$O_2$ /$SF_6$ /$CH_4$ 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각
-
- 한국재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국재료학회 2008년도 추계학술발표대회 및 제15회 신소재 심포지엄
- /
- pp.29.1-29.1
- /
- 2008