141.2-141.2
• /
• 2015

교류임피던스 측정기법을 이용하여 전기화학적으로 외부환경에서 소재 금속까지 물질 및 전하이동에 관한 임피던스 측정이 가능하며 도막의 부식 및 노화정도 및 내식성의 평가가 가능하여 산업체에서 널리 이용되고 있다. RPCS(Remote Plasma Cleaning Source)는 패널 및 반도체 제조공정에서 CVD 증착공정 후 챔버 내부에 입혀지는 Si(실리콘)을 화학적으로 세정하기 위한 F(불소) Radical을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마를 발생시키는 제품이다. RPCS의 바디는 알루미늄을 사용하고 절연 및 플라즈마에 대한 내구성을 확보하기 위해 아노다이징 코팅을 한다. 반응기 내벽의 표면이 공정 플라즈마에 노출될 때 소재는 화학적으로 매우 활성이 높은 라디칼과의 반응뿐만 아니라 이온의 충격을 동시에 받게 되며 이 과정에서 다량의 불소 (Fluorine) 라디칼과 전계에 반응한 이온의 운동에 노출되면서 아노다이징 코팅이 손상되는데 이는 기기의 수명 단축 및 파티클을 발생시키며, Arc의 원인이 되기도 한다. 실제 사용 환경에서는 기기의 분해 없이 아노다이징의 상태를 주기적으로 모니터링 하기가 대단히 어려워, 정기적으로 교체하고 있는 실정이다. 본 연구에서는 RPCS내 발생된 플라즈마 현상을 컨덕터로 활용하여 고주파 리액턴스를 임피던스로 환산하여 아노다이징 코팅의 손상 정도를 진단 및 모니터링하였다. 아노다이징이 손상된 내부 블럭과 정상상태인 내부 블럭의 임피던스를 비교하였고, 아노다이징 두께별 임피던스를 측정하였다. 그 결과 아노다이징 절연막이 손상된 블록의 임피던스가 정상 블록에 비해 낮았으며 두께별 임피던스도 비례함을 알 수 있었다. 향후에는 장기간 현장에서 축척되어진 시험데이터를 바탕으로 아노다이징 코팅의 수명예측진단 시스템을 구축하고자 한다.

• The Korean Journal of Physiology and Pharmacology
• /
• v.8 no.3
• /
• pp.141-146
• /
• 2004

Soluble N-ethylmaleimide-sensitive factor attachment protein receptors (SNARE) proteins, composed of two presynaptic membrane proteins [synaptosomal-associated protein of 25 kDa (SNAP-25) and syntaxin] and a presynaptic vesicular protein [vesicle-associated membrane protein (VAMP)], serve as a core of exocytotic fusion machinery, which can be affected by ischemia. Synaptic protein in core region, striatum and cortex has been shown to alter after focal ischemia, however, little is known in hippocampus. Hippocampus is remote from ischemic core, but it is one of the most vulnerable regions. Using immunohistochemistry, the present study was undertaken to investigate the alteration of expression of SNAP-25, syntaxin, and VAMP in the hippocampus of rats which were subjected to middle cerebral artery occlusion (MCAO) for 2h and allowed to reperfuse. At 2 weeks of reperfusion, the SNAP-25 and syntaxin immunoreactivity was increased in the stratum oriens of the CA1 and the stratum lucidum of the CA3 in the ipsilateral hippocampus. However, VAMP immunoreactivity didn't show significant change. These results demonstrate that the level of the presynatpic plasma membrane proteins (SNAP-25 and syntaxin) in the rat hippocampus is more sensitively affected by focal ischemia than that of the synaptic vesicle protein (VAMP).

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2011.02a
• /
• pp.238-239
• /
• 2011

최근 반도체 산업은 더 높은 성능의 회로 제작을 통해 초고집적화를 추구하고 있다. 이를 위해서 회로 설계의 최소 선폭과 소자 크기는 지속적으로 감소하고 있고 이를 위한 배선 기술들은 플라즈마 공정을 이용한 식각공정에 크게 의존하고 있다. 식각공정에 있어서 반응가스의 조성은 식각 속도와 선택도를 결정하는 중요한 요소이다. 본 연구에서는 CIS QMS (closed ion source quadrupole mass spectrometer)를 이용하여 CF4+Ar를 이용한 실리콘 산화막의 플라즈마 식각 공정 시 생성되는 라디칼과 이온 종들을 측정하였다. Ar 이온이 기판표면과 충돌하여 기판물질간의 결합을 깨놓으면, 반응성 기체 및 라디칼과의 반응성이 커져서 식각 속도를 향상 시키게 된다. 본 실험에서는 2 MHz의 RPS (remote plasma source)를 이용하여 플라즈마를 발생시키고 13.56 MHz의 rf 전력을 기판에 인가하여 식각할 웨이퍼에 바이어스 전압을 유도하였다. CF4/(CF4+Ar)의 가스 혼합비가 커질수록 식각 부산물인 SiF3의 양은 증가 하였으며, CF4 혼합비가 0일 때(Ar 100%) 비하여 1일 때(CF4 100%) SiF3의 QMS 이온 전류는 106배 증가하였다. 이때의 Si와 결합하여 SiF3를 형성하는 F라디칼의 소모는 0.5배로 감소하였다. 또한 RPS power가 800 W일 때 플라즈마에 의해서 CF4는 CF3, CF2, CF로 해리 되며 SiO2 식각 시 라디칼의 직접적인 식각과 Si_F2의 흡착에 관여되는 F라디칼의 양은 CF3 대비 7%로 검출되었고, 식각 부산물인 SiF3는 13%로 측정되었다. Ar의 혼합비를 0 %에서 100%까지 증가시켜 가면서 측정한 결과 F/CF3는 $1.0{\times}105$에서 $2.8{\times}102$로 변화하였다. SiF3/CF3는 1.8에서 6.3으로 증가하여 Ar을 25% 이상 혼합하는 것은 이온 충돌 효과에 의한 식각 속도의 증진 기대와는 반대로 작용하는 것으로 판단된다.