OES 를 이용한 SBT 박막의 식각 메카니즘 연구
(The Study of Etching Mechanism in $SrBi_2Ta_2O_9$ thin film by Optical Emission Spectroscopy)
-
- 한국항해항만학회:학술대회논문집
- /
- 한국항해항만학회 2000년도 추계학술대회논문집
- /
- pp.40-44
- /
- 2000