• 제목/요약/키워드: PLD 기법

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PLD 기법으로 제조된 ${La_{0.67}}{A_{0.33}}{MnO_{3-\$delta}}$ (A=Ca, Sr, Ba) 박막의 결정구조 및 전기전도 특성 (Crystalline Structure and Electrical Transport Characteristics of ${La_{0.67}}{A_{0.33}}{MnO_{3-\$delta}}$ (A=Ca, Sr, Ba) Thin Films Prepared by PLD Techniques)

  • 조남희;임세주;성건용
    • 한국세라믹학회지
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    • 제38권4호
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    • pp.370-379
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    • 2001
  • PLD(pulsed laser deposition) 기법을 이용하여 LaAl $O_3$(100) 기판 위에 L $a_{0.67}$ $A_{0.33}$Mn $O_{3-{\delta}}$ (A=Ca, Sr, Ba) 에피 박막을 성장하였다. 박막의 격자 상수 및 스트레인 상태는 GID(grazing incidence X-ray diffraction)법과 투과 전자 현미경 법을 이용하여 조사하였다. 박막의 <001> 방향은 기판 표면의 수직방향에 평행하게 놓였으며, 박막의 단위포는 기판과의 격자 불일치에 기인하여 a/c=0.98인 의사-정방정 페롭스카이트(pseudo-tetragonal perovskite) 구조를 가졌다. A 자리의 양이온 반경이 증가함에 따라 단위포의 체적, $\varepsilon$$^{∥}$, 그리고 $\varepsilon$$_{⊥}$이 각각 증가하였다. L $a_{0.67}$ $A_{0.33}$Mn $O_{3-{\delta}}$ (A=Ca, Sr, Ba) 박막의 온도 및 자장에 따른 전기 전도 특성 MR(%), Tc, $T_{MI}$ 들을 조사하였으며, 이 결과들을 박막의 구조적 특성과 상관하여 고찰하였다.여 고찰하였다.

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패턴 인식 기법의 PLD 칩 설계 및 전자코 활용 (Application of electronic nose and PLD chip design using pattern recognition method)

  • 장으뜸;정완영
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 2002년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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    • pp.297-300
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    • 2002
  • Application of electronic nose and PLD chip design was developed to be used in gas discrimination system for limited kinds of gas. An array of 4 metal oxide gas sensors with different selectivity patterns were used in order to measure gases. BP(Back Propagation) algorithm was designed and implemented on CPLD of two hundred thousand gate level chips by VHDL language for processing input signals from 4 kinds of gas sensors. This module successfully discriminated 4 kinds of gases and displayed the results on LCD and LED. The developed module could be used for various applications in the field of food process control and alcohol judgment.

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PLD 기법에 의한 $Na_0.5$$K_0.5$$NbO_3$ 휘발성 물질의 박막 제작 및 XRD에 의한 c축 배향성 확인에 관한 연구 (A Study on the Fabrication $Na_0.5$$K_0.5$$NbO_3$ Volatile Material Thin Film by Pulsed Laser Deposition and he Confirmation of C-axis Orientation by X-ray Diffraction)

  • 최원석;김장용;장철순;문병무
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제14권4호
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    • pp.269-273
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    • 2001
  • W fabricated thin film using Na$_{0.5}$K$_{0.5}$NbO$_3$ volatile material by pulsed laser deposition (PLD) and studied characterization from EM, XRD, P-E. The density and scale of droplet, which is the defect of PLD, was investigated by SEM but large droplet was not found. The degree of assemble oriented C-axis measured with X-ray diffraction suggests that this film oriented C-axis achieved by $\theta$-2$\theta$ scan and rocking curves shows good self-assemble phenomenon, finally $\phi$-scan does that all of the four directions of the lattice in film equals to those of substrate. P-E hysteresis loop shows residual remnant polarization or saturation polarization value, but it is applicable to memories.ies.

