• 제목/요약/키워드: Pattern Fabrication

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Self-patterning 기술을 이용한 강유전체 메모리 전극용La0.5Sr0.5CoO3박막의 제조에 관한 연구 (A Study on Fabrication of La0.5Sr0.5CoO3Thin Films as an Electrode for Ferroelectric Memory by Self-patterning Technique)

  • 손현수;김병호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제40권2호
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    • pp.153-158
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    • 2003
  • Photosensitive sol solution을 이용한 self pattern된 박막은 photoresist/dry etching process에 비해 박막의 제조과정이 간단하다는 장점을 가지고 있다. 이 연구에서는 강유전성 메모리소자의 산화물 전극재료로 사용되고 있는 La$_{0.5}$Sr$_{0.5}$CoO$_3$(LSCO)극 photosensitive sol solution을 이용하여 spin coating법으로 제조하였으며 출발원료는 La-2methoxyethoxide, Sr-ethoxide, Co-2methoxyethoxide를 사용하였다. LSCO gel 박막에 UV 노광시간을 증가시킴에 따라 M(metal)-O-M 결합이 생성되면서 metal $\beta$-diketonate의 UV 흡수 피크 강도는 감소되었고 LSCO gel 박막에 UV조사에 따른 용해도 차이가 생기면서 fine patterning 을 얻을 수 있었다. 68$0^{\circ}C$ 이상의 온도로 대기 중에서 열처리된 LSCO 박막은 perovskite 상을 나타내었고 74$0^{\circ}C$에서 가장 낮은 비저항값(4$\times$10 ̄$^3$Ωcm)을 얻을 수 있었다.

용액 증착법으로 증착된 CdS 박막의 제조와 고상과 액상 화합제에 따른 표면 특성 비교 (Advanced Transmittance and Surface-Morphology of CdS thin films prepared by chemical bath deposition using various complexing agents for solar cells)

  • 유범근;김진상;박용욱;최두진;윤석진
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.456-456
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    • 2008
  • In the past few years, the deposition and characterization of cadmium sulfide semiconducting thin films has received a considerable amount of interest due to their potential application in the area of electronic and opto-electronic devices fabrications. Polycrystalline CdS thin films posses good optical transmittance, wide band-gap and electrical properties makes it as one of the ideal material for their application to solar cell fabrication. Cadmium sulfate thin films were deposited by the chemical bath deposition method using tartaric acid and triethanolamine as a complexing agent. Deposition parameters such as pH, temperature, deposition time and concentration of the reactant species were optimized so as to obtain reflecting, good adherent uniform thin films on the glass substrate. Reaction mechanism of the thin film formation is also reported. The crystallographic structure and the crystallite size were studied by the X-ray diffraction pattern. The optical band-gap of deposited film is identified by measuring the transmittance in the visible region. Temperature dependence of resistivity confirmed the semiconducting behavior of the film. Scanning electron micrographs (SEM) showed the presence of grain particles of size 50 nm.

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섬유강화 복합재료를 이용한 반원통형 전자파 흡수구조의 설계 및 제작 (Design and Fabrication of Semi-cylindrical Radar Absorbing Structure using Fiber-reinforced Composites)

  • 장홍규;신재환;김천곤;신상훈;김진봉
    • Composites Research
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    • 제23권2호
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    • pp.17-23
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    • 2010
  • 스텔스 기술은 적진에서 항공기나 함정의 생존 가능성을 향상시키고 임무 수행 능력을 향상 시킬 수 있다. 본 논문의 목적은 섬유강화 복합재료를 이용하여 하중지지가 가능한 곡면부 형상을 갖는 저피탐지 구조를 제안하고 군사적 활용을 위한 전방위 스텔스 플랫폼의 개발 가능성을 보여주는 것이다. 본 연구에서는 곡면을 갖는 물체의 레이더 반사면적을 줄이기 위해서 기존의 circuit analog 흡수체에 기반을 둔 전자파 흡수구조를 개발하였다. 먼저 상용 3차원 전자기장 해석 프로그램을 이용하여 사각 주기격자 패턴의 전도성 고분자 층을 갖는 전자파 흡수구조를 설계하고 성능을 해석하였다. 다음으로 섬유강화 복합재료와 전도성 고분자 재료를 이용하여 설계된 반원통형 전자파 흡수구조를 제작하였다. 저항성 시트로 작용하는 주기격자 패턴층을 제작하기 위해서 PEDOT를 기반으로 하여 폴리우레탄을 바인더로 갖는 전도성 고분자 페이스트를 사용하였다. 마지막으로 제작된 RAS의 전자파 흡수 성능을 평가하기 위해 POSTECH의 compact range 장비를 이용하여 레이더 반사면적을 측정하였다.

