Control performance of the vibration isolation table using piezo actuator-based hybrid mount system (압전 가력기 기반 복합형 마운트 시스템이 설치된 방진 테이블의 성능 검증)
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- Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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- 2010.10a
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- pp.175-176
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- 2010