Rotary ultrasonic motors are based on the traveling wave generated by piezo materials attached on the stator. Large scale model of an annular ring was built to understand the fundamental mechanism involved in the rotary ultrasonic motors. Traveling wave on the structure can be generated by superposing two standing waves. Precise matching of the amplitudes and phase shift between two standing waves in time and space is the key to the success of generating a traveling wave.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2009.11a
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pp.109-109
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2009
This paper represented driving characteristic of a thin-type ultrasonic motor by fabricating and utilizing two kinds of drivers which could generate sinusoidal wave, square wave, respectively. A thin brass plate was used as a cross shaped vibrator and sixteen ceramic plates were attached on upper and bottom side of the brass plate. From the thin stator, elliptical displacements of the four contact tips were obtained. Speed, torque, and current were measured by applying sinusoidal waves through driving equipment such as function generator, power amplifier: to measure characteristic of the motor. As a result, the speed and the torque changed linearly at either driving frequency of 88.6 ~ 87.6[kHz] or voltage of 24~36[V]. Two-drivers which generate sinusoidal waves and square waves were designed respectively, and then were compared through some experiments in order to be put to practical use. In conclusion, the drivers had similar characteristic of speed-torque at similar frequency and voltage. It was able to control the motor linearly by using the driver generating square wave among two-drivers. Besides, it also was possible to make the drivers smaller.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2010.06a
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pp.320-320
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2010
In the case of existing ultrasonic motors, they have characteristics such as outstanding response speed, speed and high efficiency. However, it's very hard to use practically them as small motors due to complicated structure and expensive cost. This paper proposed v-type ultrasonic linear motor. Stator of the motor is composed of thin elastic body and four ceramics attached to upper and bottom areas of the body. The ceramics have each direction of polarization. When two harmonic voltages which had $90^{\circ}$ phase difference were applied to the ceramics, the symmetric and anti-symmetric displacements were generated at the tip to make the elliptical motion. To find out a model that generates maximum displacement at contact tip, FEM program was used with change of leg-angle. In addition, optimal model was chosen by considering magnitude and shape of displacement according to change of frequency.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.11a
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pp.192-192
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2008
This paper represents a piezoelectric ultrasonic linear motor by traveling wave. The motor which is composed of two piezo ceramics, elastic body, and connecting tip is driven by the frictional force between the connecting tip and the linear motion guide. longitudinal and flexural vibrations are made by traveling wave which is generated when the ultrasonic electrical signals with 90 degree phase difference are applied to two ceramics. These vibrations contribute to elliptical motion by mixed mode between longitudinal and transverse mode. A linear movement can be easily obtained by using the elliptical motion. In this paper, the piezoelectric actuator has been intensively simulated by using ATILA to achieve an optimized elliptical motion of it. We could get the elliptical motion from actual experiment through the simulated result.
