• Journal of Industrial and Engineering Chemistry
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• 제67권
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• pp.255-265
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• 2018

The huge amount of solvents used in the semi-conductor and display industry typically result in waste of valuable solvents which often form complex azeotropic mixtures. This study explored a recovery process of a quaternary waste solvent, comprising methyl 2-hydroxybutyrate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl lactate, and ethyl-3-ethoxy propionate. In this study, a novel shortcut column method with a graphical approach was exploited for the distillation column design of complex quaternary azeotropic mixtures. As a result, the proposed shortcut method and design procedure solved the complex separation paths successfully with less computational efforts while achieving all requirements for component purity.

• 공업화학
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• 제21권6호
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• pp.616-620
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• 2010

Liquid Crystal Display (LCD) 제조 공정에서 배출되는 폐유기용제에서 Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate (PGMEA)를 회수하여 재활용할 목적으로 다단계 증류탑을 이용하여 실험실적 규모의 증류 실험을 수행하여 최적 환류비를 결정하고자 하였다. 최종실험결과, 시료 A의 경우 PGMEA는 98% 이상, 수분 함량은 0.05% 이하이며, 시료 B의 경우 Reflux ratio를 6으로 한 경우 PGMEA 95% 이상, 수분 함량은 0.01% 이하이다(시료 A, B에 대한 내용은 Table 1에 명시함.). 이 값은 LCD 제조에 재활용할 수 있는 일반 수준인 90%보다 높은 수치로서 적용이 가능하다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제53권2호
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• pp.181-192
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• 2015

본 연구는 Liquid Crystal Display (LCD) 세척 후 발생하는 Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate (PGMEA)폐액 재활용을 위한 2기 증류탑을 사용하는 공정의 최적 조건을 산출하였다. 공정조건 최적화 기법으로 다중회귀분석을 이용하여 1차 증류 시 Bottom 온도(BTM 온도), Reflux 량, Feed 량 및 Feed 온도에 따라 PGMEA 함량에 대한 최적 조건과 2차 증류 시 BTM 온도, Reflux 량, Feed 량에 따른 PGMEA 함량에 대한 최적 조건과 공정인자를 산출하였다. 1차 증류탑의 공정인자 중 Reflux 량, Feed 온도 및 Feed 량이 중요한 인자로 산출되었다. 본 연구의 공정조건 범위에서는 BTM 온도범위가 PGMEA함량에 크게 영향을 주지 못하였다. 따라서 최적 공정 조건은 Feed 량 $5,700{\ell}$, Reflux 량 $2,500{\ell}$, BTM 온도 $165^{\circ}C$ 및 Feed 온도 $130^{\circ}C$이며 이때 예측된 PGMEA 함량은 92.12~94.62%로 산출되었다. 2차 증류탑에서는 Reflux 량이 함량에 많은 영향을 미치고 있으며, Feed 량과 BTM 온도도 영향을 미치는 인자로 산출되었다. 다중공선성(Multicollinearity)이 Reflux 량과 BTM 온도 간에 강한 양의 상관관계가 있어, 두 인자 중 다중회귀식에 영향이 지배적인 인자 하나를 선택하였으며, 최적조건은 BTM 온도 $199^{\circ}C$ 기준에서 최적 공정 조건은 Feed 량 $4,275{\ell}$ 및 Reflux 량 $6,200{\ell}$이며, 이때 예측 PGMEA 함량은 99.0~99.5%로 산출되었다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제12권4호통권37호
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• pp.359-363
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• 2005