FDM에서 단면오차법을 이용한 표면예측 (An Estimation on Area Error For Surface Roughness Advancement of Rapid Prototype by FDM)

  • 전재억;김수광;황양오;박후명;하만경
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.1869-1872
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    • 2003
  • As SLA(Sterealithography), SLS(Selective Laser Sintering), LOM(Laminated Object Manufacturing), FDM(Fused Deposition Modeling) etc. The FDM system the heart of a study and is developed by Stratasys co. ltd, in US., is small and cheap R.P. The material filament is heated until the material reaches a near-liquid state, it is pumped through a nozzle and become hand with a shape required, and this nozzle move pumping on the previously deposited material. Such FDM system that choice deposition type with X-Y plouter obtain in the thin continue layer by decreasing amount of extrusion or to central the injection amount when the head slow down at the corner, but in the process that fusion wax or resin become hand, deformation occur and it will affect the shape accuracy and the surface roughness. Such effect will depreciate quality and reliability of the product. Therefore, when the product made in actuality, the fundamental study on the basis geometry(surface, volume, line, angle) must be preceded and it have been research by many Free Form Fabrication. So, this basic object study purpose to obtain the fundamental geometry data and to enhance the surface roughness of the shape. And an operant can use the data for the progress of the surface roughness. This study research the estimation and application of the prototype surface roughness by adjustment the injection amount. And basie of this research, describe the pattern of prototype surface roughness and also used the result to estimate the surface of prototype.

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ETCS용 원형편파 안테나의 설계 및 제작 (Design and Fabrication of Circularly Polarization Antenna for Electronic Toll Collection System)

  • 이상목;윤중한;김흥수
    • 전기전자학회논문지
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    • 제6권1호
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    • pp.40-46
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    • 2002
  • 본 논문은 ETCS용 마이크로스트립 배열안테나를 설계, 제작 및 측정하였다. 외부전파환경의 영향을 줄이기 위하여 원형편파안테나를 사용하였으며, 더 넓은 축비대역폭과 반사손실대역폭을 얻기 위하여 시퀸셜 로테이션 배열방법을 사용하였다. 또한 ETCS용 안테나로 사용되기 위하여 노변장치용 안테나는 인접차선과 간섭없이 설정된 통신영역에서 정확히 통신할 수 있는 방사패턴을 제공하도록 설계되어야 한다. 본 논문에서 제작된 노변장치용 안테나의 sidelobe를 감소시키기 위하여 흡수체를 제작 부착하였다. 흡수체를 부착하여 측정한 결과, 중심주파수에서 -20.675dB의 반사손실을 얻었으며, 축비는 0.35dB, 안테나이득은 20.26dBi를 얻었다. 그리고 SLL은 -20dB 이하로 감소된다는 것을 확인하였다.

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Magnetic soft mold를 이용한 나노 와이어 그리드 편광 필름 연구 (A study on the Nano Wire Grid Polarizer Film by Magnetic Soft Mold)

  • 조상욱;장성환;최두선;허석환;정명영
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제21권2호
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    • pp.85-89
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    • 2014
  • 본 연구에서는 자기 소프트 몰드를 이용하여 피치 143.59 nm의 고 성능 NWGP(Nano Wire Grid Polarizer) 필름의 새로운 제조 방법을 제안하였다. 제작된 편광필름은 $6cm{\times}6cm$의 PET기판위에 알루미늄 격자 구조를 가지고 있으며, 이는 TFT-LCD(Thin Flat Transistor Liquid Crystal Display)에 응용 가능할 것으로 보인다. 자기 소프트 몰드는 너비 70.39 nm의 규격으로 제작되었으며, 이를 이용하여 2단계의 복제과정을 거쳐 제작되어진다. 이를 통해 본 연구에서는 기판위에 75.68 nm 선폭과 64.76 nm의 높이 143.59 nm pitch를 가지는 격자구조의 NWGP 패턴을 제작하였다. 또한, 이는 800 nm 파장 영역 대에서 75%의 최대 투과율과 10%의 최소 투과율을 가지는 것을 확인하였다. 따라서, 본 공정을 통해 독창적인 저 비용의 나노패터닝 기술로 디스플레이 산업에서 적용되어 질 것으로 보여진다.

X밴드용 다이폴 급전 평면배열 안테나 설계 및 제작 (Design and Fabrication of the Dipole-Fed Planar Array Antenna at X-Band)

  • 문성익;양두영
    • 대한전자공학회논문지TC
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    • 제39권5호
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    • pp.251-258
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    • 2002
  • 본 논문에서는 기존외 야기-우다 안테나 배열이론을 마이크로스트립 안테나에 접목시킨 X밴드용 다이폴 급전 평면배열 안테나를 설계하고 제작하였다. 그리고 넓은 대역폭을 갖는 무선통신 시스팀에 쉽게 적용시킬수 있는 다이폴 급전 평면배열 안테나의 설계 절차에 대하여 기술하였다. 또한 FDTD 수치해석법을 이용하여 안테나의 복사특성, 반사손실과 대역폭을 개선시켰으며 제작을 통해 평면형 안테나 해석의 타당성을 입증하였다. 제작한 결과, 10GHz의 중심주파수에서 안테나의 이득은 4.9dBi이고 대역폭은 약 40%, 전후방비는 16dB, E면과 H면의 반 전력 빔폭은 각각 117°와 156°이다. VSWR<2를 기준으로 했을 때, 7.4GHz∼11.88GHZ의 주파수 범위에서 측정결과와 이론적인 결과가 비교적 잘 일치하였다.

