유도 결합 플라즈마($Cl_2/Ar$ )를 이용한 $CeO_2$ 박막의 식각 특성 연구
(A Study on the Etching Characteristics of $CeO_2$ Thin Films using inductively coulped $Cl_2/Ar$ Plasma)
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- 한국항해항만학회:학술대회논문집
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- 한국항해항만학회 2000년도 추계학술대회논문집
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- pp.29-32
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- 2000