Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

$O_2$/$SF_6$/$CH_4$ 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각

  • 박연현 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 주영우 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 김재권 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 노호섭 (인제대학교 나노시스템공학과) ;
  • 조관식 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 이제원 (인제대학교 나노공학부)
  • Published : 2008.11.07
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Abstract

Keywords