• 제목/요약/키워드: Pattern Fabrication

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빔 쉐이핑을 이용한 펨토초 레이저 ITO 박막 가공 깊이 제어에 대한 연구 (Study of ablation depth control of ITO thin film using a beam shaped femtosecond laser)

  • 김훈영;윤지욱;최원석;;황경현;조성학
    • 한국레이저가공학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.1-6
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    • 2014
  • Indium tin oxide (ITO) is an important transparent conducting oxide (TCO). ITO films have been widely used as transparent electrodes in optoelectronic devices such as organic light-emitting devices (OLED) because of their high electrical conductivity and high transmission in the visible wavelength. Finding ways to control ITO micromachining depth is important role in the fabrication and assembly of display field. This study presented the depth control of ITO patterns on glass substrate using a femtosecond laser and slit. In the proposed approach, a gaussian beam was transformed into a quasi-flat top beam by slit. In addition, pattern of square type shaped by slit were fabricated on the surfaces of ITO films using femtosecond laser pulse irradiation, under 1030nm, single pulse. Using femtosecond laser and slit, we selectively controlled forming depth and removed the ITO thin films with thickness 145nm on glass substrates. In particular, we studied the effect of pulse number on the ablation of ITO. Clean removal of the ITO layer was observed when the 6 pulse number at $2.8TW/cm^2$. Furthermore, the morphologies and fabricated depth were characterized using a optical microscope, atomic force microscope (AFM), and energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS).

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잉크젯 프린팅된 은(Ag) 박막의 등온 열처리에 따른 미세조직과 전기 비저항 특성 평가 (Microstructure and Electrical Resistivity of Ink-Jet Printed Nanoparticle Silver Films under Isothermal Annealing)

  • 최수홍;정정규;김인영;정현철;정재우;주영창
    • 한국재료학회지
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    • 제17권9호
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    • pp.453-457
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    • 2007
  • Interest in use of ink-jet printing for pattern-on-demand fabrication of metal interconnects without complicated and wasteful etching process has been on rapid increase. However, ink-jet printing is a wet process and needs an additional thermal treatment such as an annealing process. Since a metal ink is a suspension containing metal nanoparticles and organic capping molecules to prevent aggregation of them, the microstructure of an ink-jet printed metal interconnect 'as dried' can be characterized as a stack of loosely packed nanoparticles. Therefore, during being treated thermally, an inkjet-printed interconnect is likely to evolve a characteristic microstructure, different from that of the conventionally vacuum-deposited metal films. Microstructure characteristics can significantly affect the corresponding electrical and mechanical properties. The characteristics of change in microstructure and electrical resistivity of inkjet-printed silver (Ag) films when annealed isothermally at a temperature between 170 and $240^{\circ}C$ were analyzed. The change in electrical resistivity was described using the first-order exponential decay kinetics. The corresponding activation energy of 0.44 eV was explained in terms of a thermally-activated mechanism, i.e., migration of point defects such as vacancy-oxygen pairs, rather than microstructure evolution such as grain growth or change in porosity.

WLAN System을 위한 U-slot 및 Short-pin 결합한 바람개비 모양의 이중대역(5.2/5.8GHz) 마이크로스트립 패치 안테나 설계 및 제작 (Design and Fabrication of a Weathercock-Shaped Double Bandwidth Microstrip Patch Antenna that Combines U-slot and Short-pin for WLAN Systems Systems)

  • 김순섭;최영준;주영달;정용주
    • 한국통신학회논문지
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    • 제38B권5호
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    • pp.337-343
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    • 2013
  • 본 논문에서는 IEEE 802.11 기반의 WLAN(5.2/5.8GHz)대역에서 동작하는 바람개비 모양의 마이크로스트립 패치 안테나를 설계 및 제작하였다. 안테나의 크기는 $17.4{\times}17.4mm^2$이며 FR-4 기판을 사용하였다. 이동성을 위해 소형화하였고, 바람개비 패치 모양에 U-slot 및 Short-pin을 삽입하여 이중대역 공진특성 및 적절한 대역폭을 만족하도록 하였다. 또한 단일 양면기판을 사용하였고, 시뮬레이션설계는 바람개비 모양과 U-slot 및 Short-pin의 위치 변화, 패치길이를 최적화하여 제작 및 측정하였다. 제작한 안테나의 대역폭(Return loss<-10dB)은 5.2~5.8GHz대역에서 695MHz의 대역폭을 얻었다. H면과 E면 방사패턴의 3-dB 빔폭이 각각 $81.13^{\circ}$, $85.43^{\circ}$로 넓은 빔폭을 얻었다. 또한 3.17~4.85dBi의 이득을 얻었다.

