• 전자공학회논문지SC
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• 제45권6호
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• pp.16-25
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• 2008

미세 탐침이란 프로브 카드(Probe Card)를 구성하는 초미세탐침을 의미한다. 이러한 미세 탐침은 그 크기가 상당히 미세하기 때문에 외관 이상 유무를 사람의 눈으로 검사하기가 상당히 어렵다. 반면, 프로브카드를 구성하는 미세 탐침의 이상 유무는 상당히 중요한 요소라고 볼 수 있다. 이에 본 연구에서는 사람의 눈으로 검사하기 어려운 미세 탐침의 불량 상태를 자동화된 비전 시스템으로 검사할 수 있는 방법을 개발하였다. 즉 탐침의 구부러진 각도, Tip Length, 종단 직경을 고속으로 자동 검사할 수 있는 비전 기술을 개발한 것이다 제안한 방법에 의한 실험결과, 사람의 육안에 위한 검사보다 검사의 정확도와 속도가 향상되었으며, 또한 조명환경에 대해서도 강건성(robustness)이 향상되었음을 알 수 있었다.

• 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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• 한국조명전기설비학회 2008년도 추계학술대회 논문집
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• pp.367-370
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• 2008

In this paper, the effects of the position and the angle of the auxiliary probes on the measurements of the low frequency ground impedance with the fall-of-potential method are described iud the testing techniques to minimize the measuring errors are proposed. The fall-of-pot ential method is theoretically based on the potential and current measuring principle and the measuring error is primarily caused by the position and angle of auxiliary probes. In order to analyze the characteristics of ground impedance due to the location of the potential probe, ground impedances were measured in case that the distance of current probe was fixed at 50[m] and the distance of potential probe was located from 10[m] to 50[m]. Also, the potential robe was located at 30[$^{\circ}$], 40[$^{\circ}$], 60[$^{\circ}$], 90[$^{\circ}$], and 180[$^{\circ}$]. The results could be help to determine the location of potential probe when the ground impedance was measured at grounding system.

• 비파괴검사학회지
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• 제32권2호
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• pp.185-191
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• 2012

일반적으로 위상배열 초음파검사 기법을 이용한 배관 용접부검사에서는 높은 검사 각도를 효과적으로 발생하기 위하여 ��지를 사용하게 된다. 그러나 용접부 또는 접근이 제한된 부위에 대한 검사는 위상 배열 초음파 탐촉자에 ��지를 부착하게 되면 ��지의 전단 길이로 인하여 검사체적을 포함하지 못하는 등의 문제점이 발생하게 된다. 따라서 ��지를 사용하지 않고 높은 검사 각도를 발생할 수 있는 횡파 위상배열 초음파 탐촉자를 적용해야 할 필요성이 있다. 본 연구에서는 굴절각도가 높은 횡파를 발생할 수 있는 위상배열 초음파 탐촉자를 설계하고 제작하여 다양한 깊이의 EDM 노치가 가공된 시험편에서 결함이 정확하게 검출되고 평가될 수 있는 지를 확인하였다. 결과적으로 본 연구에서 설계된 횡파 위상배열 초음파 탐촉자는 다양한 깊이의 결함을 검출하고 신뢰성 있는 정밀도를 나타내었으므로 향후 접근제한이 예상되는 발전설비 구조물의 검사에 적용된다면 효과적인 검사 결과를 보여줄 것으로 기대된다.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• 제20권2호
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• pp.116-116
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• 1996

This paper is concerned with a method for calibrating five-hole probes of both angle-tube and prismatic geometries to measure local total and static pressures and the magnitude and direction of the mean velocity vector. Descriptions of the calibration technique, the typical calibration data, and an accompanying discussion of the interpolation procedure are included. The flow properties are determined explicitly from measured probe pressures using calibration data. Flow angles are obtained within the deviation angle of 1.0 degree and dynamic pressures within 0.03 with 95% certainty. The variations in the calibration data due to Reynolds number are also discussed. For the range of Reynolds number employed, no effect was detected on the pitch, yaw and total pressure coefficients. However, the static pressure coefficient showed change to cause minor variations in the magnitude of the calculated velocity vector. To account for these variations, average correction factors need to be incorporated into the static pressure coefficient.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• 제20권2호
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• pp.48-56
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• 1996

This paper is concerned with a method for calibrating five-hole probes of both angle-tube and prismatic geometries to measure local total and static pressures and the magnitude and direction of the mean velocity vector. Descriptions of the calibration technique, the typical calibration data, and an accompanying discussion of the interpolation procedure are included. The flow properties are determined explicitly from measured probe pressures using calibration data. Flow angles are obtained within the deviation angle of 1.0 degree and dynamic pressures within 0.03 with 95% certainty. The variations in the calibration data due to Reynolds number are also discussed. For the range of Reynolds number employed, no effect was detected on the pitch, yaw abd total pressure coefficients. However, the static pressure coefficient showed change to cause minor variations in the magnitude of the calculated velocity vector. To account for these variations, average correction factors need to be incorporated into the static pressure coefficient.