유기 박막트랜지스터 (OTFT)를 제작하기 위하여 게이트 절연막으로서 PVP 계통의 유기막을 갖는 MIM(metal-insulator-metal)구조의 유기 절연층 소자를 제작하였다. 유기 절연층의 형은 ITO/Glass 기판위에 polyvinyl 계열의 PVP(poly-4-vinylphenol)를 용질로, PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate)를 용매로 사용하여 co-polymer PVP를 제조하였다. 또한 열경화성 수지인 poly(melamine-co-formaldehyde)를 경화제로 사용하여 cross-linked PVP 절연막을 합성하였다. 유기 절연층의 전기적 특성은 co-polymer PVP 소자에 비해 cross-link 방식으로 제조된 소자에서 약 300 pA의 낮은 누설전류와 상대적으로 낮은 잡음전류의 특성을 나타내었다. 또한 cross-linked PVP 절연막에서 보다 양호한 표면형상 (거칠기)이 관찰되었으며 정전용량 값은 약 0.11${\~}$0.18 nF의 값을 나타내었다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제14권1호
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• pp.27-31
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• 2007

휨성 유기박막트랜지스터(organic thin film transistor, OTFT)를 제작하기 위하여 게이트 절연막으로 PVP(poly-4-vinylphenol) 유기막을 이용하여 MIM (metal-insulator-metal) 구조의 캐패시터 소자를 제작하였다. 유기 절연층의 형성은 Al/PES (polyethersulfone) 기판과 ITO/Glass 기판 위에 PVP를 용질로, PGMEA(propylene glycol monomethyl ether acetate)를 용매로 사용하였다 또한 열경화성 수지인 poly(melamine-co-(ormaldehyde)를 사용하여 cross-linked PVP 절연막을 합성하여 스핀코팅법으로 소자를 형성하였다. 제작된 소자에 대해 절연막 두께와 기판 종류에 따른 전기적 특성을 조사한 결과 Al/PES 기판을 사용하였을때 누설전류는 1.3 nA로 ITO/glass 기판을 사용했을때의 27.5 nA보다 크게 개선되었다. 또한 제작된 모든 캐패시터 소자의 정전용량은 $1.0{\sim}1.2nF/cm^2$ 범위로 나타났으며 계산값과 매우 유사한 결과를 얻을 수 있었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2011년도 제42회 하계학술대회
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• pp.1700-1701
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• 2011

본 논문에서는 게이트 절연막인 poly(4-vinylphenol) (PVP) 용제 농도 변화에 따른 유기 박막 트랜지스터를 제작하고 그 특성을 분석하였다. PVP는 propylene glycol monomethyl ether acetate(PGMEA) 와 poly melamine-co-formaldehyde (CLA)를 혼합하여 cross linked PVP를 만들어 사용하였다. Cross-liked PVP의 CLA 농도 비율을 각각 6 wt%, 9 wt%로 변화시켜 유기 박막 트랜지스터를 제작하고 소자의 전기적 특성을 분석 하였다.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
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• pp.218-220
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• 2007

유기박막트랜지스터(organic thin film transistor, OTFT)의 게이트 절연막으로 PVP(poly-4-vinylphenol) 물질을 이용하여 MIM (metal-insulator-metal) 구조의 캐패시터 소자를 제작하였다. 유기 절연층의 형성은 ITO/Glass 기판 위에 PVP를 용질로, PGMEA(propylene glycol monomethyl ether acetate)를 용매로 사용하였다. 또한 열경화성 수지인 poly(melamine-co-formaldehyde)를 사용하여 cross-linked PVP 절연막을 합성하여 스핀코팅법으로 소자를 형성하였다. 제작된 소자에 대해 절연막 두께에 따른 전기적 특성을 조사한 결과 300 nm 에서 500 nm로 두께가 증가할수록 누설전류는 10.69 nA 에서 0.1 nA 로 크게 감소하였다. 또한 캐패시터 소자의 정전용량은 300 nm 의 두께에서 1.05 nF 으로 500 nm 의 두께에서의 0.65 nF 과 비교하여 보다 양호한 특성이 나타났다.

