The resistances of metal2 contact to metall and poly Si are checked by various RF etch conditions in terms of pre-cleaning. The changes of resistance are evaluated by statistical analysis method(SAS) for the AC bias power, coil power and RF target. The contact area on poly Si is shown by TEM image and the distributions of contact resistance according to ar etch target and RTP are investigated. The RTP groups have larger variations than normal RF etch targets. When the RF etch target becomes lower and coil power becomes higher, the resistances of metal2 contact to metals and poly Si have lower contact resistance. But the condition of AC bias power did not satisfied low meta12 contacts resistance for metall and poly Si simultaneously. The R-square of ststistical analysis was 0.98 for resistances of meta12 contact to poly Si and 0.87 for resistances of meta12 contact to metall.
목적: 임상용 MRI에서 마우스 종양의 pH 측정을 위한 $^1H-^{31}P$ RF 코일 시스템을 개발하고 팬텀을 이용하여 pH 값의 정확도를 시험하고자 한다. 대상과 방법: 마우스 종양 연구를 위한 표면형 $^1H$ 및 $^{31}P$ radio frequency (RF) 코일을 개발하였다. 두 코일을 서로 수직이 되도록 설치하여 두 코일간의 상호인덕턴스를 0으로 하였다. 다양한 pH 값을 가진 팬텀으로부터 $^{31}P$ MR 스펙트럼을 얻어 Henderson-Hasselbalch equation을 이용하여 pH를 구하였다. $^{31}P$ 스펙트럼으로부터 얻은 pH값은 pH meter를 사용하여 직접 구한 pH값과 비교한다. 결과: $^1H-^{31}P$ RF 코일 상호간 coil coupling (S12)은 각각 -73.0, -62.3 dB로 충분히 분리 되었다. 균일한 팬텀으로부터 얻은 $^1H$ 영상의 signal-to-noise ratio (SNR)는 약 300 이상이며, in vivo 고해상도 마우스 영상을 얻을 수 있었다. $^1H$ 신호가 분리된 $^{31}P$ MR 스펙트럼으로부터 얻은 pH값은 pH meter로 직접 측정하여 얻은 값과 약 97% 상관관계를 가졌다. 결론: 본 연구에서 개발한 임상 MRI 장비용 $^1H-^{31}P$ RF 코일 시스템으로부터 정확한 pH를 구할 수 있었다. 본 코일 시스템은 31P 이외의 다른 핵 MRS 혹은 MRI에 적용 가능할 것으로 기대된다.
3.0 T 이상의 고자장 MRI의 경우 특히 body 영상에서는 전자기파의 특성상 피촬영체 내부의 자장 불균일도가 매우 심하여 부분적으로 SAR(Specific Absorption Ratio)가 인체 허용치 이상으로 높아지는 경우가 있다. 본 연구에서는 3.0 T Body MRI에서 이와 같은 문제점을 극복하기 위한 병렬전송 고주파 코일 (parallel-transmission radio frequency coil)의 element 구조와 동작 방법을 최적화하고 FDTD 시뮬레이션을 통하여 유용성을 검증토록 하였다. 이를 위해 3가지 형태의 전송 고주파 코일 element에 대하여 여러 가지 parameter를 실험 및 시뮬레이션을 통해 비교하였으며 각각의 element에 독립적으로 공급되는 고주파 펄스는 코일 내부의 피촬영체에 적절한 자장의 크기와 초소의 SAR를 가지면서 자장의 균일도를 향상시키는 방향으로 최적화하였다. 예로 3.0 T Body MRI에서 $25cm{\times}8cm$ 코일 요소를 12 채널로 구성하는 방식의 경우 최적화 이전에는 70% 이상의 자장의 불균일도를 보인 반면 최적화 후에는 26% 이하로 개선시킬 수 있었다. 따라서 본 연구에선 제안된 코일구조는 (초)고자장 MRI에도 유용하게 적용될 것으로 판단된다.
