A Study on the Effect of Process Pressure on AZO Thin Films Sputtered for the Windows Layers of CIGS Solar Cells (CIGS 태양전지의 윈도우 층에 적용 가능한 스퍼터링으로 증착한 AZO 박막의 공정압력의 영향에 따른 특성 연구)
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- Journal of the Semiconductor & Display Technology
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- v.16 no.2
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- pp.89-93
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- 2017