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PLD 기법에 의한 $Na_{0.5}K_{0.5}NbO_3$ 박막 제작 (Pulsed Laser Deposition $Na_{0.5}K_{0.5}NbO_3$ Thin Film)

  • 최원석;문병무;조중래
    • 한국항해항만학회:학술대회논문집
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    • 한국항해항만학회 2000년도 추계학술대회논문집
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    • pp.33.1-35
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    • 2000
  • Na-K-Nb system showed a number of ferroelectric phases in bulk ceramic. [001]-axis oriented single-phase $Na_{0.5}/K_{0.5}NbO_3$(NKN) thin film have been grown on $LaA1O_3$substrates using KrF excimer laser. X-ray diffraction $\theta$-2$\theta$ scan, rocking curves, and $\varphi$ scan data evidence highly c-axis oriented along the [001] direction.

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나노인덴테이션기법을 이용한 ZnO/Si 박막의 기계적 특성 (Mechanical Characteristics of ZnO Thin Films on Si Substrates by Nano Indentation Technology)

  • 윤한기;정헌채;손종윤;유윤식
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2004년도 춘계학술대회
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    • pp.138-143
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    • 2004
  • Recently there has been a great world-wide interest in developing and characterizing new nano-structured materials. These newly developed materials are often prepared in limited quantities and shapes unsuitable for the extensive mechanical testing. The development of depth sensing indentation methods have introduced the advantage of load and depth measurement during the indentation cycle. In the present work, ZnO thin films are prepared on Si(111), Si(100) substrates at different temperatures by pulsed laser deposition(PLD) method. Because the potential energy in c-axis is low, the films always show c-axis orientation at the optimized conditions in spite of the different substrates. Thin films are investigated by X-ray diffractometer and Nano indentation equipment. From these measurements it is possible to get elastic modulus and hardness of ZnO thin films on Si substrates.

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PLD 기법에 의한 $Na_{0.5}K_{0.5}NbO_{3}$ 박막 제작 (Pulsed Laser Deposition $Na_{0.5}K_{0.5}NbO_{3}$ Thin Film)

  • 최원석;문병무;조중래
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.33-35
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    • 2000
  • Na-K-Nb system showed a number of ferroelectric phases in bulk ceramic. [001]-axis oriented single-phase Na$_{0.5}$K$_{0.5}$NbO$_3$ (NKN) thin film have been grown on LaA1O$_3$ substrates using KrF excimer laser. X-ray diffraction $\theta$-2$\theta$ scan, rocking curves, and $\phi$ scan data evidence highly c-axis oriented along the [001] direction.ion.

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전용 PLD를 가진 새로운 SoC 플랫폼 (A New SoC Platform with an Application-Specific PLD)

  • 이재진;송기용
    • 융합신호처리학회논문지
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    • 제8권4호
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    • pp.285-292
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    • 2007
  • SoC는 소프트웨어와 하드웨어가 통합 설계되는 시스템 수준 설계 플랫폼이며 상위 수준 합성은 SoC 설계방법론의 중요한 과정이다. 최근 SPARK라 불리는 병렬 상위 수준 합성 툴이 개발되었다. SPARK는 C코드를 입력받아 코드 이동과 다양한 변형 기술을 이용해서 스케줄하고 최종적으로 합성 가능한 RTL VHDL를 생성한다. 기본 적인 디지털 신호 및 영상처리 알고리즘은 반복 순환문으로 표현되며, 합성을 동해 SPARK는 다양한 루프 변형 알고리즘을 적용한다. 그러나 이 기법에 의한 합성 결과는 디자이너가 수동으로 직접 설계한 최적구현과 비교했을 때 성능 면에서 만족할 만한 결과를 생성하지 못한다. 본 논문에서는 전용 프로그램 논리소자를 가지는 새로운 SoC 플랫폼을 제안하고, C로 기술된 행위 수준 반복 순환문을 2차원 시스톨릭 어레이로 매핑하는 과정을 기술한다. 최종적으로 유도된 시스톨릭 어레이는 제안된 SoC 플랫폼 상의 전용 프로그램 논리소자 상에 구현된다.