최신 영상 기법인 MAGiC sequence의 RF coil channel 수 변화에 따른 T1, T2 이완 시간 및 T1, T2 이완율을 측정하여 분석하였고 그에 따른 재현성을 평가하였다. Channel 수가 각각 (1, 8, 16, 32)channel 인 RF coil에 조영제 phantom(1.0, 0.6, 0.2, 0mM)을 위치시키고 MAGiC sequence를 이용하여 T1, T2, R1, R2 map을 획득하였다. 그리고 각각의 channel 수와 농도별로 T1, T2, R1, R2 value 그리고 relaxation rate를 측정하였고 이를 기반으로 각 농도에 따른 Relaxivity를 구하였다. 각각의 coil에서 T1, T2, R1, R2 value를 측정한 결과 T1, R1 value는 coil간의 유의한 차이가 없었다(p>0.05). 하지만 T2, R2 value는 유의한 차이가 있는 것으로 나타났다(p<0.05). 사후분석 결과에서는 T2 value의 경우 1 channel coil에서 측정한 결과가 8, 16, 32 channel coil에서 측정한 결과와 유의한 차이가 나타났고(p<0.05) 8, 16, 32 channel coil간의 차이는 나타나지 않았다(p>0.05). R2 value의 경우도 마찬가지로 1 channel coil에서 측정한 결과가 8, 16, 32 channel coil에서 측정한 결과와 유의한 차이가 나타났으며 또한 8 channel coil에서 측정한 결과와 16 channel coil에서 측정한 결과가 유의한 차이가 나타났다(p<0.05). 결론적으로 T1, R1 value는 coil의 channel 수 변화에 따른 차이가 크지 않지만 T2, R2 value는 큰 차이를 나타냈다. 따라서 MAGiC sequence를 이용하여 T2, R2 value를 정량적으로 측정할 경우 재현성을 위해 동일한 channel 수의 coil을 사용해야 할 것으로 사료된다.
In this research, we report the preliminary results of an insertional type parallel transmission (pTx) array that has 7-elements that are placed in the space above a patient table as a transmit (Tx) coil to give an RF transmission ($B_1{^+}$) field for the body object of a 3 Tesla (T) MRI system. In previous research, we have tried to compare the performances of different coil elements and array geometries for a pTx body image. Based on these results, we attempt to obtain a human image with the proposed pTx array. Through the simulation and experimental results, we introduce a possible structure of multi-channel Tx array and verify the utility of a multi-channel Tx body image using $B_1{^+}$ shimming. The insertional pTx array, combined with a receiver (Rx) array coil, provides an enhanced $B_1{^+}$ field homogeneity in a large ROI image as a result of $B_1{^+}$ shimming applied over the full body size object. Through this research, we hope to determine the usefulness of the proposed insertional type RF coil combination for 3 T body imaging.
본 연구는 다양한 원인에 의해 코일 중심에 목적 부위를 위치시킬 수 없을 경우 통계적으로 코일 중심과 신호강도가 동일한 기준 거리를 제시하여 최적의 신호강도를 유지할 수 있는 방안을 마련하고자 하였다. 연구방법은 원통형 fluid 팬텀을 코일 중심에서 상 하 방향으로 1 cm 씩 이동시켜 가면서 10 cm 까지 영상을 획득한 후, 신호강도를 측정하여 비교 평가하였다. 연구결과, T1 강조영상은 코일 중심에서 상방향 4 cm와 하방향 1 cm, T2 강조영상은 상방향 5 cm와 하방향 3 cm 이내일 경우 기준인 코일 중심의 신호강도와 유의한 차이가 없음을 알 수 있었다. 결론적으로 본 연구에서 제시한 기준 거리 이내로 영상화하려는 목적 부위를 위치시킨다면 최적의 신호강도를 유지할 수 있으리라 판단된다.
In this study, microscale, high-performance, solenoid-type RF chip inductors were investigated. The size of the RF chip inductors fabricated in this work was 1.0${\times}$0.5${\times}$0.5㎣. 96% $Al_2$$O_3$and I-type were used as the material and shape of the core, respectively. The copper (Cu) wire with 6 turns was employed as the coils. The diameter (40${\mu}{\textrm}{m}$) and position (middle) of the coil and the length (0.35mm) of solenoid were determined by a high-frequency structure simulator (HFSS) to maximize the performance of the inductors. High frequency characteristics of the inductance (L) and quality-factor (Q) of developed inductors were measured using an RF Impedance/Material Analyzer (HP4291B with HP16193A test fixture). The inductors developed have inductances of 10.8nH and quality factors of 25.2 to 50 over the frequency ranges of 250MHz to l GHz, and show results comparable to those measured for the inductors prepared by CoilCraf $t^{Tm}$ . The simulated data predicted the high-frequency data of the L and Q of the inductors developed well.l.
