Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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2005.05a
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pp.125-128
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2005
The equipments in semi-conductor, display and measurement fields require high precision and resolution positioning technology. High positioning control can be carried out by using linear motors with little vibration, backlash and friction. In this paper, the acceleration patterns of the moving Part are analyzed to obtain the optimum pattern which leads to the less vibration reduction of equipment. In addition, the effect of friction force in guide rail on position control accuracy is investigated to identify possibility of using current bearing system for nano-positioning control.
Our goal is the development of a system that estimates the location of interested point in a room with accuracy and low cost. Non-contacting position estimating method is widely used in various areas. Among these methods, acoustic signal-based method is the cheapest and provides reasonably accurate estimation as a result of many research efforts. Most of the acoustic-signal-based three-dimensional location estimators such as 3D sonic digitizer are using the ultrasound, and are organized with two procedures; time-of-flight (TOF) estimation and localization estimation. Since the errors in estimating the TOF could be accumulated with that of localization estimate, accuracy of TOF estimate is as...
The purpose of this paper is a fuzzy logic controller for XY positioning system. The overall control system consists of three parts, the position controller, the speed controller, the fuzzy logic controller. Precise tracking is achieved by fuzzy logic controller. In practice, such systems contain many uncertainties. Therefore, the XY positioning system must receive and evaluate the motion of all axis for a better contouring accuracy. Cross coupled controller utilizes all axis position error information simultaneously to produce accurate contours. However, the existing Cross coupled controllers cannot overcome friction, backlash and parameter variation. So, we propose a fuzzy logic controller of XY positioning system. Experimental results show that the proposed fuzzy logic controller is effective to improve the contouring accuracy of XY positioning system.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.14
no.9
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pp.68-79
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1997
A six DOF fine manipulator based on magnetic levitation is developed. Since most of magnetic levitation system are inherently unstable, a proposed magnetically levitated fine manipulator is implemented by use of an antagonistic structure to increase stability. From mathematical modeling and experiment, the equations of motion are derived. In addition, a six DOF sensing system is implemented by use of three 2-axis PSD sensors. A model reference-$H_{\infty}$ controller is applied to the system for the position control, In application of the fine manipulator, a wafer probing system is proposed to identify nonfunctional circuts. The probing system requires compliance to avoid destruction of DUT(device under test). A feedfor- ward-PD controllers are presented by the terms of the position accuracy, the settling time and the force accuracy.y.
Kim, Cheol-Am;Lee, Eun-Chul;Kim, Soo-Hyun;Kim, Nak-Kyo;Nam, Moon-Hyun
Proceedings of the KIEE Conference
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1992.07a
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pp.242-244
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1992
Conventionally in the industrial control, PlD controller has been used because of its robustness, and nonlinear characteristic of a system under control. Although the PlD controller produce suitable parameter of the each system and also variable of PlD controller should be changed according to environment, disturbance, load. In this paper, the convergence and learning accuracy of the back-propagation(BP) method in neural network are investigated by analyzing the reason for decelerating the convergence of BP method. and examining the rapid deceleration of the convergence when the learning is executed on the part of sigmoid activation function with the very small first derivative. The modified logistic activation function it proposed by defining the convergence factor based on the analysis and applied to the position and speed control of a DC-servo motor. This paper revealed for experimental, a neural network and a PD controller combined off-line system using developed the position and speed characteristics of a DC-servo motor.
To control depth of tractor implement, an automatic depth control system based upon microcomputer was developed. This system consists of data aquisition system to measure and to record travel speed, draft and depth of the implement, hydraulic system to control the implement depth and 3-point hitch to attach the implement. Program, written in C language, was able to select position control, draft control and mixed control. To analyze parameters affecting this system, the performance of the system was evaluated through use of computer simulation and verified in soil bin experiments. 3-point hitch was lifted by hydraulic pressure and lowered by implement weight. Dead band was one of the important factors which affect the stability and the accuracy of the system. The system became unstable when the flow rate was increased or when the dead band was decreased. The position control mode with on-off control showed the great ability to control the implement at the given plowing depth. With the draft control, the tractor load could be reduced, however the plowing depth was changed unexpectedly when the soil was hard and inconsistent. The mixed control could improve the performance of the system to maintain the plowing depth without overload of the tractor.
With advances in autonomous vehicles, there is a growing demand for more accurate position estimation. Especially, this is a case for a moving robot for the indoor operation which necessitates the higher accuracy in position estimation when the robot is required to execute the task at a predestined location. Thus, a method for improving the position estimation which is applicable to both the fixed and the moving object is proposed. The proposed method exploits the initial position estimation from Bluetooth beacon signals as observation signals. Then, it estimates the gravitational acceleration applied to each axis in an inertial frame coordinate through computing roll and pitch angles and combining them with magnetometer measurements to compute yaw angle. Finally, it refines the control inputs for an object with motion dynamics by computing acceleration on each axis, which is used for improving the performance of Kalman filter. The experimental assessment of the proposed algorithm shows that it improves the position estimation accuracy in comparison to a conventional Kalman filter in terms of average error distance at both the fixed and moving states.
A recent development in the Flat Panel Display(FPD) industry requires an auto-alignment system which is operated in high speed and high precision. In the FPD production process, aligning photo-mask with respect to guide mark printed in the glass should be accomplished in the accuracy of sub-micron order. So the system has high bandwidth and needs a dedicated control system which is fast and robust enough to control linear motors in precise manner. Proposed auto-alignment system structure in this presentation which consists of the master controller board, the DSP position controller board which controls 3 axis precision linear motors, the servo system and the man machine interface software. Designed and tuned under repeated experiments, the proposed system showed a reasonable performance in the aspect of rise time and steady state error.
Unbalance analysis is essential in the rotor system. However, some problems still remain in the aspects of computational efficiency and accuracy. In the present paper a new method is proposed for estimating the mass unbalance of a rotating shaft by using the vibration signals. This is an advanced new method for the detection of a mass unbalance and its phase position. Based on the signal processing with FFT, an estimator is designed to detect the mass of unbalance. And an improved Lissajous diagram is also introduced with statistical analysis, which make it possible to compute the phase position of the mass unbalance efficiently and arranged at a certain location of the shaft. The proposed method is demonstrated and validated through several test examples.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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