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PLD 기법으로 성장된 n형 TiO2에서 Nb 도너의 활성화 에너지 (The activation Energy of the Niobium donor in n-type TiO2 film grown by Pulsed Laser Deposition)

  • 배효정;하준석;박승환
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제21권4호
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    • pp.41-44
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    • 2014
  • 본 연구에서는 $TiO_2$에 나이오븀 (Nb) 도펀트가 주입되었을 때의 활성화 에너지를 홀 효과 측정 시스템과 온도에 따른 photoluminescence (PL) 실험을 통하여 살펴보았다. Nb 이 도핑 된 n형 아나타제 $TiO_2$ 박막은 pulsed laser deposition (PLD) 기법으로 $SrTiO_3$기판에 성장되었다. 측정 결과, Nb 도너의 활성화 에너지 값은 홀 효과 측정에서는 14.52 meV, PL 측정에서는 6.72 meV로 다소 차이를 보였다. 이 결과는 기존의 어셉터 물질의 활성화 에너지들과는 차이를 나타내고 있으며, 향후 본 연구와 같은 shallow 도너 준위의 활성화 에너지 연구에 대한 더 많은 연구가 필요할 것으로 판단된다.

방사선치료 시 처방선량과 치료기법에 따른 흡수선량 평가 (Evaluated Absorbed Dose According to Prescribed Dose and Therapeutic Technique in Radiation Therapy)

  • 이득희;박은태;김정훈;임인철
    • 한국방사선학회논문지
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    • 제10권6호
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    • pp.469-476
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    • 2016
  • 본 논문에서는 움직이는 타깃을 대상으로 처방선량과 치료기법에 따른 흡수선량을 유리선량계를 이용하여 평가하였다. 타깃의 움직임에 따라 조사야에서 벗어나는 정도에 따른 선량을 MCNPX를 이용하여 모의모사하였으며 그 결과 조사야에서 이격하는 거리에 비례하여 감소하는 것으로 나타났다. 처방선량에 따른 흡수선량의 결과는 3D CRT의 경우 저선량에서 IMRT보다 흡수선량이 높은 것으로 나타났으며, 대선량에서는 IMRT가 더 높은 비율을 보였다. 치료기법에 따른 결과는 3D CRT가 가장 우수한 것으로 나타났으며, IMRT의 sliding window방식이 가장 낮은 것으로 나타났다. 본 연구를 통하여 3D CRT가 움직이는 타깃에 가장 높은 선량을 조사할 수 있는 기법으로 평가되었다. 하지만 정상조직의 보호효과와 환자의 상태 등을 고려한 적절한 치료기법의 선택으로 치료효과를 높일 수 있는 노력이 필요할 것이다.

NI법에 의한 기계적 특성에 미치는 ZnO박막의 기판재의 영향 (Influence of Substrate on Mechanical Characteristics of ZnO Thin Film by NI Technology)

  • 정헌재;김동현;윤한기;임희섭;유윤식
    • 한국해양공학회:학술대회논문집
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    • 한국해양공학회 2004년도 학술대회지
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    • pp.342-346
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    • 2004
  • Recently there has been a great world-wide interest in developing and characterizing new nano-structured materials. These newly developed materials are often prepared in limited quantities and shapes unsuitable for the extensive mechanical testing. The development of depth sensing indentation methods have introduced the advantage of load and depth measurement during the indentation cycle. In the present work, ZnO thin films are prepared on the Glass, GaAs(100), Si(111), and Si(100) substrates at different temperatures by pulsed laser deposition(PLD) method. Because the potential energy in c-axis is law, the films always shaw c-axis orientation at the optimized conditions in spite of the different substrates. Thin films are investigated by X-ray diffractometer and Nano indentation equipment. From these measurements it is possible to get elastic modulus and hardness of ZnO thin films on all substrates.

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