Radio-frequency (RF) amplifiers based on direct current (DC) superconducting quantum interference device (SQUID) have low-noise performance for precision physics experiments. Gain curves of SQUID RF amplifiers depend on several parameters of the SQUID and operation conditions. We are developing SQUID RF amplifiers for application to measure very weak RF signals from ultra-low-temperature high-magnetic-field microwave cavity in axion search experiments. In this study, we designed, fabricated and characterized SQUID RF amplifiers with different SQUID parameters, such as number of input coil turn, shunt resistance value of the junction and coupling capacitance in the input coil, and compared the results.
A new three-channel surface gradient coil obtained by using numerical optimization and its application to MR computerized nomography are presented. The new surface gradient coil pro aided linear field gradient region more than twice wider compared with the t'irst surface gradi encl coil, removed torque and field offset, and reduced coupling between the surface gradient coil and combined surface rf coil. We realized the new surface gradient coil set with $30{\times}60{cm^2}$2 size, which generated more tharl 4G/cm with 100 amperes over a $4{\times}4{\times}4{cm^3}$ region with good linearity. The optimal geometries of the three-channel surface gradient coil and volun teer's high-resolution in wiuo spinal cord Images obtained by using the optimized surface gradi ent coil set are presented.
Abstract: 현대 질병의 최종진단은 세포수준의 해부형태학적 연구가 일반적이며 광학현미경이나 전자현미경을 이용한 병리조직학적 소견을 바탕으로 진단되어지고 있다. 이러한 진단에는 In vivo 검사가 거의 불가능하여 주로 생검을 통한 연구만 수행되고 있어 진단함에 있어 단계적인 불편이 초래될 뿐만 아니라 악성 종양의 전이를 유발시킬 수 있고 또한 생리 및 생화학적 분석이 어렵다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 고분해능의 RF Surface Coil을 개발하여 In vivo 및 비침습적인 방법인 MR Technology를 이용하고자 한다. Introduction: 피부조직과 같은 미세 인체구조 연구를 위해 고해상도 3T MRI 시스템에 적합한 고분해능의 RF surface coil을 개발하고 있다. In vivo 연구를 위한 여러 parameter를 최적화하여 기능영상에도 부합된다. 비침습적인 In vivo 검사에 의한 세포수준의 극 미세구조의 연구가 가능해짐으로써 과거 시행하던 침습적인 생검없이 각종질환의 진단적 접근이 병리학적 수준으로 향상되어 질병의 정확한 진단이 가능해지게 될 것이다. Method: 고분해능의 RF Surface Coil을 제작하여 3T MR 장비에서 피부 미세구조연구에 보다 적합하도록 In vivo 및 In vitro 실험을 수행하였다. In vitro 실험은 In vivo 연구를 위한 여러 parameter들을 최적화하기 위한 기초 실험을 하였고 다양한 팬톰들을 이용하여 Tl 강조영상, T2 강조영상을 획득하였으며, SNR을 높이기 위한 개선에 대한 연구를 수행하였다. In vivo 실험은 정상피부에서 다양한 부위에 대한 피부영상의 예비 연구를 수행하였다. Result and Discussion: 비침습적인 In vivo 검사에 의한 세포수준의 극 미세구조의 연구가 가능해짐으로써 과거 시행하던 침습적인 생검없이 각종질환의 진단적 접근이 병리학적 수준에서 가능해짐으로써 질병의 정확한 진단이 가능해지게 될 것이다. Acknowledgement: 본 연구는 2002 년도 한국과학재단 목적기초연구사업 (과제번호 : R0l-2002-000-00294-0 (2002)) 지원아래 수행되었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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