Fabrication of Biodegradable Disc-shaped Microparticles with Micropattern using a Hot Embossing Process with Porous Microparticles

  • Hwang, Ji-Yea;Choy, Young-Bin;Seo, Soon-Min;Park, Jung-Hwan
    • Journal of Pharmaceutical Investigation
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    • 제41권3호
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    • pp.147-151
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    • 2011
  • This paper demonstrates the development of a method for preparing micropatterned microdiscs in order to increase contact area with cells and to change the release pattern of drugs. The microdiscs were manufactured with hot embossing, where a polyurethane master structure was pressed onto both solid and porous microparticles made of polylactic-co-glycolic acid at various temperatures to form a micropattern on the microdiscs. Flat microdiscs were formed by hot embossing of porous microparticles; the porosity allowed space for flattening of the microdiscs. Three types of micro-grooves were patterned onto the flat microdiscs using prepared micropatterned molds: (1) 10 ${\mu}M$ deep, 5 ${\mu}M$ wide, and spaced 2 ${\mu}M$ apart; (2) 10 ${\mu}M$ deep, 9 ${\mu}M$ wide, and spaced 5 ${\mu}M$ apart; and (3) 10 ${\mu}M$ deep, 50 ${\mu}M$ wide, and spaced 50 ${\mu}M$ apart. This novel microdisc preparation method using hot embossing to create micropatterns on flattened porous microparticles provides the opportunity for low-cost, rapid manufacture of microdiscs that can be used to control cell adhesion and drug delivery rates.

이엽식 고분자판막의 수력학적 특성평가 및 동물실험 (In-vitro Evaluation of a Bileaflet Polymer Valve and Preliminary Animal Tests)

  • 김철생;박복춘;서수원;한동근;이규백;최진욱;김인영;김희찬;김영하
    • 대한의용생체공학회:의공학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.225-234
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    • 1992
  • In order to use a low cost polymer valve in our total artificial heart and ventricular assist device, we have developed a slit-type bileaflet polymer valve[BPV 1. The aim of this study is to determine the hydrodynamic effectiveness of the newly-designed BPV and its feasibility for temporary use in the blood pumps. For hydrodynamic comparison, we investigated in-vitro the pressure drop across the valve, the leakage volume, the flow rate and the flow pattern of the BPV, two mechanical valves and a trileaflet polymer valve. We employed the ventriculo-pulmonary bypassing method for in-vivo tests of the BPV's together vilh our electrohydraulic left venIn ricular assist device in mongrel dogs. The BPV showed adquate gydrodynamic performances and in the preliminary animal bests, there was no xvi dence of thrombus formation on the valve leaflets and around the struts. Detailed results obtained from the animal tests will be separately reported. This report involves the design criteria, fabrication and hydrodynamic charateristics of she BPV, and the basic merits and demerits of the valve are dis- cussed from the hydrodynamic point of view.

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CeO2 나노 분말 합성에 미치는 용매 및 전구체의 영향 (Effect of solvent and precursor on the CeO2 nanoparticles fabrication)

  • 옥지영;손정훈;배동식
    • 한국결정성장학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.118-122
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    • 2018
  • Cerium oxide는 촉매의 효율을 증가하기 위해서는 비표면적이 높은 것이 필요하여 많은 연구가 되고 있다. 비표면적이 높은 세리아 나노 입자를 용매열 공정으로 합성하였다. 세리아 입자 형성에 전구체의 종류와 용매의 비율이 미치는 영향에 대하여 연구하였다. 합성된 세리아의 응집 및 크기를 제어할 수 있었다. 합성된 입자의 크기는 약 3~13 nm이고, 분포는 균일하였다. 합성된 세리아의 결정상은 X-선 회절 분석결과 cubic이고, 미세구조는 투과전자현미경과 주사전자현미경으로 분석하였다. 합성된 세리아 입자의 비표면적은 BET로 측정하였다.

CPWG 구조를 이용한 Wibro 및 WLAN 통신용 안테나 설계 및 제작 (Design and Fabrication of the Antenna for Wibro and WLAN Communications Using CPWG Structure)

  • 이승우;김남;이승엽
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제19권10호
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    • pp.1086-1095
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    • 2008
  • 본 논문에서는 사다리꼴 모양을 가지며, Wibro와 무선 랜 통신에 이용할 수 있는 CPWG 안테나를 설계하고 제작하였다. 안테나의 기본적인 형태를 사다리꼴로 만들어 광대역 특성을 얻었으며, 사다리꼴 내부에 H형 패치를 삽입하여 안테나의 공진 및 임피던스 매칭의 안정화를 가져왔다. 특히 본 논문에서 제안한 CPWG 구조는 모노폴과 CPW를 결합한 구조로써 급전선과 그라운드 간의 간격이나 크기 변화에 따른 임피던스 매칭이 변하는 CPW의 단점을 보완해 주었다. 설계된 안테나는 측정 결과 -10 dB($VSWR{\leq}2$) 기준으로 $2.2{\sim}4.6$ GHz(70.5 %)의 주파수 대역에서 공진이 일어났으며, H-plane의 방사 패턴이 전방향 특성을 나타냈다 또한, 급전선과 그라운드의 영향으로 인한 임피던스 매칭의 변화율이 작다는 것을 확인할 수 있었다.