극소형 LED 패키지 개발의 문제점과 해결 방안 (Problems and Solutions for Ultra-compact LED Package Development)

  • 이종찬
    • 산업융합연구
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    • 제17권4호
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    • pp.9-14
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    • 2019
  • 본 논문은 1mm 이하의 극소형 LED 패키지 개발 과정에서 발생할 수 있는 여러 문제점들을 제시하고 이에 대한 해결 방안을 소개한다. 기존의 금형 구조는 상하 코어부가 일체형으로 이루어져 극소형 모델의 경우 EDM(Electric Discharge Machining)의 마찰계수로 인해 다양한 오류가 발생하였고 금형의 크기를 더 줄이는데 한계 요소가 되었다. 이의 개선 방안으로 선행 연구에서 조립식 모델을 제시하여 극소형 LED 패키지 개발의 방해 요소를 극복하려 하였다. 본 논문에서는 제시된 모델에 대한 결과물을 산출하기 위한 전초 작업으로 시제품을 제작하는 중에 여러 가지 문제점이 발견되었는데 이에 대한 유형을 제시하고 해결 방안을 논한다. 그리고 같은 크기의 Lead Frame(L/F) 안에 2열 구조를 3열 구조로 배치함으로써 효율적인 생산을 고려한다. 실험 과정을 통해 제시한 해결 방안을 검증하고 시제품을 양산하기 위한 테스트를 행하여 양질의 제품을 생산할 수 있는지를 확인한다.

2차원 및 3차원의 주기적인 구조 제작을 위한 2차원 이진 위상마스크의 설계와 분석 (Design and analysis of two-dimensional binary phase masks for the fabrication of two-and three-dimensional periodic structures)

  • 김남식;원영희;고근하;조두진
    • 한국광학회지
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    • 제12권1호
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    • pp.17-24
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    • 2001
  • 엄밀한 결합파 해석(rigorous coupled-wave analysis)을 이용하여 2차원 및 3차원의 주기적인 구조 제작을 위한 2차원 이진위상 회절격자를 설계 및 분석하였다. 이 회절격자는 근접장 홀로그래피를 위한 위상 마스크로서 수직 입사하는 빛에 대하여 여거 개의 회절파들을 발생하고 이들은 공간상에 주기적인 간섭무늬를 형성한다. 입사파의 편광상태, 파장, 표면 양각형태, 요철 깊이와 duty cycle을 바꿈으로써 회절된 빛들을 조절할 수 있는데 2차원 구조의 경우 0차 회절효율이 최소가 되고 1차회절효율이 최대가 될 때 최적의 결과를 보인다. 한편 0차 회절효율이 상당한 크기를 가지거나 심지어 다른 차수의 회절효율보다 높을 때 마이크로 미터 이하의 미세구조를 갖는 tetragonal-body-centered 구조와 hexagonal 구조의 포토닉 결정을 제작 할 수 있는 다양한 형태의 3차원 공간 간섭무늬가 형성된다.

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Cu/Sn 비아를 적용한 일괄적층 방법에 의한 다층연성기판의 제조 (Fabrication of Laminated Multi-layer Flexible Substrate with Cu/Sn Via)

  • 이혁재;유진
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제11권4호
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    • pp.1-5
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    • 2004
  • 다층 연성기판은 높은 전기 전도성과 낮은 절연상수로 잘 알려진 구리와 폴리이미드로 구성되어 있다. 본 연구에서는 이러한 다층연성기판을 패턴된 스테인리스 스틸 위에 구리선을 전기도금하고 폴리이미드를 코팅함에 의해서 균일한 형태의 $5{\mu}m$-pitch의 전도선을 제조하는데 성공하였다. 또한, 다층기판 형성시 비아흘은 UV 레이저로 형성시켰으며 구리와 주석을 전기 도금함으로 이를 채웠다. 그런다음 비아와 전도선이 붙은 채로 스테인리스 스틸에서 벗겨냈다. 이렇게 형성된 각각의 층을 한번에 적층하여 다층연성기판을 완성하였다. 적층시 주석과 구리사이에 고체상태 반응(Solid state reaction)이 발생하여 $Cu_6Sn_5$ and $Cu_3Sn$을 형성하였으며 비아패드에 비아가 수직으로 위치한 완전한 형태의 층간 연결을 형성하였다. 이러한 비아 형성 공정은 V형태의 비아나 페이스트 비아와 비교할 때 좋은 전기적 특성, 저가공정등의 여러 장점을 가지고 있다.

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