The ultra precision linear stage is an essential device in the fields of MEMS and Bio technology. A piezo electric motor is widely used for its better linear characteristics, faster response time, and smaller size than conventional electro-magnetic actuator. We develop a new inchworm type motor to implement an actuator-integrated a long stroke linear stage which can move fast. To implement a servo system, we use a heterodyne interferometer as a position sensor, and we propose a new measurement technique using I/Q demodulator, and we propose a counting method to measure the position of fast moving object with low cost circuitry. The characteristics of the actuator and servo system are evaluated by measuring its displacement with a commercial laser interferometer.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.24
no.11
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pp.2723-2731
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2000
Ultrasonic motors(USM) has been emerging as one type actuators, which possess many advantages such as high torque, low weight, compact size and no magnetic field generation. In spite of these features, there are several problems to be solved, which are temperature rise in case of long term operation, non -linearity, and hysteresis. Among these, hysteresis cause the most serious problem in force/torque control applications. To cope with this paper we propose a new PWM driving method which can be applied to force/torque control applications. To cope with this problem, in this paper we propose a new PWM driving method which can applied to force/torque control of USM. To verify the proposed method, an experimental setup was built and several experiments were performed.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2001.11a
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pp.414-417
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2001
Recently, developments of device using characteristics of ceramics as a new technical material is in progress. While doing so, Ultrasonic motor which is a part of research & flat-type $L_1-B_8$ mode Ultrasonic motor and measured the operation characteristics of its. The size of USM is 80*20*1.5[$mm{^1}$](length*width*thickness) and is constructed with stator by piezo-ceramics and stainless elastic body and rotator by bearings. As results of experiments, the fastest speed of revolution($\upsilon$), the maximum torque(T) and the efficiency($\eta$) were 37.5[cm/sec], 5.0[mN$\cdot$M] and 1.17[%] respectively when 27.9[kHz], 150[gf], 50[V] were applied. SO, we think this flat-type $L{_1}-B{_8}$ mode Ultrasonic motor is able to be used for applications in forwarding device of a paper or electric card so on. Key Words: Flat=type $L{_1}-B{_8}$ mode Ultrasonic Motors, Piezoelectric ceramics, forwarding device.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.27
no.5
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pp.286-291
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2014
In this study, novel ultrasonic rotary motor of hexadecagon shape stator was proposed. Stator of the hexadecagon ultrasonic motor was composed of an elastic ring and ceramics. The elastic ring had sixteen sides and sixteen angular points. Eight ceramics were attached on the outer surface of the eight sides of the ring. When rotor of cylindrical shaft was inserted inside of the ring stator, central lines of the sixteen sides of the stator hold the shaft by the slight pressures(frictions). This slight pressure was a preload of the motor and it could be controlled by radius and thickness of the ring. When two sinusoidal voltages which have 90 degree phase difference were applied to each four ceramics, elliptical displacements of inner surface of the ring were obtained. These elliptical displacements of the inner surface rotated the shaft rotor through the frictions. The proposed hexadecagon ultrasonic motor was designed and analyzed by using the finite element method (FEM), depending on materials of the elastic ring. Based on the FEM results, one model of motor which showed maximum displacement at contact points was chosen and fabricated. And characteristics of the motor were compared with simulated results. When the motor was fabricated with these results, EL20ET0.5CT0.5CW2 model showed 115[rpm] speed about input voltage of 60[Vrms] at 65.6[kHz]. And the maximum torque of 6[gfcm] was obtained. From these results, the hexadecagon shaped ultrasonic motor can be used to actuator for optical device which needs detailed position control. Also it can be used to medical and portable device by reducing size and weight.
Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering
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v.27
no.10
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pp.552-557
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2015
The nanostereolithography process using a femtosecond laser has been shown to have strong merits for the direct fabrication of 2D/3D micro structures. In addition, a femtosecond laser provides efficient tools for precise micromachining owing to the advantages of a small and feeble heat effect zone. In this paper, we report an effective fabrication process of 3D micro optical and fluidic devices using nanostereolithography process composed of a dual stage system. Process conditions for additive and subtractive fabrication are examined. The Piezo stage scanning system is used for 3D micro-fabrication in unit area of sub-mm scale, and the motor stage is employed in fabrication on the scale of several mm. The misalignment between the pizeo- and motor- stages is revised through rotational transformation of CAD data in the unit domain. Here, the effectiveness of the proposed process is demonstrated through examples using 3D optical and microfluidic structures.
최근 전자기기에서 시각 및 청각과 함께 촉각 디스플레이가 정보를 출력하는 중요한 수단으로 부각되고 있다. 본 논문에서는 촉각 정보 출력을 위한 소형진동촉각(vibrotactile) 디스플레이 모듈을 개발하였다. 개발한 모듈은 주파수와 진폭을 독립적으로 조절할 수 있으며 핀이 직접 피부에 자극을 주기 때문에 몸체 전체가 떨리는 기존의 진동모터보다 정밀하고 다양한 촉각 표현을 할 수 있다. 또한 고전압을 이용하는 Piezo 방식과 달리 낮은 전력으로 동작이 가능하여 휴대장치에 직접 장착할 수 있는 장점을 가지고 있다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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