• 한국염색가공학회지
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• 제30권3호
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• pp.159-167
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• 2018

Here we designed and synthesized new zinc phthalocyanines and structures were fully confirmed by spectral and elemental analysis. All phthalocyanines have a very good solubility in industrial solvents like chloroform, dichloromethane, dimethyl sulfoxide, N,N-dimethyl formamide, propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA), acetone, tetrahydrofuran and acetonitrile. UV-Visible absorption and transmittance in PGMEA showed that these dyes have suitable spectral properties for LCD color filters. By Triton X surfactant study, we confirmed that these dyes are not showing any aggregation in PGMEA. We dissolved the all phthalocyanines in LCD fabricating solvent (PGMEA), and all phthalocyanines showed more than 8 wt% of solubility. Finally, all of these results concluded that PCK1, PCK2 and PCK3 are fit for LCD green color filter.

• Safety and Health at Work
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• 제2권1호
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• pp.39-51
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• 2011

Objectives: This study was designed to evaluate exposure levels of various chemicals used in wafer fabrication product lines in the semiconductor industry where work-related leukemia has occurred. Methods: The research focused on 9 representative wafer fabrication bays among a total of 25 bays in a semiconductor product line. We monitored the chemical substances categorized as human carcinogens with respect to leukemia as well as harmful chemicals used in the bays and substances with hematologic and reproductive toxicities to evaluate the overall health effect for semiconductor industry workers. With respect to monitoring, active and passive sampling techniques were introduced. Eight-hour long-term and 15-minute short-term sampling was conducted for the area as well as on personal samples. Results: The results of the measurements for each substance showed that benzene, toluene, xylene, n-butyl acetate, 2-methoxy-ethanol, 2-heptanone, ethylene glycol, sulfuric acid, and phosphoric acid were non-detectable (ND) in all samples. Arsine was either "ND" or it existed only in trace form in the bay air. The maximum exposure concentration of fluorides was approximately 0.17% of the Korea occupational exposure limits, with hydrofluoric acid at about 0.2%, hydrochloric acid 0.06%, nitric acid 0.05%, isopropyl alcohol 0.4%, and phosphine at about 2%. The maximum exposure concentration of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) was 0.0870 ppm, representing only 0.1% or less than the American Industrial Hygiene Association recommended standard (100 ppm). Conclusion: Benzene, a known human carcinogen for leukemia, and arsine, a hematologic toxin, were not detected in wafer fabrication sites in this study. Among reproductive toxic substances, n-butyl acetate was not detected, but fluorides and PGMEA existed in small amounts in the air. This investigation was focused on the air-borne chemical concentrations only in regular working conditions. Unconditional exposures during spills and/or maintenance tasks and by-product chemicals were not included. Supplementary studies might be required.

• 한국재료학회지
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• 제16권5호
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• pp.302-307
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• 2006

The formation and processing of organic insulators on the device performance have been studied in the fabrication of organic thin film transistors (OTFTs). The series of polyvinyls, poly-4-vinyl phenol(PVP) and polyvinyltoluene (PVT), were used as solutes and propylene glycol monomethyl ether acetate(PGMEA) as a solvent in the formation of organic insulators. The cross-linking of organic insulators was also attempted by adding the thermosetting material, poly (melamine-co-formaldehyde) as a hardener in the compound. The electrical characteristics measured in the metal-insulator-metal (MIM) structures showed that insulating properties of PVP layers were generally superior to those of PVT layers. Among the layers of PVP series: PVP(10 wt%) copolymer, 5 wt% cross-linked PVP(10 wt%), PVP(20 wt%) copolymer, 5 wt% cross-linked PVP(20 wt%) and 10 wt% cross-linked PVP(20 wt%), the 10 wt% cross-linked PVP(20 wt%) layer showed the lowest leakage current characteristics. Finally, inverted staggered OTFTs using the PVP(20 wt%) copolymer, 5 wt% cross-linked PVP(20 wt%) and 10 wt% cross-linked PVP(20 wt%) as gate insulators were fabricated on the polyether sulphone (PES) substrates. In our experiments, we could obtain the maximum field effect mobility of 0.31 $cm^2/Vs$ in the device from 5 wt% cross-linked PVP(20 wt%) and the highest on/off current ratio of $1.92{\times}10^5$ in the device from 10 wt% cross-linked PVP(20 wt%).