Optical Emission Spectra 신호와 다변량분석기법을 통한 Fluorocarbon에 의해 오염된 반응기의 RF 플라즈마 세정공정 진단 (RF Plasma Processes Monitoring for Fluorocarbon Polluted Plasma Chamber Cleaning by Optical Emission Spectroscopy and Multivariate Analysis)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
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- pp.242-243
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- 2015