대면적 증착용 선형 초고주파 플라즈마 장치 제작 및 정전 탐침법을 이용한 Ar 플라즈마 특성 분석과 온도 특성 분석 (Fabrication of Microwave PECVD with Linear Antenna for large-scale deposition processing, and Analysis of Ar plasma characteristics using Electrostatic Probe and Temperature Characteristics)

  • 한문기;서권상;김동현;이호준
    • 전기학회논문지
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    • 제64권3호
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    • pp.422-428
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    • 2015
  • A 2.45GHz microwave plasma source with a linear antenna has been developed for low temperature large scale deposition processing. Microwave power is transmitted through WR340 waveguide and a copper rod, linear antenna, is located in a quartz tube. The power matching is effectively achieved by a linear antenna is located at ${\lambda}_g/4$ or $3{\lambda}_g/4$ from the end of WR340 waveguide. The Ar plasma was generated along the surface of quartz tube and a clear standing wave pattern with nearly 10cm wavelength was observed at Ar pressure of 200mTorr and 200W input power. The electron density and electron temperature were investigated by using the electrostatic probe. The electron density and electron temperature were highly measured near the surface of quartz tube. Ar plasma density along the quartz tube is mostly uniform despite standing wave set-up and antenna of long length. A uniform temperature was measured at 10~40cm distance from the end quartz tube and 5cm distance from the surface of quartz tube.

광대역 다중공진 평판 안테나 설계 및 구현 (Design and Fabrication of a Wide Band and Multi-Resonation Planar Antenna)

  • 이현진;박성일;임영석
    • 대한전자공학회논문지TC
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    • 제42권12호
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    • pp.171-176
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    • 2005
  • 본 논문에서는 DCS와 WiBro 및 ISM 수용이 가능한 기지국용 광대역 다중공진 평판 안테나를 설계 및 제작하였다. 제안한 안테나는 기존의 모노폴 구조를 개방 루프 형태(폴디드 형태)로 수정하여 개방 부분의 결합에 의한 캐패시턴스를 증가시킨 광대역 다중공진 안테나를 설계하였다. 제안된 안테나는 도파관 급전 방법의 인쇄형 평판 안테나로 단일 층으로 구현되어 MMIC 및 LTCC의 이용이 용이하며 기존의 안테나보다 크기가 작고 높은 이득을 갖는다. 안테나 구조의 개방 부분의 간격과 루프 형태의 높이를 조절하여 공진 거리 및 대역폭을 조절 할 수 있다. 설계한 안테나의 대역폭은 정재파비 2 이하를 기준으로 DCS와 WiBro 및 ISM대역을 모두 충족하였으며 전체의 대역폭은 $1.575GHz\~2.985GHz(1.41GHz)$$58.75\%$의 주파수 대역폭을 얻었다. 또한, 안테나의 방사패턴은 1.6GHz, 2.3GHz, 2.8GHz에서의 Co-Polarization과 Cross-Polarization의 특성을 측정하였다.

H모양 개구면에 스트립 급전된 광대역 및 고이득 패치 안테나 (The Wide-band and High-gain Strip Patch Antenna coupled with a H-shaped Aperture)

  • 신호섭;김남
    • 대한전자공학회논문지TC
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    • 제38권4호
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    • pp.27-37
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    • 2001
  • 광대역과 고이득과 낮은 교차 편파 레벨을 가지는 H자 모양의 개구면을 가진 스트립 급전된 패치 안테나를 설계 및 제작하고 정재파비, 스미스챠트 임피던스 특성, 동일/교차 편파 방사패턴, 이득 등을 측정하였다. 본 안테나의 측정된 대역폭(VSWR<2.0)은 47.1%이다. 또한 후방방사를 줄이고 이득을 높이기 위해 반사판을 사용하였을 때 교차 편파 레벨은 E-plane에서 -18.2 dB이하이고 H plane에서 -25.7 dB이하이다. 그리고 최대 이득은 2.05 GHz의 주파수에서 10.4 dB이며, 3 dB gain 대역폭은 중심주파수 2.17 GHz에서 24%의 광대역폭을 가짐을 알 수 있었다. 본 안테나는 광대역을 필요로 하는 이동통신, 무선 LAN, RF 통신시스템 등에 사용될 수 있다.

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