RF 스퍼터링으로 증착된 a-Si$_{1-x}$ C$_{x}$ : H 박막의 결합구조와 광학적 성질에 미치는 증착변수의 영향
(Effects of Deposition Parameters on the Bonding Structure and Optical Properties of rf Sputtered a-Si$_{1-x}$ C$_{x}$ : H films)
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- 한국표면공학회지
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- 제25권5호
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- pp.271-281
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- 1992