• Applied Science and Convergence Technology
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• 제23권5호
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• pp.240-247
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• 2014

Modelling and measurements of normal and lateral stiffness for atomic force microscopy (AFM) are presented in this work. Important issues, such as element discretisation, stiffness calibration, and deflection angle are explored using the finite element (FE) model. Elements with various dimension ratios are investigated and comparisons with several mathematical models are reported to verify the accuracy of the model. Investigation of the deflection angle of a cantilever is also shown. Moreover, AFM force measurement experiments with conical and colloid probe tips are demonstrated. The relationships between force and displacement, required for stiffness measurement, in normal and lateral directions are acquired for the conical tip and the limitations of the colloid probe tip are highlighted.

• 자연과학논문집
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• 제12권1호
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• pp.49-59
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• 2002

펌프광과 조사광이 공간적으로 떨어져 있는 경우에 포화흡수 분광신호가 지수함수적으로 감소하는 이유를 설명하였다. 수파수 안정화에 이용되는 차동포화흡수 분광신호에서 최대의 신호광에 대한 이론적으로 계산한 결과 최적 각도는 세슘원자는 $1.33^{\circ}$이고, 루비듐$87^{\circ}$은 경우 $1.08^{\circ}$이었으며, 실험결과와 일치하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.296-296
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• 2012

LCD panel 검사를 위한 Probe unit은 대형 TV 및 모바일용 스마트폰을 중심으로 각광을 받고 있는 소모성 부품으로 최근 pitch의 미세패턴화가 급속히 진행되고 있다. 본 연구에서는 Slit Wafer 제작 공정을 최적화하기 위해 25 um pitch의 마스크를 설계, 제작하였다. 단공과 장공을 staggered 형태로 배열하여 25 um/25 um line/space pitch로 설계하였다. 또한 단위실험을 위해 직접 25 um pitch로 설계하여, 동일한 실험조건을 적용하여 최적 조건을 찾고자 하였다. 반응변수는 Etch rate 및 profile angle로 결정하였으며, 약 200~400 um 에칭된 slit의 상단과 하단의 폭, 그리고 식각깊이를 SEM 측정사진을 통해 정한 후 etch rate 및 profile angle을 결정하였다. 인자는 식각속도 및 wall의 각도를 결정하는 식각 및 passivation 가스의 유량, chamber 압력(etching/passivation), 식각시간 등으로 정하였으며, 이들의 최대값과 최소값 2 수준으로 실험계획을 설계하였다. 식각 조건에 따라 8회의 실험을 수행하였다. 가스의 유량은 SF6 400 sccm, C4F8 400 sccm, 식각 싸이클 시간은 5.2~10.4 sec, passivation 싸이클시간 4 sec로 하였으며, 압력은 식각시 7.5 Pa, passivation 시 10 Pa로 할 경우가 가장 sharp하게 나타났다. Coil power 와 platen power는 각각 2.6 KW, 0.14 KW로 하였으며, 최적화를 위한 인자의 값들은 이 범위에서 조절하였다. 이러한 인자의 조건 조절을 통해 etch rate는 5.6 um/min~6.4 um/min, $88.9{\sim}89.1^{\circ}$의 profile angle을 얻을 수 있었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
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• pp.593-594
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• 2008

• International Journal of Aeronautical and Space Sciences
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• 제10권2호
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• pp.43-51
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• 2009

In the flight of air vehicles, accurate air data information is required to control them effectively. Especially, helicopters are often put in drastic motion involved with high angle of attacks in order to perform difficult missions. Among various sensors, the multi function probe (MFP) has been used in the present study mainly owing to its advantages in structural simplicity and capability of providing various information such as static and total pressure, speed, and pitch and yaw angles. In this study, a five-hole multi-function probe (FHMFP) is developed and its calibration is conducted using multiple regressions. In this work a calibration study on the FHMFP, an air data sensor for helicopters, is reported. It is shown that the pitch and yaw angles' accuracy of calibration is ${\pm}0.91^{\circ}$ at a cone angle of $0^{\circ}{\sim}30^{\circ}$ and ${\pm}2.0^{\circ}$ at $30^{\circ}{\sim}43^{\circ}$, respectively, which is summarized in table 3.